一种微波爆料机制造技术

本发明专利技术公开了一种微波爆料机，属于多晶硅拉晶工艺技术领域。该装置用于大块多晶硅原料的加热工序，包括借助支架固定的加热箱体及加热箱体的电路控制系统，电路控制系统与电源连接，加热箱体的一侧边开有箱门，还设置有微波发生器和控制器，微波发生器的能量输出端连接设置有磁控管，磁控管伸入加热箱体内且固定于加热箱体的内壁上，加热箱体的内部设置有用于放置多晶硅原料的物料盒，控制器的信号输出端分别连接加热箱体的电路控制系统和微波发生器的信号输入端。提高原料破碎的效率，提升产量以满足拉晶车间的使用，降低人工成本，并且具有料损低、节能省电的优势。

A microwave burst machine

The invention discloses a microwave source machine, belonging to the technical field of polycrystalline silicon crystal growth technology. This device is used in the heating process of bulk polysilicon materials, including circuit support fixed heating box and the heating box control system, circuit control system is connected with the power supply side, the heating box side of a box door is opened, is also provided with a microwave generator and microwave generator controller, energy output end is connected with the magnetron magnetron into heating in the box and fixed on the inner wall of the box body heating, internal heating box is provided with a material box for placing polysilicon materials, the controller output signal input end of the circuit are respectively connected with the heating tank control system and microwave generator end. To improve the efficiency of crushing raw materials, improve production to meet the use of pulling workshop, reduce labor costs, and has low material loss and energy saving advantages.

