An ignition device and nano materials production equipment arc, due to the four connecting rod structure design between the rod and the connecting rod, a fire after push rod, the connecting rod and the rod parallel to the end of the ignition needle from the target sputtering range, so the formation of spherical Atomium at the end not ignition needle, improve the ignition the success rate of the ignition needle, do not need to clear the timing of Atomium; in addition, the ignition needle produced after long time working loss becomes shorter, can further pull the pull rod, the connecting rod rotates, the ignition needle near the target, so there is no need to frequently replace ignition needle, reduce the waste of ignition needle.
【技术实现步骤摘要】
一种引弧点火装置及纳米材料制作设备
本专利技术涉及材料制造领域,特别是一种引弧点火装置及纳米材料制作设备。
技术介绍
溅射法制作纳米材料的方式有:磁控溅射、偏压溅射及反应溅射等。其中磁控溅射的原理为:电子在电场的作用下加速飞向基片的过程中与氩原子发生碰撞,电离出大量的氩离子和电子,电子飞向基片。氩离子在电场的作用下加速轰击靶材,溅射出大量的靶材原子,呈中性的靶原子沉积在基片上成膜。二次电子在加速飞向基片的过程中受到磁场洛仑磁力的影响,被束缚在靠近靶面的等离子体区域内,该区域内等离子体密度很高,二次电子在磁场的作用下围绕靶面作圆周运动。请参考图1,现有的纳米材料制作设备具有磁控靶10及引弧点火装置20,引弧点火装置20包括依次连接的拉杆21、连接杆22及点火针23,连接杆22与拉杆21及点火针23均垂直连接,导线穿过拉杆21及连接杆22与点火针23连接。需要点火时,拉动拉杆21,使得点火针23靠近磁控靶10的靶台11,点火针23在通电情况下触发靶台11通电工作;通电完成后,推动拉杆21,使得点火针23远离磁控靶10的靶台11。靶台11通电工作后,靶台11溅射出大量的靶材原子,由于连接杆22及点火针23仍处在靶台11的溅射范围内,长时间累积下来,在点火针23的末端将会形成球状的原子球232,降低了点火针23的点火成功率,需要定时清除该原子球232。另外,点火针23长时间工作后产生损耗变短,在点火针23长度小于一定值时,拉杆21受到行程的限制无法使得点火针23足够靠近靶台11,将无法成功点火,此时需要更换新的点火针23,造成点火针23的浪费。
技术实现思路
有鉴于此 ...
【技术保护点】
一种引弧点火装置,其特征在于:所述引弧点火装置包括拉杆、杆套、四连杆结构、连接杆及点火针,所述拉杆位于杆套内,所述拉杆通过四连杆结构与连接杆连接,所述连接杆的第一端与点火针连接,所述四连杆结构包括延伸杆及短连杆,所述延伸杆与杆套连接,所述连接杆的第二端与延伸杆的末端转动连接,所述短连杆的第一端与拉杆转动连接,第二端与连接杆的中部转动连接。
【技术特征摘要】
1.一种引弧点火装置,其特征在于:所述引弧点火装置包括拉杆、杆套、四连杆结构、连接杆及点火针,所述拉杆位于杆套内,所述拉杆通过四连杆结构与连接杆连接,所述连接杆的第一端与点火针连接,所述四连杆结构包括延伸杆及短连杆,所述延伸杆与杆套连接,所述连接杆的第二端与延伸杆的末端转动连接,所述短连杆的第一端与拉杆转动连接,第二端与连接杆的中部转动连接。2.如权利要求1所述的引弧点火装置,其特征在于:所述连接杆连接短连杆的连接点与连接杆的第一端之间的第一距离大于连接点与连接杆的第二端之间的第二距离。3.如权利要求1所述的引弧点火...
【专利技术属性】
技术研发人员:毕凯,
申请(专利权)人:嘉兴岱源真空科技有限公司,
类型:发明
国别省市:浙江,33
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