脉搏波传感装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种脉搏波传感装置10，具有压力传感器20，以及将所述压力传感器20固定于被测量部位101的粘着胶带80；压力传感器20具有隔膜部21，以及在支撑隔膜部21的同时具有使隔膜部21朝向被测量部位101的开口的环状支撑部22；通过粘着胶带80将压力传感器20固定于被测量部位101上，使得隔膜部21以及被测量部位101之间形成密闭空间28。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】脉搏波传感装置
本专利技术涉及一种具有压力传感器的脉搏波传感装置，其中，该压力传感器具有隔膜部。对于承认参考文献引用的指定国，将2014年9月24日在日本申请的特愿2014-194214中记载的内容通过参照援引到本说明书中，作为本说明书记载的一部分。
技术介绍
众所周知，张力测量法为一种连续测定脉搏波的方法(例如参照特许文献1(段落0002))。现有技术文献特许文献特许文献1：特开2007-289501号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的问题上述的张力测量法中，维持动脉被平坦压迫的状态测量动脉内部压力的变动。因此，虽然可连续测量脉搏波，但是存在由于长时间测量而变成了被验者的负担的问题。本专利技术要解决的问题为，提供一种可持续长时间连续测量脉搏波的脉搏波传感装置。用于解决问题的手段[1]本专利技术的脉搏波传感装置，其特征在于，具有压力传感器，以及将所述压力传感器固定于被测量部位的固定机构；所述压力传感器具有隔膜部，以及在支撑所述隔膜部的同时具有使隔膜部朝向所述被测量部位的开口的环状支撑部；所述固定机构将所述压力传感器固定于所述被测量部位，从而在所述隔膜部以及所述被测量部之间形成密闭空间。上述专利技术中，所述脉搏波传感装置具有安装所述压力传感器的布线基板也是可以的。上述专利技术中，所述脉搏波传感装置具有将所述布线基板以及所述压力传感器机械且电气连接的连接机构，所述布线基板以及所述压力传感器通过所述连接机构相对也是可以的。上述专利技术中，在所述隔膜部以及所述布线基板之间形成空间也是可以的。上述专利技术中，所述空间通过所述连接机构形成也是可以的。上述专利技术中，所述压力传感器具有设置于所述隔膜部上的压敏电阻，以及设置于所述支撑部的与所述布线基板相对的第一主面上的同时与所述压敏电阻电气连接的第一电极；所述布线基板具有设置于与所述压力传感器相对的第二主面上的第二电极；所述连接机构具含有用于连接第一电极以及第二电极的连接部也是可以的。上述专利技术中，所述连接部由焊锡球形成，所述焊锡球具有核以及包覆所述核的焊锡层也是可以的。上述专利技术中，所述脉搏波传感装置具有一端连接于所述布线基板的电缆，以及连接于所述电缆另一端的连接器也是可以的。上述专利技术中，所述布线基板具有设置于所述第二主面反面的第三电极，以及将所述第二电极和所述第三电极电气连接的导电电路；所述电缆连接于所述第三电极上也是可以的。上述专利技术中，所述脉搏波传感装置具有介于所述压力传感器以及所述被测量部位之间的环状密封部件也是可以的。上述专利技术中，通过将所述压力传感器向所述被测量部位按压，所述固定机构将所述压力传感器固定于所述被测量部位也是可以的。上述专利技术中，以所述隔膜部位于所述布线基板一侧的同时，所述开口朝向与所述布线基板相反的一侧开口的方式，将所述压力传感器安装于所述布线基板上也是可以的。上述专利技术中，所述布线基板具有与所述隔膜部相对的贯通孔或者凹部也是可以的。上述专利技术中，所述连接部由焊锡球或者导电性粘着剂形成也是可以的。上述专利技术中，所述密封部件粘贴于所述支撑部上也是可以的。专利技术的效果本专利技术中，通过固定机构将压力传感器固定于被测量部位，从而在隔膜部以及被测量部位之间形成密闭空间。因此，不压迫血管，可基于血压变动引起的被测量部位皮肤表面的上下跳动测量脉搏波，从而可实现持续长时间连续测量脉搏波。附图说明图1为本专利技术的实施形态中表示脉搏波传感装置的剖面结构示意图。图2为本专利技术实施形态中使用脉搏波传感装置测量脉搏波的原理图。图3为表示本专利技术的实施形态的压力传感器的主视图。图4为图3中沿IV-IV线的剖面结构示意图。图5为表示本专利技术的实施形态中用于脉搏波传感装置的焊锡球的剖面结构示意图。图6为表示本专利技术的实施形态中脉搏波传感装置的第一变形例的剖面结构示意图。图7为表示本专利技术的实施形态中脉搏波传感装置的第二变形例的剖面结构示意图。具体实施方式以下，根据附图对本专利技术的实施形态进行说明。图1为表示本实施形态的脉搏波传感装置的剖面结构示意图，图2为本专利技术实施形态中使用脉搏波传感装置测量脉搏波的原理图。