【技术实现步骤摘要】
一种微波爆料机
本专利技术属于多晶硅拉晶工艺
，涉及用于二次加料的小块多晶硅原料的加工设备，特别是用于原料加热的一种微波爆料机。
技术介绍
拉晶车间在装料时需要一部分小块多晶硅原料，在二次加料中使用。现有技术下，这部分小块多晶硅原料通过水爆料机对大块料进行高温加热，经过高温加热的大块料投入到冷水中，通过温差进行碎料，使大块原料变为小块，但是现有爆料机生产的产量有限且人工成本高，现有技术下爆料机通过热电阻进行加热，热辐射到硅原料达到升温的目的，热转化率只有60％，其余热量在冷却水或者周围环境中散失，热能转化效率低，物料升温慢，功耗较大、时间长，大约1小时才能达到升温的目的。随着单晶炉投料量的增加，水爆料机的产能已不能满足拉晶车间的正常使用。
技术实现思路
本专利技术为了解决上述问题，设计了一种微波爆料机，提高原料破碎的效率，提升产量以满足拉晶车间的使用，降低人工成本，并且具有料损低、节能省电的优势。为了实现上述目的，本专利技术所采取的技术手段是：一种微波爆料机，该装置用于大块多晶硅原料的加热工序，包括借助机架固定的加热箱体及加热箱体的电路控制系统，电路控制系统与电源连接，加热箱体的一侧边开有箱门，关键点在于，该装置还设置有微波发生器和控制器，微波发生器的能量输出端连接设置有磁控管，磁控管伸入加热箱体内且固定于加热箱体的内壁上，控制器的信号输出端分别连接加热箱体的电路控制系统和微波发生器的信号输入端。所述的加热箱体的底部后侧设置有气压顶缸，气压顶缸工作时将加热箱体后方顶起使其倾斜一定角度，气压顶缸的控制输入端与控制器的控制输出端相连接。所述的磁控管分布在加热箱体内部的顶面和后侧面。所述的加热箱体的内部设置有用于放置多晶硅原料的物料盒，物料盒由石英陶瓷板拼装构成。所述的加热箱体包括加热腔体及其内外侧均设置的保温隔热层，所述的加热腔体为不锈钢板，保温隔热层材料为保温棉，加热腔体外侧的保温隔热层厚度为30mm。所述的箱门为上下推拉的气筒提升门并且设置有箱门开关连锁保护装置，箱门上也设置有保温隔热层，保温隔热材料为保温棉，箱门控制开关与控制器的控制输出端相连接。所述的箱门上设置有防微波泄漏装置，该防微波泄漏装置包括位于箱门内的不锈钢屏蔽网。本专利技术的有益效果是：该装置取代传统的水爆料机，通过高频微波直接作用于物料，物料原子高频振荡迅速升温，因此可适当增加投料量且不影响加热时间。利用微波加热大块多晶硅，相较于传统的加热工艺效率更高、更环保，采用控制器控制微波爆料机的运转，节省了大量的人力。附图说明图1是本专利技术的结构示意图。图中，1、机架，2、加热箱体，3、微波发生器，4、控制器，5、气压顶缸。具体实施方式本专利技术为一种微波爆料机，该装置用于大块多晶硅原料的加热工序，改变传统的水爆料机，以微波进行加热，多晶硅原料升温更快速，效率更高，下面结合附图和具体实施例对本专利技术做进一步说明。具体实施例，如图1所示，该微波爆料机包括借助机架1固定的加热箱体2及加热箱体2的电路控制系统，电路控制系统与电源连接，加热箱体2的一侧边开有箱门，该装置还设置有微波发生器3和控制器4，微波发生器3的能量输出端连接设置有磁控管，磁控管伸入加热箱体2内且固定于加热箱体2的内壁上，加热箱体2的内部设置有用于放置多晶硅原料的物料盒，控制器4的信号输出端分别连接加热箱体2的电路控制系统和微波发生器3的信号输入端。在物料盒内放置一定量的多晶硅原料，物料盒由石英陶瓷板拼装构成，石英陶瓷板可耐受高温，将物料盒放入加热箱体2内，加热箱体2包括加热腔体及其内外侧均设置的保温隔热层，加热腔体为不锈钢板，保温隔热层材质为保温棉，加热腔体外侧的保温隔热层厚度为30mm。设置保温隔热层防止热量散失过快，影响加热的效率。关上箱门后，控制器4发出信号启动微波发生器3，磁控管获得能量并转变成微波能量对多晶硅进行加热，所述的磁控管分布在加热箱体2内部的顶面和后侧面，微波均匀的辐射多晶硅，多方面接收微波能，升温快速均匀。加热箱体2的底部后侧设置有气压顶缸5，加热完毕后打开箱门，气压顶缸5工作将加热箱体2后方顶起使其倾斜一定角度，方便物料倒出。本实施例中，箱门为上下推拉的气筒提升门，防止箱门侧开时阻碍物料倒出的通道。并且箱门上设置有保温棉进行保温隔热，箱门上端安装开关连锁保护装置，本实施例中箱门开关连锁保护装置为一行程开关，当箱门碰撞到行程开关启动，增加了箱门的其使用寿命。并且箱门内设置有一层不锈钢屏蔽网作为防微波泄漏装置，防止微波泄漏对工作人员造成伤害，防止能力散失，提高加热效率。本实施例中控制器4设置有独立的控制柜，箱门及气压顶缸5的开关皆有控制柜统一控制，减少工人的走动、保证加工现场的秩序。控制柜采用PLC控制，人机界面显示，并配有高温测温系统，可限制物料的温度。微波工作功率分组可调，可进行定时控制、定温控制。加热工作完毕后，磁控管部分可采用水冷，箱体有风冷散热。现有爆料机每次爆料39kg，每次55分钟，并且需要人工加料；而微波爆料机的加热箱体可倾斜旋转，实现原料的自动倾倒，每次爆料150kg，每次投料量约是原来的3.8倍，热转化率达到90％-95％，在物料达到同等温度前提下，热能转化率提高了30％-35％，同等时间条件下产量提高，意味着人力成本下降。加热时没有挥发物和气体，在加热腔体内安装石英筒，保证原料的纯净度，不带入设备上的杂质，提高破碎小块多晶硅的质量，加热完成后原料自动进入水槽，实现料损降低至1％左右。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微波爆料机，该装置用于大块多晶硅原料的加热工序，包括借助机架(1)固定的加热箱体(2)及加热箱体(2)的电路控制系统，电路控制系统与电源连接，加热箱体(2)的一侧边开有箱门，其特征在于：该装置还设置有微波发生器(3)和控制器(4)，微波发生器(3)的能量输出端连接设置有磁控管，磁控管伸入加热箱体(2)内且固定于加热箱体(2)的内壁上，控制器(4)的信号输出端分别连接加热箱体(2)的电路控制系统和微波发生器(3)的信号输入端。

【技术特征摘要】
1.一种微波爆料机，该装置用于大块多晶硅原料的加热工序，包括借助机架(1)固定的加热箱体(2)及加热箱体(2)的电路控制系统，电路控制系统与电源连接，加热箱体(2)的一侧边开有箱门，其特征在于：该装置还设置有微波发生器(3)和控制器(4)，微波发生器(3)的能量输出端连接设置有磁控管，磁控管伸入加热箱体(2)内且固定于加热箱体(2)的内壁上，控制器(4)的信号输出端分别连接加热箱体(2)的电路控制系统和微波发生器(3)的信号输入端。2.根据权利要求1所述的一种微波爆料机，其特征在于：所述的加热箱体(2)的底部后侧设置有气压顶缸(5)，气压顶缸(5)工作时将加热箱体(2)后方顶起使其倾斜一定角度，气压顶缸(5)的控制输入端与控制器(4)的控制输出端相连接。3.根据权利要求1所述的一种微波爆料机，其特征在于：所述的磁...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄永恩，
申请(专利权)人：河北宁通电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：河北,13