一种顶针自动更换装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于半导体设备领域，尤其涉及一种顶针自动更换装置，其提供的自动更换顶针的装置集顶针的自动监控、拆装、打磨于一体，防止了人为判定顶针磨损的不确定性，同时节省了人工更换顶针的时间，并将旧的顶针进行自动打磨，进而提高了顶针的使用寿命。

An automatic thimble replacement device

The utility model belongs to the field of semiconductor devices, and particularly relates to a thimble of the automatic replacement device, the device provides the automatic replacement of the thimble thimble set automatic monitoring, disassembly, grinding in one, to prevent the human judgment thimble wear uncertainty, while saving time and artificial replacement of the thimble, the thimble of the old automatic grinding then, to improve the service life of the thimble.

【技术实现步骤摘要】
一种顶针自动更换装置
本技术属于半导体设备领域，尤其涉及一种顶针自动更换装置。
技术介绍
现有分选机在分选晶粒时，晶粒背面会有顶针残胶异常，而产生这一现象的原因主要是顶针头磨钝或者断针导致的，因此需要人为判断顶针异常情况并更换，现有顶针的更换步骤为：拧开压紧螺母，取下顶针外罩，松开顶针夹持件的锁紧螺钉，取出顶针的等多个步骤，而且难以精确控制顶针的顶起高度。同时，人员判断顶针的磨损程度较难，且更换厚度顶针一般直接扔掉，造成浪费。
技术实现思路
针对现有技术的以上缺陷或者改进需求，本技术提供一种顶针自动更换装置，该装置包括顶针固定机构，所述顶针固定机构包括一固定架，位于固定架内部的顶起驱动机构、顶针紧固模组、第一滑轨，以及位于固定架外部的顶针帽，其中，所述固定架的一侧壁固定安装有一竖直的第一滑轨，固定架的其余任意一侧壁开设有一自动门；所述顶起驱动机构的一侧设置于第一滑轨内，并可沿第一滑轨上下移动；所述顶针紧固模组设置于顶起驱动机构上，所述顶针竖沿竖直方向安装于顶针紧固模组的上端，并与所述固定架上部的通孔以及顶针帽内部的气孔相对准；其特征在于：该装置还包括顶针拆装机构、顶针放置打磨机构、光学检测机构，其中，所述顶针拆装机构用于自动拆装紧固于顶针固定机构上的顶针，包括主控单元、安装于主控单元上的可水平、上下移动的拆装机械手，机械手臂通过所述自动门拆装顶针；所述顶针打磨机构用于放置、打磨顶针，包括顶针放置架、打磨头、用于驱动打磨头的旋转马达和第二滑轨，所述旋转马达沿所述第二滑轨上、下滑动；所述光学检测机构用于检测顶针磨损程度。优选的，所述顶针紧固模组包括弹性固定件、套装于弹性固定件上的环形紧固环和用于驱动紧固环上、下移动的气缸。优选的，所述弹性固定件的一端部直径大于另一端部直径。优选的，所述弹性固定件为花瓣式固定件，所述顶针沿竖直方向固定安装于花瓣式固定件的上端。优选的，所述顶针打磨机构还包括一顶针清洗单元。优选的，所述光学检测单元为电荷耦合元件。优选的，所述环形紧固环的内壁为倾斜面。优选的，所述机构为旋转式打磨头，其一端连接驱动马达，另一端具有一圆锥状凹槽。优选的，所述圆锥状凹槽的大小与顶针尖端部分的大小相同。本技术的至少包括以下有益效果：可以自动监控顶针寿命，避免因顶针异常而导致产品的异常；自动更换顶针，节省人力上、下顶针的动作，提高效率；更换后的旧顶针可以自动进行打磨清洁，进行二次利用，进而提高了顶针的使用寿命。附图说明图1为本技术之顶针自动更换装置的主视图。图2为本技术之顶针紧固模组立体结构示意图。附图标注：110：固定架；111：通孔；112：自动门；120：顶起驱动机构；130：第一滑轨；140：顶针帽；141：气孔；150：顶针紧固模组；151：弹性固定件；152：环形紧固环；153：气缸；200：顶针；310：主控单元；320：拆装机械手；410:顶针放置架；420：打磨头；430：旋转马达；440：第二滑轨；500：光学检测机构。具体实施方式为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实施例，并不用于限定本技术。此外，下面所描述的本技术的各个实施方式中所涉及到的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。图1是按照本技术优选实施例所构建的顶针自动更换装置的整体结构示意图。如图1中所示，该顶针自动更换装置包括顶针固定机构、顶针拆装机构、顶针打磨机构和光学检测机构500，其中，顶针固定机构包括一固定架110，位于固定架110内部的顶起驱动机构120、顶针紧固模组150、第一滑轨130，以及位于固定架110外部的顶针帽140，其中，固定架110的一侧壁固定安装有一竖直的第一滑轨130，固定架110的其余任意一侧壁开设有一自动门112；顶起驱动机构120的一侧设置于第一滑轨130内，并可沿第一滑轨130上下移动；顶针紧固模组150设置于顶起驱动机构120上，顶针200竖沿竖直方向安装于顶针紧固模组150的上端，并与固定架110上部的通孔111以及顶针帽140内部的气孔141对准；顶针拆装机构用于自动拆装紧固于顶针固定机构上的顶针200，包括主控单元310、安装于主控单元310上的可水平、上下移动的拆装机械手320，机械手臂通过所述自动门112拆装顶针200；光学检测机构500用于检测顶针磨损程度，本实施例优选的光学检测机构500为电感耦合元件，即CCD，其固定设置于顶针帽140正上方；顶针200工作过程中，设定其检测周期参数及顶针200头直径参数，每当顶针200使用次数达到检测周期参数时就起到CCD检查，通过CCD顶针200进行拍照，然后对顶针的针头进行测量，当针头测量结果大于设定的针头直径参数值时，则自动执行换针动作，反之，则继续运行。顶针打磨机构用于放置、打磨顶针200，包括顶针放置架410、打磨头420、第二滑轨440和用于驱动打磨头420的旋转马达430，旋转马达430沿第二滑动上、下滑动；顶针放置架410用于存放打磨后的顶针200（此后文中统一称为新顶针200）及待打磨顶针（此后文中统一称为旧顶针200），打磨头420位于顶针放置架410上端，旋转马达430驱动打磨头420进行旋转打磨旧顶针。旋转式打磨头420，其一端连接驱动马达，另一端具有一圆锥状凹槽，圆锥状凹槽的大小与顶针尖端部分的大小相同。参看附图2，顶针紧固模组150包括弹性固定件151、套装于弹性固定件151上的环形紧固环152和用于驱动紧固环152上、下移动的气缸153。本技术提供的弹性固定件151的一端部直径大于另一端部直径，优选的，该弹性固定元件为一端呈花瓣式的弹性固定件151，另一端为圆柱型，且圆柱型一端的直径小于花瓣型一端的直径，环形紧固环152套于圆柱型一端上，气缸153推动紧固环的上、下移动来实现弹性固定件151紧固或者松落顶针，顶针沿竖直方向夹持于花瓣与花瓣之间。环形紧固环152为了与弹性固定件151相匹配，其内部形状与环形紧固件的形状相同，但尺寸略小于环形紧固件的尺寸，因此，环形紧固环152的内壁为倾斜面。本技术提供的自动更换顶针的的装置的具体工作流程如下：顶针200工作一定周期后，CCD拍摄测量顶针200针头，判定是否需要更换，当需要更换顶针时，顶起驱动机构120沿第一滑轨130下滑至更换顶针位置，此位置以顶针200完全位于固定架110内，且机械手臂能抓取顶针200为准；接着，自动门112下落打开，机械手臂抓紧顶针200，气缸153向下移使环形紧固环152松落，顶针200与弹性固定件151分离，手臂控制模组控制夹取顶针后的拆装机械手320移动并将顶针安插于顶针放置架410上，完成旧顶针的拆卸。接着拆装接卸手臂夹取新顶针，移动并安装于弹性固定件151上，此时气缸153上升，推动环形紧固环152上升并使顶针200紧固于弹性固定件151的上端，完成新顶针200的安装。手臂控制模组控制拆装机械手320缩回原点位置。自动门112上升并关闭，完成顶针200的拆装工作。拆卸后的旧顶针200则进行打磨工序，其具体步骤如下：将打磨头420对准顶针200上端，旋转马达430根本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种顶针自动更换装置，该装置包括顶针固定机构，所述顶针固定机构包括一固定架、位于所述固定架内部的顶起驱动机构、顶针紧固模组、第一滑轨，以及位于固定架外部的顶针帽，其中，所述固定架的一侧壁固定安装有一竖直的第一滑轨，固定架的其余任意一侧壁开设有一自动门；所述顶起驱动机构的一侧设置于第一滑轨内，并可沿第一滑轨上下移动；所述顶针紧固模组设置于顶起驱动机构上，所述顶针竖沿竖直方向安装于顶针紧固模组的上端，并与所述固定架上部的通孔以及顶针帽内部的气孔相对准；其特征在于：该装置还包括顶针拆装机构、顶针放置打磨机构、光学检测机构，其中，所述顶针拆装机构用于自动拆装紧固于顶针固定机构上的顶针，包括主控单元、安装于主控单元上的可水平、上下移动的拆装机械手，机械手臂通过所述自动门拆装顶针；所述顶针打磨机构用于放置、打磨顶针，包括顶针放置架、打磨头、用于驱动打磨头的旋转马达和第二滑轨，所述旋转马达沿所述第二滑轨上、下滑动；所述光学检测机构用于检测顶针磨损程度。

