一种改善扩散均匀性的炉管制造技术
【技术实现步骤摘要】
一种改善扩散均匀性的炉管
本技术属于太阳能电池制造领域，具体涉及一种改善扩散均匀性的炉管。
技术介绍
太阳能电池制造的核心工序为扩散工序，随着太阳能电池制造技术的发展，扩散方阻不断升高，同时面对成本的压力，产能的提升，石英舟槽距越来越小对磷源扩散要求也越来越高。传统的扩散方式只能通过减少气体流速、磷源携带量和延长扩散时间，不能很好的解决产能与方阻均匀性。
技术实现思路
本技术的目的在于克服上述现有技术的不足，提供一种结构简单、操作方便效率高，挥发少，不容易损坏的简便式浆料过滤装置。本技术所述的一种改善扩散均匀性的炉管，包括石英炉管，所述的炉管内设有镂空螺旋结构体，所述的镂空螺旋结构体的高度与炉管的内壁直径相等。进一步改进，所述的镂空螺旋结构体为石英材料制成，可耐高温。进一步改进，所述的镂空螺旋结构体为螺旋形薄片，该薄片的宽度为1-2cm。本技术的工作原理：常规石英管中内壁上，加入螺旋状的石英条，在气体运行过程中，管壁处的磷源受到石英条的阻挡，改变平行于石英管运行的轨迹，向下运行，可以更深入的进入硅片中间，改善片内均匀性。本技术的有益效果在于：与现有技术相比，本实用操作简单方便，可以节约生产时间和劳动力，大大提高了生产效率，减少了生产成本；利用空气动力学原理，通过增加螺旋结构使五氧化二磷颗粒增加横向移动，从而深入硅片之间的缝隙中，改善方阻片内均匀性。附图说明图1是本技术的结构示意图。具体实施方式如图1所示，本技术所述的一种改善扩散均匀性的炉管，包括炉管1，所述的石英炉管内设有镂空螺旋结构体2，所述的镂空螺旋结构体的高度与炉管的内壁直径相等。所述的镂空螺旋结构体为石英...
【技术保护点】
一种改善扩散均匀性的炉管，包括石英炉管，其特征在于：所述的石英炉管内设有镂空螺旋结构体，所述的镂空螺旋结构体的高度与炉管的内壁直径相等。
【技术特征摘要】
1.一种改善扩散均匀性的炉管，包括石英炉管，其特征在于：所述的石英炉管内设有镂空螺旋结构体，所述的镂空螺旋结构体的高度与炉管的内壁直径相等。2.根据权利要求1所述的改善扩散均匀...
【专利技术属性】
技术研发人员：蒋建宝，
申请(专利权)人：无锡赛晶太阳能有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。