锭料的切断装置及锭料的切断装置使用的载荷检测装置制造方法及图纸

技术编号:17608133 阅读:51 留言:0更新日期:2018-04-04 01:31
本发明专利技术提供锭料的切断装置及锭料的切断装置使用的载荷检测装置,在用多线锯将锭料切断的锭料切断装置中,通过掌握锭料中的线材的新线侧和旧线侧的切断状态而将线材的切断防患于未然。用多根张紧的线材(3)切断锭料(52)的锭料切断装置(1)中,载荷传感器(S11~S22)设于锭料中的新线侧(52n)和旧线侧(52o),用该新线侧和旧线侧的载荷传感器计测作用于锭料的所述新线侧和所述旧线侧的载荷。在计测该载荷的情况下,例如,算出绕线材的行进方向即X轴的力矩中心(COP),在与锭料的重心(G)的偏差为基准值以上时,经由控制部进行用于线材更换的报知、线材的传送速度的控制、锭料的按压速度的控制等。

A load detecting device for the cutting device of the ingot and the cutting device of the ingot material

【技术实现步骤摘要】
锭料的切断装置及锭料的切断装置使用的载荷检测装置
本专利技术涉及将硅锭料等较薄地切断的锭料的切断装置,更详细而言,涉及使用线锯切断锭料的锭料的切断装置。
技术介绍
以往,作为从硅锭料切出硅晶片的切断装置,使用了线锯的锭料的切断装置已为人们所知(专利文献1)。关于该使用了线锯的锭料的切断装置,使用图11进行说明。在图11中,附图标记9是钢丝,在其表面附着有切削用金刚石。该钢丝9从抽出用线轴91被抽出,在包含左右一对主辊92的多个主辊92上每预定间距(250μm)绕圈之后,由回收用线轴93回收。而且,附图标记94是硅锭料,经由粘结剂而安装于切片台95,使用升降装置96而沿上下方向移动。在使用这样的装置从硅锭料94切出薄的硅晶片的情况下,从抽出用线轴91抽出新的线材9,使左右一对主辊92绕圈而使线材9行进。并且,在线材9以一定速度行进的状态下将锭料94按压于多根线材9的表面,每隔预定间距将锭料94切断。此时,例如,将线材9抽出约800米左右,在此处暂时使线材9停止,然后使该线材9向回路方向行进。在使线材9向该回路方向行进时,一边使线材9返回约780米左右,一边将锭料94切断,在此处再次使主辊92停止而使线材9向去路方向行进。以下,同样使线材9向去路方向和回路方向行进,将锭料94切断。并且,这样将新的线材9从抽出用线轴91抽出去路与回路的行进距离的差量(约20米)来将锭料94切断。专利文献专利文献1:日本特开2014-96561号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题然而,在这样使用线锯将锭料切断的情况下,存在如下的问题。即,在使用钢丝将锭料切断的情况下,通常线材与锭料接触的距离越长,则切削用金刚石越会从该表面剥落,切削能力下降。因此,在使用这样的线材将锭料切断时,如图5所示,在锭料的被供给新的线材的一侧(以下,称为“新线侧”),由于在线材的表面附着有较多的切削用金刚石而切削槽变深,另一方面,在线材被回收的一侧(以下,称为“旧线侧”)由于切削用金刚石剥落而切削槽变浅。并且,在这样旧线侧的切削槽变浅的状态下按压锭料时,在旧线侧线材较大地挠曲,因此存在线材被切断的问题。因此,本专利技术目的是在利用线材将锭料切断的锭料切断装置中,提供一种通过掌握锭料中的线材的新线侧和旧线侧的切断状态而将线材的切断防患于未然的锭料切断装置。用于解决课题的方案即,本专利技术为了解决上述课题,提供一种锭料切断装置,使锭料向在一对辊之间绕多圈的线材按压而将锭料切断,所述锭料切断装置设有计测单元,该计测单元计测作用于向所述锭料供给新的线材的新线侧和回收旧的线材的旧线侧的锭料上的载荷或者计测线材的挠曲量。另外,使用安装于保持锭料的切片台侧的载荷传感器来构成所述计测单元,检测所述锭料中的供给新的线材的新线侧和回收旧的线材的旧线侧的沿锭料的按压方向的载荷。另外,使用安装于保持锭料的切片台侧的载荷传感器来构成所述计测单元,检测所述锭料中的供给新的线材的新线侧和回收旧的线材的旧线侧的沿线材的行进方向的载荷。另外,使用安装于保持锭料的切片台侧的载荷传感器来构成所述计测单元,计测绕着沿所述按压方向的轴的锭料的力矩。另外,使用安装于保持锭料的切片台上的载荷传感器来构成所述计测单元,计测绕着沿所述线材的行进方向的轴的锭料的力矩。另外,也可以使用如下的方法:使用安装于保持锭料的切片台上的载荷传感器构成,计测绕着沿所述按压方向的轴的锭料的力矩中心与锭料的重心位置之间的距离。另外,也可以使用如下的方法:使用安装于保持锭料的切片台上的载荷传感器构成,计测绕着沿所述线材的行进方向的轴的锭料的力矩中心与锭料的重心位置之间的距离。此外,作为计测单元,也可以使用计测线材的挠曲量的感应型非接触式传感器构成。专利技术效果根据本专利技术,计测作用于锭料中的新线侧和旧线侧的载荷或线材的挠曲量,因此能够掌握该新线侧与旧线侧的切削状态之差,能够消除作用于线材的张力之差而将线材的切断防患于未然。附图说明图1是本专利技术的一实施方式的锭料切断装置的整体概略图。图2是该实施方式的载荷检测装置的概略图。图3是表示该实施方式的在切片台安装有大小不同的锭料的状态的图。图4是进行该实施方式的初始设定的画面例。图5是表示锭料的切削槽的状态的图。图6是该实施方式的检测Z轴方向的载荷的状态图。图7是该实施方式的检测X轴方向的载荷的状态图。图8是该实施方式的检测绕Z轴的力矩的状态图。图9是该实施方式的检测绕X轴的力矩的状态图。图10是表示该实施方式的线材的挠曲量的检测状态的图。图11是以往例子的锭料的切断装置。附图标记说明1…切断装置21…抽出用线轴22a~22c…主辊23…回收用线轴3…线材4…冷却部51…切片台52…锭料52a…切削槽52n…新线侧52o…旧线侧53…升降装置6…载荷检测装置(计测单元)61u、d…上侧金属板、下侧金属板62…孔63…壳体64…基板S11~22…载荷传感器65…销71…0设定的按钮6a…非接触式传感器具体实施方式以下,参照附图,说明本专利技术的一实施方式。本实施方式的锭料的切断装置1使用多线锯从锭料52切出薄的硅晶片,如图1所示,具备抽出新的线材3的抽出用线轴21、使从该抽出用线轴21抽出的线材3每预定的间距绕圈的多个主辊22a~22c及从该主辊22a~22c回收线材3的回收用线轴23,上述的抽出用线轴21、回收用线轴23、主辊22a~22c等由未图示的电动机来驱动。而且,在使该线材3绕圈的一对主辊22a~22b之间设有用于将保持于切片台51的锭料52向多根线材3按压的升降装置53,通过该升降装置53将锭料52按压于线材3的表面而切出硅晶片。并且,特征性地,在切片台51的上部,在锭料52的被供给新的线材3的新线侧52n和锭料52的被回收切削完的线材3的旧线侧52o设置图2所示的具有载荷传感器S(S11~S22)的载荷检测装置6,从而能够检测锭料52被按压于线材3时的载荷而掌握锭料52的切断状态。以下,详细说明本实施方式。首先,在该抽出用线轴21卷缠有新的线材3,从此处抽出线材3。该线材3使用表面附着有切削用的磨粒的直径约50μm~500μm的线材,具体而言,使用电沉积有金刚石固定磨粒等的钢丝等。在该抽出用线轴21卷缠有50km~100km左右的长度的线材3,在抽出线材3的情况下,通过使电动机正转而将线材3向去路方向抽出。而且,在使该线材3向回路方向行进的情况下,使电动机反转而能够将线材3向抽出用线轴21侧回收。在从该抽出用线轴21抽出线材3的情况下,通过设于与主辊22a~22c之间的未图示的张力辊向线材3施加10N的张力。主辊22a~22c使从该抽出用线轴21抽出的线材3以预定间距呈螺旋状地绕圈,且在其表面平行地形成有用于卷绕线材3的多个槽。作为该槽的间距,例如,设定为250μm的间隔,通过使一根线材3绕多圈而向多根线材3按压锭料52来切出薄的硅晶片。该主辊22中的设置于上方侧的左右一对主辊22a~22b之间通过多根线材3而能够形成切断区域,而且,在下方设置的主辊22c作为驱动用的辊而使线材3向去路方向和回路方向行进。在该左右一对主辊22a~22b的附近设有用于放出冷却液的冷却部4。该冷却液使在线材3切削时因摩擦而加热的锭料52冷却,向由线材3切断的整个切断部分大量地放出。另一方面,回收用线本文档来自技高网...
锭料的切断装置及锭料的切断装置使用的载荷检测装置

