摆动机构制造技术

一种摆动机构包含基座、偏心轴、轴承、连接杆件及摆动件。偏心轴包含相连的一本体部以及一连接部。本体部枢设于基座，且连接部的轴心线和本体部的轴心线非共轴。轴承套设于偏心轴的连接部。连接杆件包含一第一枢接部及一推抵杆部。第一枢接部枢设于轴承。推抵杆部连接于第一枢接部，并沿第一枢接部的径向延伸。摆动件包含相连的一第二枢接部及一第一延伸臂部。第二枢接部枢设于基座。第一延伸臂部可活动地抵靠于推抵杆部。当偏心轴旋转时，连接杆件的推抵杆部可沿轴承的轴向与径向活动，并带动摆动件的第一延伸臂部相对基座摆动。

【技术实现步骤摘要】
摆动机构
本专利技术关于一种摆动机构，特别是一种具偏心轴的摆动机构。
技术介绍
为了减少污染及提高产量，半导体产业常利用一个或多个机械手臂搬运硅晶圆或电子芯片等工作件，以便进行后续的工艺步骤或是电性测试。一般而言，机械手臂是通过马达传动直线导轨而可调整垂直方向上的位置。习知机械手臂会搭载外部构件来连接于马达，且马达驱动机械手臂移动时，外部构件会随着机械手臂一并移动。也就是说，整体的移动组件的重量为机械手臂的重量加上外部构件的重量。移动组件的整体重量增加会导致机械手臂的惯性动作变明显。惯性动作例如为起动或停止所产生的晃动，而晃动变大时，则会增加承载于机械手臂的工作件掉落的风险。此外，上述因惯性动作变明显而造成晃动变大的问题同样发生在电性测试工艺中。电性测试工艺一般是通过摆臂连接探针，摆臂带动探针相对工作件摆动而进行电性测试等作业。但若摆臂的晃动程度变大或次数变多，则易导致探针刮伤工作件的状况发生。因此，如何抑制上述机构件产生非预期的晃动或降低晃动程度，则为研发人员应解决的问题之一。
技术实现思路
本专利技术在于提供一种摆动机构，藉以抑制上述臂体非预期的晃动或降低晃动程度。本专利技术之一实施例所公开的摆动机构包含一基座、一偏心轴、一轴承、一连接杆件及一摆动件。偏心轴包含相连的一本体部以及一连接部。本体部枢设于基座，且连接部的轴心线和本体部的轴心线非共轴。轴承套设于偏心轴的连接部。连接杆件包含一第一枢接部及一推抵杆部。第一枢接部枢设于轴承。推抵杆部连接于第一枢接部，并沿第一枢接部的径向延伸。摆动件包含相连的一第二枢接部及一第一延伸臂部。第二枢接部枢设于基座。第一延伸臂部可活动地抵靠于推抵杆部。当偏心轴旋转时，连接杆件的推抵杆部可沿轴承的轴向与径向活动，并带动摆动件的第一延伸臂部相对基座摆动。根据上述实施例的摆动机构，因偏心轴与连接杆件的连接部通过轴承来枢设，故可通过轴承的内环与外环会轻微地相对摆动的特性来让连接杆件的推抵杆部在摆动件的摆动过程中能持续抵靠于摆动件的第一延伸臂部。如此一来，摆动件能因受到推抵杆部的抵靠而减缓自身的晃动程度。以上关于本
技术实现思路
的说明及以下实施方式的说明系用以示范与解释本专利技术的原理，并且提供本专利技术的专利申请范围更进一步的解释。附图说明图1为根据本专利技术第一实施例所述的摆动机构与驱动马达的组合的立体示意图。图2为图1的上视示意图。图3为图2的剖面示意图。图4为图2的偏心轴旋转一角度后的上视示意图。图5为图4的剖面示意图。图6为根据本专利技术第二实施例所述的摆动机构与驱动马达的组合的立体示意图。图7为根据本专利技术第三实施例所述的摆动机构的局部放大示意图。图8为根据本专利技术第四实施例所述的基座与摆动件的平面示意图。其中附图标记为：10、10a摆动机构20驱动马达22扭力输出轴100基座110组装壳体120第一枢接臂130第二枢接臂200偏心轴210本体部211轴孔220连接部300轴承400、400a连接杆件410第一枢接部420推抵杆部421凹孔500摆动件510第二枢接部520第一延伸臂部521球形接头530第二延伸臂部600枢轴650复位件700摆臂800抑制组件810弹性件820抵压件900夹持块A1、A2轴心线D1、D2距离a、b、c方向具体实施方式请参阅图1至图3。图1为根据本专利技术第一实施例所述的摆动机构与驱动马达的组合的立体示意图。图2为图1的上视示意图。图3为图2的剖面示意图。本实施例的摆动机构10包含一基座100、一偏心轴200、一轴承300、一连接杆件400及一摆动件500。基座100包含一组装壳体110、一第一枢接臂120及一第二枢接臂130。组装壳体110供一驱动马达20装设。驱动马达20具有一扭力输出轴22。第一枢接臂120及一第二枢接臂130连接于组装壳体110，并朝组装壳体110的同侧延伸。偏心轴200包含相连的一本体部210以及一连接部220。本体部210枢设于基座100的组装壳体110，并具有一轴孔211。轴孔211供驱动马达20的扭力输出轴22组装。连接部220沿轴孔211的轴心线A1延伸，且本体部210的轴孔211的轴心线A1和连接部220的轴心线A2非共轴。轴承300例如为滚珠轴承或滚筒轴承。轴承300套设于偏心轴200的连接部220。以滚珠轴承为例，轴承300一般包含内、外环与夹在内环与外环之间的滚珠。通过滚珠的转动可达到增加内环与外环的转动润滑度的作用。此外，通过滚珠的辅助，内环也会轻微地沿轴承300的轴向相对外环摆动。连接杆件400包含一第一枢接部410及一推抵杆部420。第一枢接部410枢设于轴承300。推抵杆部420连接于第一枢接部410，并沿第一枢接部410的径向延伸。也就是说，推抵杆部420沿轴承300的径向延伸。此外，当偏心轴200旋转时，连接杆件400的推抵杆部420除了可沿轴承300的径向活动外，亦会受到轴承300的作用而沿轴承300的轴向活动。摆动件500包含相连的一第二枢接部510、一第一延伸臂部520及一第二延伸臂部530。第二枢接部510通过一枢轴600枢设于基座100的组装壳体110。第一延伸臂部520的延伸方向实质上平行于轴承300的轴向。第二延伸臂部530的延伸方向实质上平行于轴承300的径向。前述所谓的实质上平行涵盖平行或接近平行(约两者夹设10度以内)。第一延伸臂部520可活动地抵靠于推抵杆部420，以令摆动件500的第一延伸臂部520可受推抵杆部420连动而相对基座100摆动。更详细来说，第一延伸臂部520在远离轴承300的一侧具有一球形接头521，且推抵杆部420具有一凹孔421。球形接头521位于凹孔421与轴承300之间。球形接头521可活动地位于凹孔421，并抵靠于推抵杆部420。其中，球形接头521可以与第一延伸臂部520一体成型的单件式设计，或是与第一延伸臂部520相分离的两件式设计。在本实施例中，摆动机构10更包含一复位件650。复位件650的相对二端分别设置于基座100和摆动件500的第一延伸臂部520。其中，推抵杆部420可推抵第一延伸臂部520，令第一延伸臂部520朝靠近轴承300的方向移动，而复位件650可推抵第一延伸臂部520，令第一延伸臂部520朝远离轴承300的方向移动。此外，通过复位件650的作用，可确保摆动件500在摆动过程中，第一延伸臂部520的球形接头521能保持抵靠于推抵杆部420。此外，摆动机构10更包含一摆臂700。摆臂700连接于第二延伸臂部530，且摆臂700的延伸方向实质上平行于轴承300的径向方向。摆臂700可随着第二延伸臂部530摆动，且摆臂700远离第二延伸臂部530的一端例如具有探针，以能够对待测物(如发光二极管晶粒)进行检测。值得注意的是，在本实施例中，摆臂700与摆动件500的第二延伸臂部530连接，但在其他实施例中，摆动件500也可以不具有第二延伸臂部530，而摆臂700可直接于摆动件500的第二枢接部510连接。请参阅图2至图5。图4为图2的偏心轴旋转一角度后的上视示意图。图5为图4的剖面示意图。如图2与图3所示，摆动件500处于一第一位置。接着，驱动马达20驱动扭力输出轴22沿箭头a所指示的方向旋转，且扭力输出轴22带动偏心轴200转动。因本体部210的轴本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种摆动机构，其特征在于，包含：一基座；一偏心轴，包含相连的一本体部以及一连接部，该本体部枢设于该基座，且该连接部的轴心线和该本体部的轴心线非共轴；一轴承，套设于该偏心轴的该连接部；一连接杆件，包含一第一枢接部及一推抵杆部，该第一枢接部枢设于该轴承，该推抵杆部连接于该第一枢接部，并沿该第一枢接部的径向延伸；以及一摆动件，包含相连的一第二枢接部及一第一延伸臂部，该第二枢接部枢设于该基座，该第一延伸臂部可活动地抵靠于该推抵杆部，当该偏心轴旋转时，该连接杆件的该推抵杆部可沿该轴承的轴向与径向活动，并带动该摆动件的该第一延伸臂部相对该基座摆动。

