一种复合真空镀膜机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种复合真空镀膜机，包括左炉体组件、中间炉体组件、右炉体组件，各炉体从左至右依序设置并相接；左炉体组件、右炉体组件与中间炉体组件间各设置有一个插板阀，两插板阀用于将左炉体组件、右炉体组件与中间炉体组件分隔成三个独立空间；插板阀是是可控活动结构，可进行电控伸缩，进而实现炉体隔离和相连。本实用新型专利技术结构简单、设计合理、结构紧凑，体积小、在工作上效率上以及成品品质上要明显优于现有设备。

A composite vacuum coating machine

【技术实现步骤摘要】
一种复合真空镀膜机
本技术涉及一种镀膜机，具体的说是一种利用复合多炉体真空离子镀膜实现用于工件表面镀膜的复合真空镀膜机。
技术介绍
目前应用的真空镀膜设备特别是五金离子镀膜设备都采用单个真空腔体，在腔体中设置溅射源，每次装料卸料都将腔门打开进行操作。操作过程必须经过：抽真空-溅射镀膜-恢复大气三个步骤，整个周期大部分时间用在抽气、前处理、冷却、上下工件这些过程，设备的利用率很低。这种操作过程每个循环真空炉体都将暴露大气，靶材与大气接触将会导致靶材的氧化，腔体会吸附大量的水蒸气及其它杂气，对第二次抽真空带来不便同时会降低镀膜质量和稳定性，对大批量和高要求生产带来不利，目前需要完成复杂的多种膜层同时完成的镀膜工艺无法很好的在同一台机器上一次完成。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术所存在的不足，提供一种利用复合多炉体真空离子镀膜实现用于工件表面镀膜的复合真空镀膜机。为实现上述目的，本技术所采用的技术方案是：一种复合真空镀膜机，包括左炉体组件、中间炉体组件、右炉体组件，各炉体从左至右依序设置并相接；左炉体组件、右炉体组件与中间炉体组件间各设置有一个插板阀，两插板阀用于将左炉体组件、右炉体组件与中间炉体组件分隔成三个独立空间；插板阀是是可控活动结构，可进行电控伸缩，进而实现炉体隔离和相连；左炉体组件包括左端真空炉体、左炉工作架、左炉电弧溅射源、左炉真空均衡室、左炉主真空抽气装置、左炉低温真空抽气装置，左炉工作架安装在左端真空炉体内；左炉电弧溅射源安装在左端真空炉体一侧；左端真空炉体与左炉真空均衡室相接，并在相接处设置有一个档板；左炉真空均衡室与左炉主真空抽气装置、左炉低温真空抽气装置相连；左端真空炉体内还设有一个左炉热蒸发源、一个左炉加热器、多个左炉外磁控溅射源；中间炉体组件包括高真空炉体、高真空炉体真空均衡室、高真空炉主真空抽气装置、高真空炉低温真空抽气装置，高真空炉体、高真空炉体真空均衡室相连，在相接位置上设置有一个档板；高真空炉体真空均衡室与高真空炉主真空抽气装置、高真空炉低温真空抽气装置相接；高真空炉体内设置有至少一个高真空炉加热器、多个高真空炉磁控溅射源；右炉体组件包括右端真空炉体、右炉工作架、右炉电弧溅射源、右炉真空均衡室、右炉主真空抽气装置、右炉低温真空抽气装置，右炉工作架安装在右端真空炉体内；右炉电弧溅射源安装在右端真空炉体一侧；右端真空炉体与右炉真空均衡室相接，并在相接处设置有一个档板；右炉真空均衡室与右炉主真空抽气装置、右炉低温真空抽气装置相连；右端真空炉体内还设有一个右炉热蒸发源、一个右炉加热器、多个右炉磁控溅射源。进一步的说，左端真空炉体、高真空炉体、右端真空炉体内各设有充气管，充气管与外部送气装置相连。进一步的说，左炉工作架与右炉工作架均设置在可移动的托板上，并与托板绝缘，托板承载整个工件架在相邻炉体间移动。