具有水平调整功能的吸盘装置以及安装方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供了具有水平调整功能的吸盘装置以及安装方法，其中的吸盘装置包括：吸盘、吸盘底座、多个第一螺钉和至少一个第二螺钉；吸盘上设置有多个螺纹通孔；吸盘底座上设置有至少一个螺纹孔；多个第一螺钉分别与吸盘上相应的螺纹通孔螺合，且螺合于螺纹通孔中的第一螺钉的上表面低于吸盘的上表面，通过调整各第一螺钉旋入螺纹通孔的深度使吸盘的上表面处于水平状态；至少一个第一螺钉上设置有通孔，且该通孔的中心线与第一螺钉的中心线重合；第二螺钉通过该的通孔与吸盘底座上的螺纹孔螺合，使吸盘固定在吸盘底座上。本发明专利技术提供的技术方案能够方便快捷的使吸盘的上表面处于高精度的水平状态，且该吸盘装置还具有易用性强以及水平精度高等特点。

Suction disc device with horizontal adjustment function and installation method

The present invention provides a suction device with horizontal adjustment function and installation method, which comprises a suction device, suction suction base and a plurality of a first screw and at least a second screw chuck; through holes are arranged on a plurality of threads; suction base is provided with at least one threaded hole; a plurality of first screw and respectively. The suction cup on the corresponding thread through hole is screwed, and is screwed in the screw through the first screw hole on the surface below the upper surface of the adhesive disc, by adjusting the first screw is screwed into the screw through hole depth on the surface of the suction cup at the state level; at least one first screw through holes are arranged on the center line. The through hole and the first screw line; second screws through the screw hole and the screw hole of the suction cup on the base, the base is fixed on the sucker sucker. The technical proposal provided by the invention can make the upper surface of the sucker on a high precision level conveniently and quickly, and the sucker device has the characteristics of high usability and high level accuracy.

