一种石英晶体振荡器真空溅射镀膜掩膜板的校准装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种石英晶体振荡器真空溅射镀膜掩膜板的校准装置，它包括底板（5）、定位板（6）和校正板（7），定位板（6）固定于底板（5）的顶部，定位板（6）纵向设置，定位柱（8）截面呈三角形，校正板（7）放置于底板（5）上且遮盖腰形孔和电磁铁（11），校正板（7）的边缘上设置有两个V形卡槽（12），它还包括第一定位杆（13）和第二定位杆（14），第一定位杆（13）的下端部贯穿校正板（7）且抵于第一腰形孔（9）内，第二定位杆（14）的下端部穿过校正板（7）且抵于第二腰形孔（10）内，定位杆的外径小于腰形孔的宽度。本实用新型专利技术的有益效果是：结构紧凑、提高校准效率、减轻劳动强度、操作简单。

A calibration device for the vacuum sputtering film plate of a quartz crystal oscillator

The utility model discloses a calibration device for vacuum sputtering quartz crystal oscillator mask, which comprises a base plate (5) and the positioning plate (6) and (7), correction plate positioning plate (6) is fixed on the base plate (5) at the top of the positioning plate (6) is arranged vertically, the positioning column (the 8 section is a triangle), plate (7) is placed on the bottom plate (5) and cover the waist shaped hole and an electromagnet (11), (7) the edge of the plate is provided with two V shaped groove (12), it also includes a first positioning rod (13) and the second positioning rods (14), the first positioning rod (13) through the lower end of the plate (7) and arrived in the first waist shape hole (9), second (14) of the positioning rod end through the correction plate (7) and gets to the second waist shaped hole (10), the positioning rod is smaller than the waist hole the width of the. The beneficial effect of the utility model is that the structure is compact, the calibration efficiency is improved, the labor intensity is lighten, and the operation is simple.

