压电振子的制造方法技术

压电振子(1)的制造方法包括：经由导电性粘合剂(340、342)将压电振动元件(100)安装于基座部件(300)；将安装于基座部件(300)的压电振动元件(100)在与周围相比高温以及高湿的环境中维持规定时间；通过利用离子束实施的蚀刻进行压电振动元件(100)的频率调整；以及经由接合材料(350)将罩部件(200)与基座部件(300)接合以密封封闭压电振动元件(100)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】压电振子的制造方法
本专利技术涉及压电振子的制造方法。
技术介绍
作为振荡装置、带通滤波器等所使用的压电振子的制造方法，已知例如如专利文献1所记载的那样，经由导电性粘合剂将压电振动元件(例如石英片)安装在基板上，进行压电振动元件的频率调整以具备所希望的频率特性，之后，通过凹状的金属罩将压电振动元件密封封闭在内部空间，由此制造压电振子。然而，以往，存在如下情况：在压电振动元件的封闭工序的制造工艺或者完成后的产品使用时等，由于密封封闭的内部空间的湿度而引起导电性粘合剂的物性变化，由此压电振子的频率特性变动。这样的频率特性的变动在进行了用于得到所希望的频率特性的频率调整的工序之后发生，另外，频率特性的变动量根据每个产品存在偏差而难以预测，所以有不容易制造具备所希望的频率特性的压电振子的情况。专利文献1：日本特开2012－191648号公报
技术实现思路
本专利技术是鉴于这样的情况而完成的，其目的在于容易地制造具备所希望的频率特性的压电振子。本专利技术的一侧面所涉及的压电振子的制造方法包括：(a)经由导电性粘合剂将压电振动元件安装于基座部件；(b)将安装于基座部件的压电振动元件在与周围相比高温以及高湿的环境中维持规定时间；(c)通过利用离子束实施的蚀刻来进行压电振动元件的频率调整；以及(d)经由接合材料将罩部件与基座部件接合以密封封闭压电振动元件。根据上述构成，将安装于基板上的压电振动元件维持在高温以及高湿的环境中，之后进行压电振动元件的频率调整。由此，能够使频率特性的变动显现化，并考虑这样的显现化后的每个产品的频率特性的偏差，来进行用于得到所希望的频率特性的压电振动元件的频率调整。因此，能够容易地制造具备所希望的频率特性的压电振子。也可以在上述压电振子的制造方法中，(b)包括：将压电振动元件在40℃以上121℃以下的温度并且70％RH以上95％RH以下的湿度的环境中维持30分钟以上168小时以下的时间。也可以在上述压电振子的制造方法中，基座部件包括形成在供压电振动元件安装的上表面的连接电极、和从连接电极朝向基座部件的上表面的外缘引出的引出电极，(a)包括经由导电性粘合剂将压电振动元件与连接电极电连接。也可以在上述压电振子的制造方法中，压电振动元件包括压电基板和形成于压电基板的激励电极，(c)包括通过利用离子束实施的蚀刻来修整激励电极。也可以在上述压电振子的制造方法中，压电基板是石英基板。也可以在上述压电振子的制造方法中，罩部件是具有与基座部件对置的凹部的盖。也可以在上述压电振子的制造方法中，接合材料是树脂粘合剂。据此，能够抑制树脂粘合剂所引起的湿气的影响。根据本专利技术，能够容易地制造具备所希望的频率特性的压电振子。附图说明图1是本专利技术的一实施方式所涉及的压电振子的分解立体图。图2是图1的II－II线剖视图。图3是表示本专利技术的一实施方式所涉及的压电振子的制造方法的流程图。图4是表示用于说明本专利技术的一实施方式所涉及的压电振子的制造方法的实验例的图。图5是表示用于说明本专利技术的一实施方式所涉及的压电振子的制造方法的实验例的图。具体实施方式以下对本专利技术的实施方式进行说明。在以下的附图的记载中，相同或者类似的构成要素以相同或者类似的附图标记来进行表示。附图是例示，各部的尺寸、形状是示意性的尺寸、形状，而不应该将本申请专利技术的技术范围限定于该实施方式来进行解释。参照图1以及图2，对本专利技术的一实施方式所涉及的压电振子进行说明。该压电振子是应用后述的本专利技术的一实施方式所涉及的压电振子的制造方法而制造的。这里，图1是压电振子的分解立体图，图2是图1的II－II线剖视图。此外，在图2中，省略压电振动元件的各种电极的图示。如图1所示，本实施方式所涉及的压电振子1具备：压电振动元件100、作为罩部件的一个例子的盖200以及作为基座部件的一个例子的基板300。盖200以及基板300是用于收纳压电振动元件100的壳体或者封装体。压电振动元件100包括压电基板110和形成于压电基板110的第一以及第二激励电极120、130。