【技术实现步骤摘要】
具有水平调整功能的吸盘装置以及安装方法
本专利技术涉及半导体
，尤其是涉及一种具有水平调整功能的吸盘装置以及吸盘装置的安装方法。
技术介绍
硅片作为集成电路的基底，是半导体生产制造工艺中不可或缺的元素。在生产过程中，各类仪器设备对硅片的取放、承载以及转移有着不同的专业要求。在光学检测设备中，不但要求硅片承载台对硅片的吸着要平整均匀，而且特别要求与系统的光学轴要严格垂直或以某一规定角度准直；而在硅片承载台安装校准中，由于其精准度及最大误差的限制近乎苛刻，对系统工程师来说困难很大。为了提高对硅片承载台倾斜角调节的操控性及精度，人们作了努力，目前设计出的的硅片承载台的结构包括：气浮支座、调平机构、平面电机以及方镜等部件；其中的方镜上通常设置有吸盘装置，且该吸盘装置主要用于对硅片进行吸附，以使硅片固定于硅片台上；该方镜通常由至少三个方镜支柱支撑，且方镜支柱的底部固定设置于调平机构的上表面，该调平机构通常包括多个调平执行器，且每一个方镜支柱均与相应的调平执行器对应设置；该方镜与气浮支座之间通常设置有多个电涡流传感器，通过利用电涡流传感器可以准确的测量出气浮支座与方镜之间的垂向高度，通过根据测量出的垂向高度来驱动平面电机运转，可以使方镜始终处于高精度的水平状态，进而使方镜上的硅片处于水平状态。专利技术人在实现本专利技术过程中发现，虽然现有的硅片台可以使方镜处于高精度的水平状态，然而，由于吸盘装置的机械制造误差以及安装操作等多方面的因素，固定设置于方镜上的吸盘装置的吸盘上表面很可能会出现没有保持水平状态的现象，从而使硅片台上的硅片没有很好的处于水平状态，最终会对半导体制造工艺产生不良影响。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种具有水平调整功能的吸盘装置以及吸盘装置的安装方法。根据本专利技术的一个方面，提供一种具有水平调整功能的吸盘装置，且所述吸盘装置主要包括：吸盘、吸盘底座、多个第一螺钉以及至少一个第二螺钉；所述吸盘上设置有多个螺纹通孔；所述吸盘底座上设置有至少一个螺纹孔；所述多个第一螺钉分别与吸盘上相应的螺纹通孔螺合，且螺合于螺纹通孔中的第一螺钉的上表面低于吸盘的上表面，通过调整各第一螺钉旋入螺纹通孔的深度使吸盘的上表面处于水平状态；至少一个第一螺钉上设置有通孔，且第一螺钉上的通孔的中心线与第一螺钉的中心线重合；所述第二螺钉通过第一螺钉上的通孔与吸盘底座上的螺纹孔螺合，使吸盘固定在吸盘底座上。根据本专利技术的另一个方面，提供一种具有水平调整功能的吸盘装置的安装方法，且所述吸盘装置的安装方法包括：将各第一螺钉分别旋入吸盘上相应的螺纹通孔中，且各第一螺钉的下表面不突出于吸盘的下表面；将第二螺钉通过第一螺钉上的通孔与吸盘底座上的螺纹孔螺合，使吸盘固定在吸盘底座上；通过检测吸盘的上表面的水平情况调整相应的第一螺钉旋入螺纹通孔的深度，以使吸盘的上表面处于水平状态。与现有技术相比，本专利技术具有以下优点：本专利技术通过在吸盘上设置多个螺纹通孔，并通过控制相应位置的第一螺钉在螺纹通孔中的旋入深度，可以方便的使吸盘的上表面处于水平状态；通过在第一螺钉上设置通孔，并使通孔的中心线与第一螺钉的中心线重合，这样，在第二螺钉穿过第一螺钉上的通孔而与吸盘底座的螺纹孔螺合时，上紧第二螺钉的紧固力只会作用在调整螺钉与吸盘底座相接触的区域，而不会增大吸盘的变形，因此，在通过调整第一螺钉使吸盘的上表面保持高精度的水平状态后，上紧第二螺钉的操作基本上不会对吸盘的上表面的水平状态产生不利影响；由此可知，本专利技术提供的技术方案能够方便快捷的使吸盘的上表面处于高精度的水平状态，且本专利技术的吸盘装置还具有易用性强以及水平精度高等特点。附图说明通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本专利技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：图1为本专利技术实施例一的具有水平调整功能的吸盘装置的立体图；图2为本专利技术实施例一的具有水平调整功能的吸盘装置的主视图；图3为本专利技术实施例一的调整螺钉的立体图；图4为本专利技术实施例一的防松螺钉的立体图。附图中相同或相似的附图标记代表相同或相似的部件。具体实施方式在更加详细地讨论示例性实施例之前，应当提到的是，一些示例性实施例被描述成作为流程图描绘的处理或方法。虽然流程图将各项操作描述成顺序的处理，但是，其中的许多操作可以被并行地、并发地或者同时实施。此外，各项操作的执行顺序可以被重新安排。当其操作完成时所述处理可以被终止，但是还可以具有未包括在附图中的附加步骤。所述处理可以对应于方法、函数、规程、子例程、子程序等等。这里所公开的具体结构和功能细节仅仅是代表性的，并且是用于描述本专利技术的示例性实施例的目的。但是，本专利技术可以通过许多替换形式来具体实现，并且不应当被解释成仅仅受限于这里所阐述的实施例。应当理解的是，虽然在这里可能使用了术语“第一”、“第二”等等来描述各个单元，但是这些单元不应当受这些术语限制。使用这些术语仅仅是为了将一个单元与另一个单元进行区分。举例来说，在不背离示例性实施例的范围的情况下，第一单元可以被称为第二单元，并且类似地第二单元可以被称为第一单元。这里所使用的术语“和/或”包括其中一个或更多所列出的相关联项目的任意和所有组合。应当理解的是，当一个单元被称为“连接”或者“耦合”到另一个单元时，其可以直接连接或耦合到所述另一单元，或者可以存在中间单元。与此相对，当一个单元被称为“直接连接”或“直接耦合”到另一单元时，则不存在中间单元。应当按照类似的方式来解释被用于描述单元之间的关系的其他词语(例如“处于...之间”相比于“直接处于...之间”，“与...邻近”相比于“与...直接邻近”等等)。这里所使用的术语仅仅是为了描述具体实施例而不意图限制示例性实施例。除非上下文明确地另有所指，否则这里所使用的单数形式“一个”、“一项”还意图包括复数。还应当理解的是，这里所使用的术语“包括”和/或“包含”规定所陈述的特征、整数、步骤、操作、单元和/或组件的存在，而不排除存在或添加一个或更多其他特征、整数、步骤、操作、单元、组件和/或其组合。下面结合附图对本专利技术作进一步详细描述。实施例一、具有水平调整功能的吸盘装置。本实施例的具有水平调整功能的吸盘装置通常可以作为用于吸附硅片的吸盘装置，例如，本实施例的吸盘装置可以设置于硅片台上，以使吸附在吸盘装置上的硅片可以方便的进行刻蚀以及缺陷检查等工序。本实施例的具有水平调整功能的吸盘装置的主要结构如图1-4所示。下面参照具体实施例对具有水平调整功能的吸盘装置进行说明。图1-图4中，本实施例的具有水平调整功能的吸盘装置主要包括：吸盘1、吸盘底座5、多个第一螺钉2以及至少一个第二螺钉4(通常为多个第二螺钉4)。优选的，该吸盘装置还可以包括：多个第三螺钉3。吸盘1主要用于吸附半导体器件，如吸附硅片。吸盘1的上表面通常为圆形或者方形等，且吸盘1的材质通常可以为不锈钢、铝合金(如航空铝)或者陶瓷等硬质材质。吸盘1上设置有多个螺纹通孔101(图1中示意性的示出了三个螺纹通孔101，螺纹通孔101的数量也可以更多)，且多个螺纹通孔101在吸盘上的布设通常是均匀的，如多个螺纹通孔101可以均匀的设置于以吸盘1的圆心为圆心的一个圆周或者两个圆周上。螺纹通孔101的内螺纹螺距与第一螺钉2的外螺纹201螺距本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有水平调整功能的吸盘装置，其中，所述的吸盘装置包括：吸盘、吸盘底座、多个第一螺钉以及至少一个第二螺钉；所述吸盘上设置有多个螺纹通孔；所述吸盘底座上设置有至少一个螺纹孔；所述多个第一螺钉分别与吸盘上相应的螺纹通孔螺合，且螺合于螺纹通孔中的第一螺钉的上表面低于吸盘的上表面，通过调整各第一螺钉旋入螺纹通孔的深度使吸盘的上表面处于水平状态；至少一个第一螺钉上设置有通孔，且第一螺钉上的通孔的中心线与第一螺钉的中心线重合；所述第二螺钉通过第一螺钉上的通孔与吸盘底座上的螺纹孔螺合，使吸盘固定在吸盘底座上。