【技术特征摘要】
1.一种摆动机构，其特征在于，包含：一基座；一偏心轴，包含相连的一本体部以及一连接部，该本体部枢设于该基座，且该连接部的轴心线和该本体部的轴心线非共轴；一轴承，套设于该偏心轴的该连接部；一连接杆件，包含一第一枢接部及一推抵杆部，该第一枢接部枢设于该轴承，该推抵杆部连接于该第一枢接部，并沿该第一枢接部的径向延伸；以及一摆动件，包含相连的一第二枢接部及一第一延伸臂部，该第二枢接部枢设于该基座，该第一延伸臂部可活动地抵靠于该推抵杆部，当该偏心轴旋转时，该连接杆件的该推抵杆部可沿该轴承的轴向与径向活动，并带动该摆动件的该第一延伸臂部相对该基座摆动。2.如权利要求1所述的摆动机构，其特征在于，该偏心轴的该本体部具有一轴孔，该连接部沿该轴孔的轴心线延伸，且该连接部和该轴孔的轴心线非共轴。3.如权利要求1所述的摆动机构，其特征在于，当该偏心轴旋转时，该偏心轴通过该轴承带动该连接杆件沿该偏心轴的径向方向移动，进而带动该摆动件的该第一延伸臂部沿该偏心轴的径向方向移动。4.如权利要求1所述的摆动机构，其特征在于，该第一延伸臂部更具有一球形接头，该连接杆件具有一凹孔，该球形接头可活动地位于该凹孔。5.如权利要求1所述的摆动机构，其特征在于，更包含一复位件，其中该复位件的相对二端分别设置于该基座和该摆动件的该第一延伸臂部。6.如权利要求1所述的摆动机构，其特征在于，包含一摆臂，其中该摆动件更包含连接于该第二枢接部的一第二延伸臂部...

【专利技术属性】
技术研发人员：许睿谋，张添登，
申请(专利权)人：致茂电子苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32