【技术保护点】
一种锭料切断装置,使锭料向在一对辊之间绕多圈的线材按压而将锭料切断,所述锭料切断装置的特征在于,设有计测单元,该计测单元计测作用于向所述锭料供给新的线材的新线侧和回收旧的线材的旧线侧的锭料上的载荷或者计测线材的挠曲量。

【技术特征摘要】
2016.09.27 JP 2016-1889311.一种锭料切断装置,使锭料向在一对辊之间绕多圈的线材按压而将锭料切断,所述锭料切断装置的特征在于,设有计测单元,该计测单元计测作用于向所述锭料供给新的线材的新线侧和回收旧的线材的旧线侧的锭料上的载荷或者计测线材的挠曲量。2.根据权利要求1所述的锭料切断装置,其中,所述计测单元是使用安装于保持锭料的切片台侧的载荷传感器而构成的,是计测所述锭料中的线材的新线侧和旧线侧的沿锭料的按压方向的载荷的单元。3.根据权利要求1所述的锭料切断装置,其中,所述计测单元是使用安装于保持锭料的切片台侧的载荷传感器而构成的,是计测所述锭料中的线材的新线侧和旧线侧的沿线材行进方向的载荷的单元。4.根据权利要求1所述的锭料切断装置,其中,所述计测单元是使用安装于保持锭料的切片台侧的载荷传感器而构成的结构,是计测绕着沿所述按压方向的轴的锭料的力矩的单元。5.根据权利要求1所述的锭料切断装置,其中...

【专利技术属性】
技术研发人员:高桥正行八木能彦纐纈和美土屋阳太郎
申请(专利权)人:松下电器产业株式会社株式会社泰克技贩
类型:发明
国别省市:日本,JP

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