测试装置及测试方法制造方法及图纸

一种测试装置包含载台、测试模块及驱动模块。载台适于承载待测物。测试模块包含第一探针以及第二探针。第一探针与第二探针可移动地位于载台上方。驱动模块连接于测试模块。驱动模块用以带动第一探针和第二探针相对载台移动与摆动而测试待测物。其中，于第一时间，第一探针测试待测物的第一待测位置，并且驱动模块带动第二探针移至待测物的第二待测位置。其中，于第二时间，第二探针测试待测物的第二待测位置，并且驱动模块带动第一探针自第一待测位置移至待测物的第三待测位置。

【技术实现步骤摘要】
测试装置及测试方法
本专利技术关于一种测试装置及测试方法，特别是一种具探针的测试装置及测试方法。
技术介绍
近年来，随着科技的进步，LED晶圆的工艺亦不断精进，同时为了有效提升晶圆产品的品管良率，业者往往会于后段工艺中，以点测装置将电流准确地传送至晶圆上的LED晶粒，并藉由侦测晶圆上的LED晶粒所发出光线的特性，以判断出晶圆上每一晶粒的优劣。目前传统的晶圆检测方式是经由底部的驱动机构驱动摆放有LED晶圆的承载装置朝点测装置移动，等到LED晶圆的顶面抵压点测装置的探针时，探针能与LED晶圆的LED晶粒接触，并令LED晶粒发光。如此，业者即能藉由侦测LED晶圆上的LED晶粒所发出光线的特性，以判断LED晶圆上每一晶粒的优劣。然而，因承载装置的重量较重，其移动速度较慢，故上述的晶圆检测方式的效率难以提升。另，传统点测装置的各探针为固定式，即这些探针之间的距离为定值，但因晶圆上的各待测位置的距离非定值，故这些探针并不一定皆能准确地落于检测的位置，导致有部分探针非预期地接触到晶圆的非检测区而降低了检测效率。承上，探针原先应是接触到晶圆的检测区，却因固定式探针而非预期地偏移至晶圆的非检测区，则有增加刮伤晶圆表面的机率，并因而降低晶圆检测质量。因此，如何提升晶圆检测的检测效率与检测质量，则为研发人员应解决的问题之一。
技术实现思路
本专利技术在于提供一种测试装置及测试方法，藉以提升晶圆检测的检测效率与检测质量。本专利技术之一实施例所公开的测试装置，适于对一待测物进行测试。测试装置包含一载台、一测试模块及一驱动模块。载台适于承载待测物。测试模块包含至少一第一探针以及至少一第二探针。第一探针与第二探针可移动地位于载台上方。驱动模块连接于测试模块。驱动模块用以带动第一探针和第二探针相对载台移动与摆动而测试待测物。其中，于一第一时间，第一探针测试待测物的第一待测位置，并且驱动模块带动第二探针移至待测物的一第二待测位置。其中，于晚于第一时间的一第二时间，第二探针测试待测物的第二待测位置，并且驱动模块带动第一探针自第一待测位置移至待测物的一第三待测位置。本专利技术的另一实施例所公开的测试一待测物的测试方法，包含：于一第一时间内，令一第一探针接触测试待测物的一第一待测位置，并且移动一第二探针至待测物的一第二待测位置。于晚于第一时间的一第二时间内，令第二探针接触测试第二待测位置，并且移动第一探针自第一待测位置至待测物的一第三待测位置。根据上述实施例的测试装置与测试方法，因二探针会相对载台活动，故在进行检测时，能够仅移动探针或探针与载台一并移动来提升测试装置的检测效率。再者，探针为活动式的，两探针的距离可依据待测物的待测位置进行调整，以避免探针闲置的状况发生，以及避免闲置的探针在没进行检测时接触到待测物。如此一来，除了可提升测试装置的检测效率外，更可降低探针刮伤待测物的机率。以上关于本
技术实现思路
的说明及以下实施方式的说明系用以示范与解释本专利技术的原理，并且提供本专利技术的专利申请范围更进一步的解释。附图说明图1为根据本专利技术第一实施例所述的待测物置于一测试装置的侧视示意图。图2为图1的上视示意图。图3A至图3F为测试装置测试待测物的测试流程。图4A至图4B为测试装置测试待测物的另一测试流程。图5A至图5C为测试装置测试待测物的另一测试流程。其中附图标记为：10测试装置20待测物100载台200测试模块210第一探针211针脚220第二探针221针脚300驱动模块310a、310b第一驱动元件320第二驱动元件400光学检测模块410检测范围a1～a7、b1～b3、b5～b7、c、e1、e2、f1、f2方向A1～A6、E1、E2、F1、F2待测位置B1、B2等待位置D1、D2距离具体实施方式请参阅图1至图2。图1为根据本专利技术第一实施例所述的待测物置于一测试装置的侧视示意图。图2为图1的上视示意图。本实施例的测试装置10，适于对一待测物20进行测试。待测物20例如为具有多个发光二极管晶粒的晶圆。待测物20具有多个待测位置，而待测物20每一个待测位置具有一个待检测的发光二极管晶粒。测试装置10包含一载台100、一测试模块200、一驱动模块300及一光学检测模块400。载台100适于承载待测物20。此外，本实施例的载台100为活动式，且载台100例如可相对地面沿平行地面且彼此相正交的二轴向(如X轴向与Y轴向)平移。测试模块200包含一第一探针210以及一第二探针220。第一探针210与第二探针220可移动地位于载台100上方。详细来说，第一探针210可沿一轴向(如X轴向)移动地位于载台100的一侧，而第二探针210可沿一轴向(如X轴向)移动地位于载台100的相对一侧。此外，第一探针210可一并相对载台100摆动而相对靠近或远离载台100。同理，第二探针220也可一并相对载台100摆动而相对靠近或远离载台100。此外，第一探针210例如具有两个针脚211，这两个针脚211分别提供正、负极电源给同一发光二极管晶粒，以激发发光二极管晶粒发光。同理，第二探针220例如具有两个针脚221。驱动模块300包含二第一驱动元件310a、310b及一第二驱动元件320。二第一驱动元件310a、310b及第二驱动元件320例如为马达驱动组件或油、气压驱动组件。其中，第一驱动元件310a连接于测试模块200的第一探针210，以驱动第一探针210相对载台100移动与摆动。第一驱动元件310b连接于测试模块200的第二探针220，以驱动第一探针220相对载台100移动与摆动。第二驱动元件320连接于载台100，以驱动载台100相对地面移动。光学检测模块400例如为积分球或单晶硅太阳能板(mono-crystallinesiliconsolarcell)。光学检测模块400具有一检测范围410。接下来描述，上述的测试装置10用来测试待测物20的测试方法。请参阅图3A至图3F。图3A至图3F为测试装置测试待测物的测试流程。为清楚呈现测试流程的画面，图3A至图3F为图2的局部放大图。首先，如图3A所示，于一第一时间，驱动模块300的第一驱动元件310a带动第一探针210的二针脚211位于待测物20的第一待测位置A1，并令第一探针210的二针脚211对位于待测物20的第一待测位置A1的发光二极管晶粒进行检测。位于第一待测位置A1的发光二极管晶粒经二针脚211通电后会激发出光线(未绘示)，且光线(未绘示)会通过光学检测模块400的检测范围410，进而通过光学检测模块400来检测发光二极管晶粒的质量。此外，在第一探针210进行检测时，第一驱动元件310b会一并带动第二探针220的二针脚211和待测物20相分离，并沿箭头a1所指示的方向移至待测物20的一第二待测位置A2，以提升测试装置10的检测效率。值得注意的是，在本实施例中，第一探针210会随着载台100一并沿箭头b1所指示的方向移动，以确保通电后激发出来的光能投射在光学检测模块400的检测范围410之内。接着，如图3B所示，于晚于第一时间的一第二时间，第二探针220的二针脚221会测试待测物20中位于第二待测位置A2的发光二极管晶粒。此外，在第二探针220进行检测时，第一驱动元件310a会一并带动第一探针210的二针脚211和待测物本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种测试装置，适于对一待测物进行测试，其特征在于，该测试装置包含：一载台，适于承载该待测物；一测试模块，包含至少一第一探针以及至少一第二探针，该第一探针与该第二探针可移动地位于该载台上方；以及一驱动模块，连接于该测试模块，该驱动模块用以带动该第一探针和该第二探针相对该载台移动与摆动而测试该待测物；其中，于一第一时间，该第一探针测试该待测物的该第一待测位置，并且该驱动模块带动该第二探针移至该待测物的一第二待测位置；其中，于晚于该第一时间的一第二时间，该第二探针测试该待测物的该第二待测位置，并且该驱动模块带动该第一探针自该第一待测位置移至该待测物的一第三待测位置。

