The invention discloses a method for preparing the electronic grade two chlorine two hydrogen silicon. The method comprises the following steps: S1, will join the product filled with trichlorosilane distillation disproportionation catalyst for reactive distillation, the reaction product obtained; S2, the reaction product of removing light component and re purified products; S3, the purification products into the adsorption purification unit, further removal of impurities, obtained two hydrogen silicon electronic grade two chlorine. The technical scheme of the invention, the product generated two hydrogen trichlorosilane silicon two chlorine in catalytic disproportionation catalyst, reaction tower after the products were removed light components and heavy components, at the same time, in order to reduce the fluctuation of the reaction system, and further guarantee the quality of products, the purification unit is arranged in the adsorption purification device, further removal of impurities, two silicon electronic grade hydrogen chloride two, silicon two electronic grade hydrogen chloride two purity process simple steps and get high.
【技术实现步骤摘要】
一种制备电子级二氯二氢硅的方法
本专利技术涉及化工领域,具体而言,涉及一种制备电子级二氯二氢硅的方法。
技术介绍
二氯二氢硅是改良西门子法生产多晶硅的副产物之一,因为沸点低,与杂质化合物沸点接近,不易进行精制。近年来,集成电路产业发展迅速,二氯二氢硅因其反应温度低,逐步成为集成电路产业氮化硅膜等含硅薄膜的硅源特气,且在大尺寸外延片上应用逐步替代三氯氢硅等,需求旺盛。目前,二氯二氢硅大多从多晶硅生产副产物中分离,分离难度大,经过多级精馏产品纯度仍不能满足集成电路行业要求。专利CN105480981A中提出首先将还原尾气进行解析分离得到氯硅烷,之后对氯硅烷进行吸附,再两塔先脱轻后脱重得到二氯二氢硅,但是产品纯度有限,不能满足电子级产品要求。也有机构研究采用三氯氢硅歧化制备二氯二氢硅,专利CN204490520U提出了一种生产电子级高纯二氯二氢硅及硅烷的装置,系统单独设置反应釜进行歧化反应,之后再进行精馏得到二氯二氢硅,一次反应产物经二次反应和精馏得到硅烷,三氯氢硅歧化单程转化率很低,只有10%左右,反应器需要处理量大,反应产品中目标组分含量低,如此增大了系统循环量,系统负荷高,从而增大运行成本,且系统流程长,系统波动容易对产品质量造成影响。
技术实现思路
本专利技术旨在提供一种制备电子级二氯二氢硅的方法,以解决现有技术中以解决现有技术中制备电子级二氯二氢硅产品不满足要求或产品质量不稳定的技术问题。为了实现上述目的,根据本专利技术的一个方面,提供了一种制备电子级二氯二氢硅的方法。该方法包括以下步骤:S1,将三氯氢硅产品加入装填有歧化催化剂的反应精馏塔进行反应精馏,得 ...
【技术保护点】
一种制备电子级二氯二氢硅的方法,其特征在于,包括以下步骤:S1,将三氯氢硅产品加入装填有歧化催化剂的反应精馏塔进行反应精馏,得到的反应产物;S2,将所述反应产物脱除轻组分和重组分得到提纯产品;S3,将所述提纯产品送入吸附提纯单元,进一步去除杂质,得到所述电子级二氯二氢硅。
【技术特征摘要】
1.一种制备电子级二氯二氢硅的方法,其特征在于,包括以下步骤:S1,将三氯氢硅产品加入装填有歧化催化剂的反应精馏塔进行反应精馏,得到的反应产物;S2,将所述反应产物脱除轻组分和重组分得到提纯产品;S3,将所述提纯产品送入吸附提纯单元,进一步去除杂质,得到所述电子级二氯二氢硅。2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述三氯氢硅产品中三氯氢硅的质量百分含量为大于4N。3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述歧化催化剂为胺基大孔弱碱性阴离子交换树脂。4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述反应精馏塔的回流进料比为6~20。5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述吸附提纯单元内装填有椰壳活性炭。6.根据权利要求1所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员:万烨,刘见华,赵雄,郭树虎,赵宇,常欣,辛超,姜利霞,严大洲,吕东,
申请(专利权)人:洛阳中硅高科技有限公司,中国恩菲工程技术有限公司,
类型:发明
国别省市:河南,41
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