The utility model discloses a multi line cutting machine centering positioning structure, which comprises a pull rod, a guide wheel, a positioning disc, an elastic positioning body and a core shaft, an elastic positioning body and a core shaft adopts forced fit, temperature difference method assembly, this can be regarded as a combination of the two parts, when the rotating rod, it the thread will be tightened to elastic positioning by the guide wheel and the positioning disk and spindle assembly forming force, cone and cone laminating elastic positioning the positioning plate body, the centering and torque transmission function; the elastic part of the elastic positioning body is compressed, the guide roller and the positioning plate side with one side with the core shaft and an elastic positioning body with contact, the positioning. The centering positioning structure, can realize the multi line cutting guide wheel assembly is detachable, centering and positioning accuracy of the machine, torque transmission effect, so as to ensure the machining accuracy of the wafer.
【技术实现步骤摘要】
一种多线切割机的定心定位结构
本技术属于多线切割机
,具体涉及一种多线切割机的定心定位结构。
技术介绍
多线切割是一种通过金属丝的高速往复运动,把磨料带入半导体加工区域进行研磨,将半导体等硬脆材料一次同时切割为数百片薄片的一种新型切割加工方法,是目前单晶硅、多晶硅及电子级硅、蓝宝石等硬脆材料加工的主要设备,总厚度公差(TTV)是晶片质量最主要的参数之一,而加工过程中导轮的对心情况直接影响晶片TTV。目前,市面上的多线切割机普遍使用关节轴承进行对心,这种对心方式效率低,造成晶片TTV参数偏大。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术存在的以上问题,提供一种多线切割机的定心定位结构,该技术保证导轮的定心定位和扭矩的传递,从而保证了晶片的加工精度和质量。技术方案:本技术公开了一种多线切割机的定心定位结构,该结构包括芯轴,锥面弹性定位体和所述芯轴之间采用大过盈配合,定位盘的内锥面与所述弹性定位体的外锥面配合连接,所述弹性定位体的内腔设有拉杆,所述拉杆上设有外螺纹,导轮设置在拉杆的外侧并与所述定位盘的外侧相接触,所述导轮与定位盘结合的一侧与所述芯轴与弹性定位体结合的一侧相接触。进一步的,所述芯轴外侧设置有轴承座。进一步的,所述轴承座外侧固定在机架上。进一步的,所述芯轴与所述轴承座之间设有圆柱滚子轴承、角接触球轴承和双列调心球轴承。优选的,所述圆柱滚子轴承和一对角接触球轴承设置在同一端,双列调心球轴承设置在另一端。进一步的,所述两端轴承之间设有内隔套。进一步的,所述弹性定位体的锥面斜角在30°~40°之间。进一步的,所述弹性定位体的材料为65Mn钢。进一步的,与所述 ...
【技术保护点】
一种多线切割机的定心定位结构,其特征在于,该结构包括芯轴、锥面弹性定位体、定位盘、拉杆、导轮,锥面弹性定位体和所述芯轴之间采用大过盈配合,定位盘的内锥面与所述弹性定位体的外锥面配合连接,所述弹性定位体的内腔设有拉杆,所述拉杆上设有外螺纹,导轮设置在拉杆的外侧并与所述定位盘的外侧相接触,所述导轮与定位盘结合的一侧与所述芯轴与弹性定位体结合的一侧相接触。
【技术特征摘要】
1.一种多线切割机的定心定位结构,其特征在于,该结构包括芯轴、锥面弹性定位体、定位盘、拉杆、导轮,锥面弹性定位体和所述芯轴之间采用大过盈配合,定位盘的内锥面与所述弹性定位体的外锥面配合连接,所述弹性定位体的内腔设有拉杆,所述拉杆上设有外螺纹,导轮设置在拉杆的外侧并与所述定位盘的外侧相接触,所述导轮与定位盘结合的一侧与所述芯轴与弹性定位体结合的一侧相接触。2.根据权利要求1所述的一种多线切割机的定心定位结构,其特征在于,所述芯轴外侧设置有轴承座。3.根据权利要求2所述的一种多线切割机的...
【专利技术属性】
技术研发人员:乔卫民,谭雷,马艳,
申请(专利权)人:苏州赫瑞特电子专用设备科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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