【技术特征摘要】
1.一种顶针自动更换装置，该装置包括顶针固定机构，所述顶针固定机构包括一固定架、位于所述固定架内部的顶起驱动机构、顶针紧固模组、第一滑轨，以及位于固定架外部的顶针帽，其中，所述固定架的一侧壁固定安装有一竖直的第一滑轨，固定架的其余任意一侧壁开设有一自动门；所述顶起驱动机构的一侧设置于第一滑轨内，并可沿第一滑轨上下移动；所述顶针紧固模组设置于顶起驱动机构上，所述顶针竖沿竖直方向安装于顶针紧固模组的上端，并与所述固定架上部的通孔以及顶针帽内部的气孔相对准；其特征在于：该装置还包括顶针拆装机构、顶针放置打磨机构、光学检测机构，其中，所述顶针拆装机构用于自动拆装紧固于顶针固定机构上的顶针，包括主控单元、安装于主控单元上的可水平、上下移动的拆装机械手，机械手臂通过所述自动门拆装顶针；所述顶针打磨机构用于放置、打磨顶针，包括顶针放置架、打磨头、用于驱动打磨头的旋转马达和第二滑轨，所述旋转马达沿所述第二滑轨上、下滑动；所述光学检测机构用于检测顶针磨损程度。2.根据权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：林桂绮，张虎，周立，颜云海，邱智中，张家宏，
申请(专利权)人：安徽三安光电有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34