进一步的说，左端真空炉体、高真空炉体、右端真空炉体内均设有若干导电顶杆，导电顶杆可垂直伸缩运动，导电顶杆与炉体间绝缘，导电顶杆用对对工作架进行定位并与工作架电性导通。本技术实施时，由插板阀将多个真空炉体隔离开，多个真空炉体可以独立工作，高真空炉体始终保持高真空状态，多个真空炉体可以单独完成不同性质不同材料的膜层沉积从而完成多种材质复合膜层镀膜在同一台机器快速完成，左端真空炉体与右端真空炉体可独立完成抽真空进出料及部分膜层沉积，高真空炉体始终保持高真空状态并完成主要膜层沉积工作，两端进炉体交替进行进出料抽气工作，从而节省了进出料及抽气放气工作时间，有效的提高了整机工作效率。本技术结构简单、设计合理、结构紧凑，体积小、在工作上效率上以及成品品质上要明显优于现有设备。附图说明图1是本技术的结构示意图。图中各标号分别是：（1）左炉热蒸发源、（2）左炉工件架、（3）左端真空炉体、（4）充气管、（5）插板阀、（6）高真空炉加热器、（7）高真空炉磁控溅射源、（10）插板阀、（11）右端真空炉体、（12）右炉热蒸发源、（13）右炉工件架、（15）右炉电弧溅射源、（16）右炉加热器、（17）右炉磁控溅射源、（18）右炉真空均衡室、（19）右炉低温真空抽气装置、（20）右炉主真空抽气装置、（21）高真空炉低温真空抽气装置、（22）高真空炉主真空抽气装置、（23）左炉主真空抽气装置、（24）左炉低温真空抽气装置、（25）挡板、（26）左炉磁控溅射源、（27）左炉加热器、（28）左炉电弧溅射源、（29）高真空炉体具体实施方式为方便对本技术作进一步的理解，现结合附图举出实施例，对本技术作进一步的说明。实施例：如图1所示，本技术包括左炉体组件、中间炉体组件、右炉体组件，各炉体从左至右依序设置并相接；左炉体组件、右炉体组件与中间炉体组件间各设置有一个插板阀5、10，两插板阀5、10用于将左炉体组件、右炉体组件与中间炉体组件分隔成三个独立空间；插板阀6、10是是可控活动结构，可进行电控伸缩，进而实现炉体隔离和相连；左炉体组件包括左端真空炉体3、左炉工作架2、左炉电弧溅射源28、左炉真空均衡室、左炉主真空抽气装置23、左炉低温真空抽气装置24，左炉工作架2安装在左端真空炉体3内；左炉电弧溅射源28安装在左端真空炉体3一侧；左端真空炉体3与左炉真空均衡室相接，并在相接处设置有一个档板25；左炉真空均衡室与左炉主真空抽气装置23、左炉低温真空抽气装置24相连；左端真空炉体3内还设有一个左炉热蒸发源1、一个左炉加热器27、多个左炉磁控溅射源26；中间炉体组件包括高真空炉体29、高真空炉体真空均衡室、高真空炉主真空抽气装置22、高真空炉低温真空抽气装置11，高真空炉体29、高真空炉体真空均衡室相连，在相接位置上设置有一个档板；高真空炉体真空均衡室与高真空炉主真空抽气装置22、高真空炉低温真空抽气装置21相接；高真空炉体29内设置有至少一个高真空炉加热器6、多个高真空炉磁控溅射源7；右炉体组件包括右端真空炉体11、右炉工作架13、右炉电弧溅射源15、右炉真空均衡室18、右炉主真空抽气装置20、右炉低温真空抽气装置19，右炉工作架13安装在右端真空炉体11内；右炉电弧溅射源15安装在右端真空炉体11一侧；右端真空炉体11与右炉真空均衡室18相接，并在相接处设置有一个档板；右炉真空均衡室18与右炉主真空抽气装置20、右炉低温真空抽气装置相连19；右端真空炉体11内还设有一个右炉热蒸发源12、一个右炉加热器16、多个右炉磁控溅射源17。左端真空炉体3、高真空炉体29、右端真空炉体11内各设有充气管4、，充气管4与外部送气装置相连。左炉工作架2与右炉工作架13均设置在可移动的托板上，并与托板绝缘，托板承载整个工件架在相邻炉体间移动。左端真空炉体3、高真空炉体29、右端真空炉体11内均设有若干导电顶杆，导电顶杆可垂直伸缩运动，导电顶杆与炉体间绝缘，导电顶杆用对对工作架进行定位并与工作架电性导通。以上实施例为本技术的优化实施例,并非对本技术作任何形式上的限制,任何熟悉本专业的技术人员可能利用上述揭示的