【技术特征摘要】
1.一种测试装置，适于对一待测物进行测试，其特征在于，该测试装置包含：一载台，适于承载该待测物；一测试模块，包含至少一第一探针以及至少一第二探针，该第一探针与该第二探针可移动地位于该载台上方；以及一驱动模块，连接于该测试模块，该驱动模块用以带动该第一探针和该第二探针相对该载台移动与摆动而测试该待测物；其中，于一第一时间，该第一探针测试该待测物的该第一待测位置，并且该驱动模块带动该第二探针移至该待测物的一第二待测位置；其中，于晚于该第一时间的一第二时间，该第二探针测试该待测物的该第二待测位置，并且该驱动模块带动该第一探针自该第一待测位置移至该待测物的一第三待测位置。2.如权利要求1所述的测试装置，其特征在于，于该第一时间内，该第二探针与该待测物相分离；于该第二时间内，该第一探针与该待测物相分离。3.如权利要求1所述的测试装置，其特征在于，该载台连接于该驱动模块，且令该驱动模块可带动该载台相对该测试模块移动。4.如权利要求3所述的测试装置，其特征在于，于一第三时间内，该第一探针和该第二探针皆与该待测物相分离，且该驱动模块带动该载台相对该测试模块移动，而令该第一探针和该第二探针分别位于该待测物的一第四待测位置和一第五待测位置。5.如权利要求3所述的测试装置，其特征在于，更包含设...

【专利技术属性】
技术研发人员：许睿谋，张添登，陈鹏飞，胡哲郕，
申请(专利权)人：致茂电子苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32