氮氧化物传感器芯片制造技术

技术编号:17384819 阅读:26 留言:0更新日期:2018-03-04 05:16
本发明专利技术涉及一种氮氧化物传感器芯片,其中所述的传感器芯片的内部引线从内向外的连接方式为:通过设置在内层的电极尾部的一个或多个孔,经过多层氧化锆基片,与外部的引脚连接。采用了本发明专利技术的氮氧化物传感器芯片,方法简单,所有的氧泵电极、测试电极、参比电极以及外电极和加热体可以和引脚可靠的连接,可以大幅度的降低工艺难度。

Nitrogen oxide sensor chip

The invention relates to a nitrogen oxide sensor chip, wherein the internal leads of the sensor chip are connected from inside to outside, which are connected to the external pins through one or more holes arranged at the tail end of the inner layer through multilayer zirconia substrates. The nitrogen oxide sensor chip of the invention is adopted, and the method is simple. All oxygen pump electrodes, test electrodes, reference electrodes, external electrodes and heating bodies can be reliably connected with pins, which can greatly reduce the difficulty of technology.

【技术实现步骤摘要】
氮氧化物传感器芯片
本专利技术涉及汽车尾气控制系统的设计领域,尤其涉及传感器,具体是指一种氮氧化物传感器芯片。
技术介绍
随着我国城镇化进程的加速,化石燃料消耗迅速增加,很多的有毒、有害的气体被释放到大气中污染环境,其中最典型的一类,就是NOx气体,它不仅会导致光化学烟雾以及酸雨、破坏臭氧层,还会对人类的呼吸系统产生副作用,出现脱发、喉咙发炎、视力受损、呼吸系统抵抗力下降等症状。因此氮氧化物减排被列为环境保护的要求之一。很多的毒理以及流行病学研究发现了NOx的副作用。NO2以及NO气体(合称NOx)目前受到较大的关注。这种气体在一些道路特别是高人口密度的居住区的浓度较高,这就显得问题更加严重了。研究表明,75%的NOx气体是由汽车排放产生的,这其中大约一半是由非道路运输的车辆产生的,如工程机械、农业机械等。人们投入了很大的精力和财力来降低这种气体的产生并通过更为严厉的法规来限制这类气体的排放。降低NOx的方法主要有两种,NOx气体捕获以及NOx还原。但是无论哪种方法,准确的测定NOx的浓度是首先要解决的问题。NOx的测试方法有很多种,如共振电离光谱法、傅立叶转换红外光谱法、气相色谱/质谱法、化学发光分析等,这些方法可以很精确的测定NOx的浓度,但是也有很多的缺点,如不能在线测试,测试设备体积庞大等。目前技术最成熟的NOx传感器是基于氧化锆基的电化学电流测试方法,NOx传感器是采用6层氧化锆基片叠层共烧而成,中间加入了加热体,测试电极、氧泵电极等。它首先通过降低汽车尾气中的O2的含量,将尾气中O2含量降到了很低的程度(10-3ppm),NOx气体在测试电极表面分解成N2和O2气体,通过测定O2气体产生的电流强度,测试NOx的浓度。这种装置的优点在于可以在线测试NOx的浓度,体积小,安装方便。但是他的缺点也是很明显的,这种芯片制备过程中需要将内部电极引出,通常采用叠层切割后手工涂覆的方法,这种方法的可靠性较差。,失误的话都会导致前功尽弃。如果改进NOx传感器的内部电极可靠引出的话,可以提高产品的成品率。本专利技术针对这种情况提出一种改进NOx传感器的内部电极可靠引出的方法。
技术实现思路
本专利技术的目的是克服了上述现有技术的缺点,提供了一种方法简单、大幅度降低工艺难度、连接可靠的氮氧化物传感器芯片。为了实现上述目的,本专利技术的氮氧化物传感器芯片具有如下构成:所述的传感器芯片的内部引线从内向外的连接方式为:通过设置在内层的电极尾部的一个或多个孔,经过多层氧化锆基片,与外部的引脚连接。较佳地,所述的孔的尺寸为0.1mm~0.5mm。较佳地,所述的孔的表面印刷有Pt浆料。较佳地,将印刷好的氧化锆基片叠层并切割烧结。较佳地,所述的传感器芯片内的氧泵电极、测试电极、参比电极、外电极和加热体与外部的引脚相连接。采用了本专利技术的氮氧化物传感器芯片,方法简单,所有的氧泵电极、测试电极、参比电极以及外电极和加热体可以和引脚可靠的连接,可以大幅度的降低工艺难度。附图说明图1为本专利技术的氮氧化物传感器芯片的连接方式的结构示意图。图2为本专利技术的氮氧化物传感器芯片的连接方式的细节图。附图标记1孔具体实施方式为了能够更清楚地描述本专利技术的
技术实现思路
,下面结合具体实施例来进行进一步的描述。如图1~2所示,本专利技术的氮氧化物传感器芯片的内部引线从内向外的连接方式为:通过设置在内层的电极尾部的孔,经过多层氧化锆基片,与外部的引脚连接。其中,所述的孔的尺寸为0.1mm~0.5mm。其中,所述的孔的表面印刷有Pt浆料。其中,将印刷好的氧化锆基片叠层并切割烧结。其中,所述的传感器芯片内的氧泵电极、测试电极、参比电极、外电极和加热体与外部的引脚相连接。本专利技术提供一种氮氧化物传感器芯片的实施例,如图1~2所示,其中,第一层为内部电极,经过三层氧化锆基片,三层基片的材质均为氧化锆。在基片的相同位置开孔,孔直径0.2mm。用方块状的Pt浆料覆盖,正反位置对称。在第三层为外部引脚。印刷烘干后,叠层、切割、烧结。采用了本专利技术的氮氧化物传感器芯片,方法简单,所有的氧泵电极、测试电极、参比电极以及外电极和加热体可以和引脚可靠的连接,可以大幅度的降低工艺难度。在此说明书中,本专利技术已参照其特定的实施例作了描述。但是,很显然仍可以作出各种修改和变换而不背离本专利技术的精神和范围。因此,说明书和附图应被认为是说明性的而非限制性的。本文档来自技高网
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氮氧化物传感器芯片

【技术保护点】
一种氮氧化物传感器芯片,其特征在于,所述的传感器芯片的内部引线从内向外的连接方式为:通过设置在内层的电极尾部的一个或多个孔,经过多层氧化锆基片,与外部的引脚连接。

【技术特征摘要】
1.一种氮氧化物传感器芯片,其特征在于,所述的传感器芯片的内部引线从内向外的连接方式为:通过设置在内层的电极尾部的一个或多个孔,经过多层氧化锆基片,与外部的引脚连接。2.根据权利要求1所述的氮氧化物传感器芯片,其特征在于,所述的孔的尺寸为0.1mm~0.5mm。3.根据权利要求1所述的氮氧...

【专利技术属性】
技术研发人员:冯涛潘莉莉沈准王广平王红勤王贵强
申请(专利权)人:东风电子科技股份有限公司
类型:发明
国别省市:上海,31

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