【技术特征摘要】
1.一种具有水平调整功能的吸盘装置，其中，所述的吸盘装置包括：吸盘、吸盘底座、多个第一螺钉以及至少一个第二螺钉；所述吸盘上设置有多个螺纹通孔；所述吸盘底座上设置有至少一个螺纹孔；所述多个第一螺钉分别与吸盘上相应的螺纹通孔螺合，且螺合于螺纹通孔中的第一螺钉的上表面低于吸盘的上表面，通过调整各第一螺钉旋入螺纹通孔的深度使吸盘的上表面处于水平状态；至少一个第一螺钉上设置有通孔，且第一螺钉上的通孔的中心线与第一螺钉的中心线重合；所述第二螺钉通过第一螺钉上的通孔与吸盘底座上的螺纹孔螺合，使吸盘固定在吸盘底座上。2.根据权利要求1所述的吸盘装置，其中，所述多个螺纹通孔均匀的布设于以吸盘的圆心为圆心的一个圆周上。3.根据权利要求1所述的吸盘装置，其中，所述第一螺钉上设置的通孔为台阶孔，且所述第二螺钉通过第一螺钉上的台阶孔与吸盘底座上的螺纹孔螺合后，第二螺钉的上表面沉入台阶孔形成的台阶空间中。4.根据权利要求1所述的吸盘装置，其中，所述第一螺钉的上端面设置有两个一字槽，且所述两个一字槽被第一螺钉的通孔的一条直径连通；或者所述第一螺钉的上端面设置有两个孔，且所述两个孔分设在第一螺钉的通孔的两侧。5.根据权利要求1所述的吸盘装置，其中，所述吸盘装置还包括：多个第三螺钉；所述多个第三螺钉分别与吸盘上相应的螺纹通孔螺合，螺合于同一个螺纹通孔中...

【专利技术属性】
技术研发人员：屈俊健，
申请(专利权)人：睿励科学仪器上海有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31