本实施形态中脉搏波传感装置10为测量血管动脉波形(简称“动脉波”)的传感装置，在通过血压测量装置1测量血压时，连接在血压测量装置1上使用。该脉搏波传感装置10，如图1所示，具有压力传感器20，密封部件30，布线基板40，连接部51、52，电缆60，连接器70以及粘着胶带80。在使用脉搏波传感装置10测量脉搏波的情况下，如图2所示，在压力传感器20的隔膜部21以及被测量部位101之间形成密闭空间28。之后，通过由设置于隔膜部21上的压敏电阻23(参照图4)检测出由血压变动引起的被测量部位101表面的压力变动，从而测量脉搏波。另外，为了更加容易地理解脉搏波的测量原理，在图2中，省略了布线基板40，连接部51、52，电缆60，连接器70以及粘着胶带80。以下，针对本实施形态的脉搏波传感装置10的构成进行详细说明。图3为表示本实施形态的压力传感器20的主视图，图4为图3中沿IV-IV线的剖面结构示意图。压力传感器20为使用MEMS(微电机系统)技术的压敏电阻型半导体压力传感器，如图3以及图4所示，具有隔膜部21，以及支撑所述隔膜部21的支撑部22。本实施形态中，如图4所示，隔膜部21由第一SiO2层91以及第一Si层92构成。另一方面，支撑部22由第1和第2SiO2层91、93以及第一和第二Si层92、94构成。另外，隔膜部21以及支撑部22的构成并没有特别限定于此。如图1所示，本实施形态中，支撑部22的上表面221与布线基板40的下表面412相对，隔膜部21靠近布线基板40的下表面412。本实施形态中，支撑部22的上表面221相当于本专利技术中第一主面的一个例子。如图3以及图4所示，隔膜部21由圆形的隔膜构成。支撑部22包括具有圆形开口223的筒状体。该支撑部22的开口223的上部连接于隔膜部21的外周缘，隔膜部21由支撑部22所支撑。此时，支撑部22的开口223的上部由隔膜部21气密地密封。另外，隔膜部21以及开口223的形状并未特别限定于圆形。隔膜部21上设有4个压敏电阻23a～23d。该压敏电阻23a～23d设置于隔膜部21的外周附近。各个压敏电阻23a～23d通过接触部24a～24h以及布线图案25a～25h与第一电极26a～26d电气连接。第一电极26a～26d设置于支撑部22的上表面221上。压敏电阻23a～23d以及接触部24a～24h，例如，通过在构成隔膜部21的第一Si层92上涂覆硼(B)形成。另外，虽然并未在图3中特别图示，接触部24a～24h分别设置于压敏电阻23a～23d以及布线图案25a～25h之间。进一步地，本实施形态中，如图3所示，支撑部22的上表面221上设有至少两个第一假电极27。该第一假电极27为不与压敏电阻23、连接部24、布线图案25以及第一电极26等电气连接，且不具有电气功能的电极。该第一假电极27设置于支撑部22的上表面222的外缘附近，沿着所述外缘实质上等间隔设置。另外，支撑部22的上表面221的第一假电极27的位置设定为与第一电极26相适应，并不特别限定于所述上表面221的外缘附近。此外，第一假电极27的间隔并未特别限定于等间隔。另外，本实施形态中，将压敏电阻23a～23d统称为“本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种脉搏波传感装置，其特征在于，具有压力传感器，以及将所述压力传感器固定于被测量部位的固定机构；所述压力传感器具有隔膜部，以及在支撑所述隔膜部的同时具有使所述隔膜部朝向所述被测量部位的开口的环状支撑部；所述固定机构将所述压力传感器固定于所述被测量部位，所述隔膜部以及所述被测量部位之间形成密闭空间。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.09.24 JP 2014-1942141.一种脉搏波传感装置，其特征在于，具有压力传感器，以及将所述压力传感器固定于被测量部位的固定机构；所述压力传感器具有隔膜部，以及在支撑所述隔膜部的同时具有使所述隔膜部朝向所述被测量部位的开口的环状支撑部；所述固定机构将所述压力传感器固定于所述被测量部位，所述隔膜部以及所述被测量部位之间形成密闭空间。2.根据权利要求1所述的脉搏波传感装置，其特征在于，所述脉搏波传感装置具有安装有所述压力传感器的布线基板。3.根据权利要求2所述的脉搏波传感装置，其特征在于，所述脉搏波传感装置具有将所述布线基板以及所述压力传感器机械且电气连接的连接机构；所述布线基板以及所述压力传感器通过所述连接机构相对设置。4.根据权利要求3所述的脉搏波传感装置，其特征在于，所述隔膜部以及所述布线基板之间形成有空间。5.根据权利要求4所述的脉搏波传感装置，其特征在于，所述空间通过所述连接机构形成。6.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：三瓶广和，加藤耕平，
申请(专利权)人：株式会社爱德万测试，
类型：发明
国别省市：日本,JP