技术实现思路
加以变更或修改为等同变化的等效实施例,但是凡未脱离本技术技术方法原则和内容、依据本技术的技术实质对以上实施例所作的任何修改、等同变化与修正,均仍属于本实用新本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种复合真空镀膜机，其特征在于：包括左炉体组件、中间炉体组件、右炉体组件，各炉体从左至右依序设置并相接；左炉体组件、右炉体组件与中间炉体组件间各设置有一个插板阀，两插板阀用于将左炉体组件、右炉体组件与中间炉体组件分隔成三个独立空间；插板阀是是可控活动结构，可进行电控伸缩，进而实现炉体隔离和相连；左炉体组件包括左端真空炉体、左炉工作架、左炉电弧溅射 源、左炉真空均衡室、左炉主真空抽气装置、左炉低温真空抽气装置，左炉工作架安装在左端真空炉体内；左炉电弧溅射源安装在左端真空炉体一侧；左端真空炉体与左炉真空均衡室相接，并在相接处设置有一个档板；左炉真空均衡室与左炉主真空抽气装置、左炉低温真空抽气装置相连；左端真空炉体内还设有一个左炉热蒸发源、一个左炉加热器、多个左炉外磁控溅射源；中间炉体组件包括高真空炉体、高真空炉体真空均衡室、高真空炉主真空抽气装置、高真空炉低温真空抽气装置，高真空炉体、高真空炉体真空均衡室相连，在相接位置上设置有一个档板；高真空炉体真空均衡室与高真空炉主真空抽气装置、高真空炉低温真空抽气装置相接；高真空炉体内设置有至少一个高真空炉加热器、多个高真空炉磁控溅射源；右炉体组件包括右端真空炉体、右炉工作架、右炉电弧溅射源、右炉真空均衡室、右炉主真空抽气装置、右炉低温真空抽气装置，右炉工作架安装在右端真空炉体内；右炉电弧溅射源安装在右端真空炉体一侧；右端真空炉体与右炉真空均衡室相接，并在相接处设置有一个档板；右炉真空均衡室与右炉主真空抽气装置、右炉低温真空抽气装置相连；右端真空炉体内还设有一个右炉热蒸发源、一个右炉加热器、多个右炉磁控溅射源。...

【技术特征摘要】
1.一种复合真空镀膜机，其特征在于：包括左炉体组件、中间炉体组件、右炉体组件，各炉体从左至右依序设置并相接；左炉体组件、右炉体组件与中间炉体组件间各设置有一个插板阀，两插板阀用于将左炉体组件、右炉体组件与中间炉体组件分隔成三个独立空间；插板阀是是可控活动结构，可进行电控伸缩，进而实现炉体隔离和相连；左炉体组件包括左端真空炉体、左炉工作架、左炉电弧溅射源、左炉真空均衡室、左炉主真空抽气装置、左炉低温真空抽气装置，左炉工作架安装在左端真空炉体内；左炉电弧溅射源安装在左端真空炉体一侧；左端真空炉体与左炉真空均衡室相接，并在相接处设置有一个档板；左炉真空均衡室与左炉主真空抽气装置、左炉低温真空抽气装置相连；左端真空炉体内还设有一个左炉热蒸发源、一个左炉加热器、多个左炉外磁控溅射源；中间炉体组件包括高真空炉体、高真空炉体真空均衡室、高真空炉主真空抽气装置、高真空炉低温真空抽气装置，高真空炉体、高真空炉体真空均衡室相连，在相接位置上设置有一个档板；高真空炉体真空均衡室与高真空炉主真空抽气装置、高真空炉低温真空抽气装置相接；高真空炉体...

【专利技术属性】
技术研发人员：樊召，
申请(专利权)人：樊召，
类型：新型
国别省市：广东,44