第一激励电极120形成于压电基板110的第一面112，另外，第二激励电极130形成于压电基板110的与第一面112相反的第二面114。压电基板110由给定的压电材料形成，其材料并不特别限定。在图1所示的例子中，压电振动元件100是具有作为AT切割石英基板的压电基板110的石英振动元件。AT切割的石英基板是在分别将使作为人工石英的结晶轴的X轴、Y轴、Z轴中的Y轴以及Z轴绕X轴从Y轴向Z轴的方向旋转35度15分±1度30分后的轴设为Y′轴以及Z′轴的情况下，将与由X轴以及Z′轴确定的面(以下，称为“XZ′面”。对于由其它的轴确定的面也相同。)平行的面作为主面而切出的。在图1所示的例子中，作为AT切割石英基板的压电基板110具有与Z′轴方向平行的长边方向、与X轴方向平行的短边方向以及与Y′轴方向平行的厚度方向，并且在XZ′面上大致呈矩形形状。使用了AT切割石英基板的石英振动元件在较宽的温度范围具有极高的频率稳定性，另外，经时变化特性也优异，而且能够以低成本进行制造。另外，AT切割石英振动元件使用厚度剪切振动模式(ThicknessShearMode)作为主振动的情况较多。此外，本实施方式所涉及的压电基板并不限定于上述构成，例如也可以应用具有与X轴方向平行的长边方向和与Z′轴方向平行的短边方向的AT切割石英基板，也可以是AT切割以外的不同切割的石英基板，或者也可以应用石英以外的陶瓷等其它的压电材料。第一激励电极120形成于压电基板110的第一面112(Y′轴正方向侧的XZ′面)，另外，第二激励电极130形成于压电基板110的与第一面112相反的第二面114(即，Y′轴负方向侧的XZ′面)。第一以及第二激励电极120、130是一对电极，被配置为在XZ′面相互大致整体重合。在压电基板110形成有经由引出电极122与第一激励电极120电连接的连接电极124和经由引出电极132与第二激励电极130电连接的连接电极134。具体而言，引出电极122在第一面112从第一激励电极120朝向Z′轴负方向侧短边引出，并通过压电基板110的Z′轴负方向侧的侧面，与形成于第二面114的连接电极124连接。另一方面，引出电极132在第二面114从第二激励电极130朝向Z′轴负方向侧短边引出，并与形成于第二面114的连接电极134连接。连接电极124、134沿着Z′轴负方向侧的短边配置，这些连接电极124、134经由后述的导电性粘合剂340、342实现与基板300的电导通并且被机械地保持于基板。此外，在本实施方式中，并不限定连接电极124、134以及引出电极122、132的配置、图案形状，能够考虑与其它的部件的电连接而适当地变更。包括第一以及第二激励电极120、130的上述各电极例如可以利用铬(Cr)层形成基底，并在铬层的表面形成金(Au)层，并不限定其材料。盖200具有与基板300的第一面302对置地开口的凹部204。在凹部204，遍及开口的整周而设置有形成为从凹部204的底面竖起的边缘部202，边缘部202具有与基板300的第一面302对置的端面205。如图2所示，该端面205可以是从凹部204的底面大致垂直地竖起突出的边缘部202的前端面。盖200的材料本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压电振子的制造方法，其中，包括：(a)经由导电性粘合剂将压电振动元件安装于基座部件；(b)将安装于所述基座部件的压电振动元件在与周围相比高温以及高湿的环境中维持规定时间；(c)通过利用离子束实施的蚀刻来进行所述压电振动元件的频率调整；以及(d)经由接合材料将罩部件与所述基座部件接合以密封封闭所述压电振动元件。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.06.15 JP 2015-1200141.一种压电振子的制造方法，其中，包括：(a)经由导电性粘合剂将压电振动元件安装于基座部件；(b)将安装于所述基座部件的压电振动元件在与周围相比高温以及高湿的环境中维持规定时间；(c)通过利用离子束实施的蚀刻来进行所述压电振动元件的频率调整；以及(d)经由接合材料将罩部件与所述基座部件接合以密封封闭所述压电振动元件。2.根据权利要求1所述的压电振子的制造方法，其中，所述(b)包括：将所述压电振动元件在40℃以上121℃以下的温度并且70％RH以上95％RH以下的湿度的环境中维持30分钟以上168小时以下的时间。3.根据权利要求1或者2所述的压电振子的制造方法...

【专利技术属性】
技术研发人员：高桥星太，开田弘明，牧野贤誉，新家博之，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP