管接头方法、管接头用部件、具有该部件的管接头、流体控制器、流体控制装置、以及半导体制造装置制造方法及图纸

一种管接头的接头方法，包括：准备第一管件(4)、第二管件(6)、收容于壳体(8)内并将第二管件(6)的第二凸缘部(18)向第一管件(4)的第一凸缘部(16)推压的推压部件(10)、以及壳体(8)，该壳体(8)具有第一开口(22)、第二开口(24)、第三开口(26)、凸缘收容空间(1)(32)和与该凸缘收容空间(1)(32)连通且收容推压部件(10)的收容空间(2)(28)；通过将第一管件(4)自第二开口(24)向第一开口(22)插入，使第一凸缘部(16)卡止于凸缘收容空间(1)(32),通过将第二管件(6)自第二凸缘部(18)插入第二开口(24)，以形成第二凸缘部(18)与第一凸缘部(16)抵接的状态；通过将推压部件(10)自第三开口(26)插入并收容于收容空间(2)(28)，将第二凸缘部(18)向第一凸缘部(16)推压以形成将第一凸缘部(16)和第二凸缘部(18)密封的密封部。

Pipe joint method, pipe joint component, pipe joint with the component, fluid controller, fluid control device, and semiconductor manufacturing device

\u4e00\u79cd\u7ba1\u63a5\u5934\u7684\u63a5\u5934\u65b9\u6cd5\uff0c\u5305\u62ec\uff1a\u51c6\u5907\u7b2c\u4e00\u7ba1\u4ef6(4)\u3001\u7b2c\u4e8c\u7ba1\u4ef6(6)\u3001\u6536\u5bb9\u4e8e\u58f3\u4f53(8)\u5185\u5e76\u5c06\u7b2c\u4e8c\u7ba1\u4ef6(6)\u7684\u7b2c\u4e8c\u51f8\u7f18\u90e8(18)\u5411\u7b2c\u4e00\u7ba1\u4ef6(4)\u7684\u7b2c\u4e00\u51f8\u7f18\u90e8(16)\u63a8\u538b\u7684\u63a8\u538b\u90e8\u4ef6(10)\u3001\u4ee5\u53ca\u58f3\u4f53(8)\uff0c\u8be5\u58f3\u4f53(8)\u5177\u6709\u7b2c\u4e00\u5f00\u53e3(22)\u3001\u7b2c\u4e8c\u5f00\u53e3(24)\u3001\u7b2c\u4e09\u5f00\u53e3(26)\u3001\u51f8\u7f18\u6536\u5bb9\u7a7a\u95f4(1)(32)\u548c\u4e0e\u8be5\u51f8\u7f18\u6536\u5bb9\u7a7a\u95f4(1)(32)\u8fde\u901a\u4e14\u6536\u5bb9\u63a8\u538b\u90e8\u4ef6(10)\u7684\u6536\u5bb9\u7a7a\u95f4(2)(28)\uff1b\u901a\u8fc7\u5c06\u7b2c\u4e00\u7ba1\u4ef6(4)\u81ea\u7b2c\u4e8c\u5f00\u53e3(24)\u5411\u7b2c\u4e00\u5f00\u53e3(22)\u63d2\u5165\uff0c\u4f7f\u7b2c\u4e00\u51f8\u7f18\u90e8(16)\u5361\u6b62\u4e8e\u51f8\u7f18\u6536\u5bb9\u7a7a\u95f4(1)(32),\u901a\u8fc7\u5c06\u7b2c\u4e8c\u7ba1\u4ef6(6)\u81ea\u7b2c\u4e8c\u51f8\u7f18\u90e8(18)\u63d2\u5165\u7b2c\u4e8c\u5f00\u53e3(24)\uff0c\u4ee5\u5f62\u6210\u7b2c\u4e8c\u51f8\u7f18\u90e8(18)\u4e0e\u7b2c\u4e00\u51f8\u7f18\u90e8(16)\u62b5\u63a5\u7684\u72b6\u6001\uff1b\u901a\u8fc7\u5c06\u63a8\u538b\u90e8\u4ef6(10)\u81ea\u7b2c\u4e09\u5f00\u53e3(26)\u63d2\u5165\u5e76\u6536 It is contained in the storage space (2) (28), and the second flange part (18) is pushed to the first flange part (16) to form a sealing part which seals the first flange part (16) and the second flange part (18).

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】管接头方法、管接头用部件、具有该部件的管接头、流体控制器、流体控制装置、以及半导体制造装置
本专利技术涉及管接头方法、管接头用部件、具有该部件的管接头、流体控制器、流体控制装置、以及半导体制造装置。
技术介绍
在半导体制造装置中，经常要使用超纯水和工艺气体等流体。在制造装置主体中，以形成接头结构的方式安装有多个诸如流量控制阀、流量测量仪、流量控制仪之类的流体处理仪器(以下也称为“流体用仪器”)，这些接头结构被称为管接头。安装于装置主体的流体用仪器，在定期检测或检查主体其他部分的故障时，被从主体拆下接受再检查，之后重新安装回装置主体以形成所述接头结构。除此之外，在制造过程中，流体用仪器在接受各种检测/检查或被清洁时，通过接头部件被安装或拆卸于其他装置的情形有很多。因此，需要一种通过尽可能简便的操作即可进行安装或拆卸，且安装时流体不会泄露、密封性能可靠的流体用仪器。作为这种管状接头，有专利文献1中记载的流体接头。专利文献1中记载的流体接头确实满足上述需求，在近年来，在使用大直径晶圆、大量生产同类型半导体器件的半导体制造装置和生产线中，这种流体接头被大量使用。然而，最近一种被称为迷你晶圆厂(Minimalfab)的半导体制造装置/生产线被提出，且将很快投入使用。迷你晶圆厂针对以半英寸晶圆为基板制造单位的多品种/小批量生产而开发，并且以极小规模即可构成半导体制造装置/生产线。由于能够将制造设备的投资额减少到传统设备的1/1000，因此，其早期实用化倍受期待。现有技术文献专利文献专利文献1：特开2013-96507号公报
技术实现思路
本专利技术要解决的课题然而，专利文献1中记载的接头，若不改良，则难以适用于迷你晶圆厂的半导体制造装置/生产线。在迷你晶圆厂的半导体制造装置/生产线中，要求实现所有装置的统一，各个制造装置，其规格统一为294mm宽×450mm深×1440mm高的紧凑型外型尺寸，外观设计的规格也要统一，屏幕等用户界面部分也被标准化。因此，迷你晶圆厂的半导体制造装置内的仪器设置空间极其狭窄，要求被设置的仪器尽可能紧凑，且会受到接头安装作业所需空间不足的限制。因此，要求在确保可靠密封性能的同时对小型化和狭窄空间内的作业性进行进一步改良。本专利技术是鉴于上述课题而作出的，其主要目的在于，提供一种密封性能可靠，而且与现有技术相比，小型化·狭窄空间内作业性有大幅改善的管接头用部件。本专利技术的另一个目的在于，提供一种施工性和密封性两方面均优异，而且能很好地适用于迷你晶圆厂用制造装置的管接头用部件。本专利技术的又一目的在于，提供一种具有上述管接头部件的流体控制器、流体控制装置、以及半导体制造装置。本专利技术的又一目的在于，提供一种使用上述接头，将流体用仪器安装于装置主体的流体用仪器的安装方法。课题的解决手段为实现上述目的，本专利技术涉及的管接头的制造方法，是一种管接头的接头方法，该管接头包括：中空的第一管件，其具有第一凸缘部；中空的第二管件，其具有第二凸缘部；以及壳体，其用于通过所述第一、二凸缘部形成的密封部连接所述第一管件和所述第二管件，该接头方法包括：准备推压部件，该推压部件为用于将所述第二凸缘部向所述第一凸缘部推压的板状部件；准备壳体，该壳体包括：具有第一开口的第一端壁、与该第一端壁相对且具有第二开口的第二端壁、以及位于所述第一端壁与所述第二端壁之间且具有第三开口的第一侧壁，该壳体内部具有与所述第一开口和所述第二开口连通的凸缘收容空间(1)、以及与该凸缘收容空间连通且收容所述推压部件的收容空间(2)，通过使所述第一管件自所述第二开口插入所述第一开口，将所述第一凸缘部卡止于所述凸缘空间；通过将所述第二管件自所述第二凸缘部插入所述第二开口，而形成使所述第二凸缘部与所述第一凸缘部抵接的状态；通过将所述推压部件自所述第三开口插入使其收容于所述空间(2)，从而将所述第二凸缘部向所述第一凸缘部推压以形成将所述第一凸缘部和所述第二凸缘部密封的密封部。此外，为达成上述目的，本专利技术涉及的管接头用部件，用于具备以下部件的管接头：一端具有第一凸缘部的第一管件、一端具有第二凸缘部的第二管件、用于通过所述第一、二凸缘部形成的密封部连接所述第一管件和所述第二管件的壳体、以及推压部件。所述壳体包括：具有第一开口的第一端壁、与该第一端壁相对且具有第二开口的第二端壁、以及位于所述第一端壁与所述第二端壁之间且具有第三开口的第一侧壁，该壳体内部具有与所述第一开口和所述第二开口连通的凸缘收容空间(1)、以及与该凸缘收容空间连通且收容所述推压部件的收容空间(2)，所述推压部件为板状且具有弹性。当所述第一管件自所述第二开口向所述第一开口插入时，所述第一凸缘部卡止于所述凸缘空间。当所述第二管件自所述第二凸缘部插入所述第二开口时，形成使所述第二凸缘部与所述第一凸缘部抵接的状态，同时当所述推压部件自所述第三开口插入且被收容于所述空间(2)时，所述第二凸缘部被向所述第一凸缘部，以形成将所述第一凸缘部和所述第二凸缘部密封的密封部。专利技术效果本专利技术可以提供一种密封性能可靠，而且与现有技术相比，在小型化/狭窄空间内的作业性有大幅改善的管接头用部件。此外，本专利技术可以提供一种施工性和密封性两方面均优异，而且更好地适用于迷你晶圆厂用制造装置的管接头用部件。此外，本专利技术可以提供一种具有上述管接头部件的流体控制器、流体控制装置、以及半导体制造装置。此外，本专利技术可以提供一种使用上述接头，将流体用仪器安装于装置主体的流体用仪器的安装方法。附图说明图1为本专利技术一个实施方式中的管接头的立体图。图2为使用图1所示管接头的流体控制器、流体控制装置、以及半导体制造装置的示意图。图3为图1中管接头的局部纵向剖视图。图4为图3中第一管件的立体图。图5为图3中第二管件的立体图。图6为图3中壳体的立体图。图7为图6中壳体从A-A方向观察时的剖视图。图8为图6中壳体从B-B方向观察时的剖视图。图9为图3中推压部件的立体图。图10为图9中推压部件从C方向观察时的立体图。图11为图3中垫圈的立体图。图12为图3中衬套的立体图。图13为将图1中管接头分解，并以其剖面示出各个构件的分解立体图。图14为示出从图13的状态将第一管件插入壳体后的状态示意图。图15为示出从图14的状态将垫圈安装于第二管件上的状态示意图。图16为示出从图15的状态将衬套安装于第二管件上的状态示意图。图17为示出从图16的状态将第二管件插入壳体后的状态示意图。图18为示出从图17的状态将推压部件安装到壳体、并完成了管接头组装的状态示意图。图19为图18中管接头的纵向剖视图。图20为图19中密封部的放大图。图21为图18中管接头的局部纵向剖视图。图22为图21中推压部的放大图。图23为示出本专利技术中壳体另一实施方式的管接头立体图。具体实施方式以下，参照附图，对本专利技术的一个实施方式中的管接头进行说明。如图1所示，管接头1包括：第一管件4和第二管件6，其形成流体通道2；壳体8，其用于收容并连接第一和第二管件4、6。第一和第二管件4、6以及壳体8均由金属制成。第一和第二管件4、6分别形成管接头1的外端(另一端)4a、6a。图2为使用有管接头1的流体控制器100、具有流体控制器100的流体控制装置102、以及具有流体控制装置102的半导体制造装置104的示意图。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种管接头的接头方法，所述管接头包括：中空的第一管件，其具有第一凸缘部；中空的第二管件，其具有第二凸缘部；以及壳体，其用于通过所述第一、二凸缘部形成的密封部连接所述第一管件和所述第二管件，所述管接头的接头方法，其特征在于：准备推压部件和壳体，其中，所述推压部件为用于将所述第二凸缘部向所述第一凸缘部推压的板状部件，所述壳体包括具有第一开口的第一端壁、与该第一端壁相对且具有第二开口的第二端壁、以及位于所述第一端壁与所述第二端壁之间且具有第三开口的第一侧壁，所述壳体内部具有与所述第一开口和所述第二开口连通的凸缘收容空间(1)和与该凸缘收容空间连通且收容所述推压部件的收容空间(2)，通过将所述第一管件自所述第二开口向所述第一开口插入，使所述第一凸缘部被卡止于所述凸缘空间；通过将所述第二管件自所述第二凸缘部插入所述第二开口，而形成使所述第二凸缘部与所述第一凸缘部抵接的状态；通过将所述推压部件自所述第三开口插入并收容于所述空间(2)，将所述第二凸缘部向所述第一凸缘部推压，以形成将所述第一凸缘部和所述第二凸缘部密封的密封部。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.05.29 JP 2015-1098541.一种管接头的接头方法，所述管接头包括：中空的第一管件，其具有第一凸缘部；中空的第二管件，其具有第二凸缘部；以及壳体，其用于通过所述第一、二凸缘部形成的密封部连接所述第一管件和所述第二管件，所述管接头的接头方法，其特征在于：准备推压部件和壳体，其中，所述推压部件为用于将所述第二凸缘部向所述第一凸缘部推压的板状部件，所述壳体包括具有第一开口的第一端壁、与该第一端壁相对且具有第二开口的第二端壁、以及位于所述第一端壁与所述第二端壁之间且具有第三开口的第一侧壁，所述壳体内部具有与所述第一开口和所述第二开口连通的凸缘收容空间(1)和与该凸缘收容空间连通且收容所述推压部件的收容空间(2)，通过将所述第一管件自所述第二开口向所述第一开口插入，使所述第一凸缘部被卡止于所述凸缘空间；通过将所述第二管件自所述第二凸缘部插入所述第二开口，而形成使所述第二凸缘部与所述第一凸缘部抵接的状态；通过将所述推压部件自所述第三开口插入并收容于所述空间(2)，将所述第二凸缘部向所述第一凸缘部推压，以形成将所述第一凸缘部和所述第二凸缘部密封的密封部。2.根据权利要求1所述的管接头的接头方法，其特征在于，所述密封部包括：锥形凹面，其凹设于所述第一、第二凸缘部中的一个；锥形凸面，其凸设于所述第一、第二凸缘部中的另一个，且与所述第一、第二管件管径方向所构成的倾斜角大于所述锥形凹面与所述第一、第二管件管径方向所构成的倾斜角，所述锥形凹面和所述锥形凸面为线接触。3.根据权利要求2所述的管接头的接头方法，其特征在于，所述收容空间(2)由以下面围成：第一内端面，其自所述第三开口向所述管径方向延伸，且开设有所述第二开口；第二内端面，其自所述第三开口向所述管径方向延伸，并与所述第一内端面相对；以及一对内侧面，其连接所述第一、第二内端面。4.根据权利要求3所述的管接头的接头方法，其特征在于，所述推压部件包括：定位部，其与第一内端面抵接，以将所述推压部件定位于所述收容空间(2)内；推压部，其与所述定位部相对，且在所述第二内端面侧推压所述第二凸缘部；弯曲部，其连接所述定位部和所述推压部，以向所述推压部施加推压力。5.根据权利要求4所述的管接头的接头方法，其特征在于，所述推压部自其顶端到所述弯曲部，向与其相对的所述定位部的相反一侧凸状弯曲，并具有向推压部的宽度方向延伸的弯曲线。6.根据权利要求5所述的管接头的接头方法，其特征在于，所述定位部和所述推压部具有：彼此相对的顶端、以及U型缺口，该缺口通过将所述各顶端沿所述管径方向切除高度大于所述第二管件管径的部分而形成。7.一种管接头用部件，其特征在于，其所适用的管接头包括：第一管件，其一端具有第一凸缘部；第二管件，其一端具有第二凸缘部；壳体和推压部件，其用于通过所述第一、二凸缘部形成的密封部连接所述第一管件和所述第二管件，所述壳体包括：具有第一开口的第一端壁、与该第一端壁相对且具有第二开口的第二端壁、以及位于所述第一端壁和所述第二端壁之间且具有第三...

【专利技术属性】
技术研发人员：渡边一诚，稻田敏之，四方出，篠原努，
申请(专利权)人：株式会社富士金，
类型：发明
国别省市：日本,JP