【技术实现步骤摘要】
一种石英晶体振荡器真空溅射镀膜掩膜板的校准装置
本技术涉及上下掩膜板校准的
，特别是一种石英晶体振荡器真空溅射镀膜掩膜板的校准装置。
技术介绍
石英晶体振荡器是一种高精度和高稳定度的振荡器，被广泛应用于远程通信、卫星通信、移动电话系统、全球定位系统（GPS）、导航、遥控、航空航天、高速计算机、精密计测仪器及消费类民用电子产品中。因其具有频率稳定度高这一特点,故在电子
中一直占有重要的地位。近年来，随着现代科学技术的发展，对石英晶体振荡器的尺寸、质量、稳定性不断的提出新的要求。随着石英晶体振荡器的尺寸的减小，以及通信产业的快速普及，生产石英晶体振荡器的实际问题也愈技术显。目前有一种掩膜板包括上掩膜板（1）和下掩膜板（2），如图1所示，上掩膜板（1）的外边缘为上边框，下掩膜板（2）的外边缘为下边框，上边框和下边框的一侧边均开设有两个V形槽（3），且上边框和下边框上均开设有边缘孔（4），上掩膜板（1）和下掩膜板（2）的中部均开设有呈阵列的孔，石英晶片在真空溅射镀膜时，需将石英晶片夹在上掩膜板（1）的孔和下掩膜板（2）的孔之间，随后才能进行真空镀膜，实现石英晶片上下表面的镀膜。因此必须保证上掩膜板（1）的孔和下掩膜板（2）的孔对齐，否成会影响镀膜质量，对齐操作是将上下掩膜板的两个临边平齐。目前的校准方法主要采用人工在高倍显微镜下进行目测校准，由于产品电极尺寸要求小，人工在操作过程中需要非常精准的将上下掩膜板对齐，此过程难度较大，且需要技术熟练员工操作，总之，现有技术存在准确性差、重复性不好等缺点，会对电极带来错位等缺陷，严重影响产品质量以及生产效率。技术内容本技术的目的在于克服现有技术的缺点，提供一种结构紧凑、提高校准效率、减轻劳动强度、操作简单的石英晶体振荡器真空溅射镀膜掩膜板的校准装置。本技术的目的通过以下技术方案来实现：一种石英晶体振荡器真空溅射镀膜掩膜板的校准装置，它包括底板、定位板和校正板，所述的定位板固定于底板的顶部，定位板纵向设置，定位板的右端面上由前往后顺次布置有四个定位柱，定位柱截面呈三角形，所述的底板的顶表面上且位于定位板的右侧设置有凹槽、第一腰形孔和第二腰形孔，凹槽内设置有电磁铁，腰形孔纵向设置，所述校正板放置于底板上且遮盖腰形孔和电磁铁，校正板的边缘上设置有两个V形卡槽，V形卡槽分别卡于位于定位板前侧的两个定位柱上，V形卡槽的夹角大于定位柱顶角，它还包括第一定位杆和第二定位杆，第一定位杆的下端部贯穿校正板且抵于第一腰形孔内，第二定位杆的下端部穿过校正板且抵于第二腰形孔内，定位杆的外径小于腰形孔的宽度。所述的定位板经螺钉螺纹连接于底板上。所述的第一腰形孔位于第二腰形孔的后侧。所述的校正板为矩形状。本技术具有以下优点：本技术结构紧凑、提高校准效率、减轻劳动强度、操作简单。附图说明图1为掩膜板的结构示意图；图2为本技术的结构示意图；图3为图2的A-A剖视图；图4为图2的B-B剖视图；图5为底板的结构示意图；图中，1-上掩膜板，2-下掩膜板，3-V形槽，4-边缘孔，5-底板，6-定位板，7-校正板，8-定位柱，9-第一腰形孔，10-第二腰形孔，11-电磁铁，12-V形卡槽，13-第一定位杆，14-第二定位杆，15-螺钉，16-待校准下掩膜板，17-待校准上掩膜板。具体实施方式下面结合附图对本技术做进一步的描述，本技术的保护范围不局限于以下所述：如图2~5所示，一种石英晶体振荡器真空溅射镀膜掩膜板的校准装置，它包括底板5、定位板6和校正板7，所述的定位板6固定于底板5的顶部，定位板6经螺钉15螺纹连接于底板5上，定位板6纵向设置，定位板6的右端面上由前往后顺次布置有四个定位柱8，定位柱8截面呈三角形，所述的底板5的顶表面上且位于定位板6的右侧设置有凹槽、第一腰形孔9和第二腰形孔10，第一腰形孔9位于第二腰形孔10的后侧，凹槽内设置有电磁铁11，腰形孔纵向设置。当电磁铁11得电后，电磁铁11将底板5吸住；当电磁铁11断电后，电磁铁11与底板5分离。所述校正板7为矩形状，校正板7由金属材料构成，校正板7放置于底板5上且遮盖腰形孔和电磁铁11，校正板7的边缘上设置有两个V形卡槽12，V形卡槽12分别卡于位于定位板6前侧的两个定位柱8上，V形卡槽12的夹角大于定位柱8顶角。它还包括第一定位杆13和第二定位杆14，第一定位杆13的下端部贯穿校正板7且抵于第一腰形孔9内，第二定位杆14的下端部穿过校正板7且抵于第二腰形孔10内，定位杆的外径小于腰形孔的宽度。所述的装置校准石英晶体振荡器真空溅射镀膜掩膜板的方法，它包括以下步骤：S1、待校准下掩膜板的工装：将待校准下掩膜板16平放置于底板5顶表面且放置于校正板7的后侧，并将待校准下掩膜板16的V形槽3分别卡于位于定位板6后侧的定位柱8上，V形槽3的底部与定位柱8的顶尖重合，从而实现了待校准下掩膜板16的工装；S2、待校准上掩膜板的工装：将待校准上掩膜板17平放置于步骤S1中待校准下掩膜板16的顶表面，并将待校准上掩膜板17的V形槽3分别卡于位于定位板6后侧的定位柱8上，V形槽3的底部与定位柱8的顶尖重合，从而实现了待校准上掩膜板17的工装；S3、待校准上下掩膜板的校准：先将电磁铁11断电，电磁铁11与校正板7分离，再同时向后推动第一定位杆13和第二定位杆14，第一定位杆13沿着第一腰形孔9移动，第二定位杆14沿着第二腰形孔10移动，校正板7向后移动，此时校正板7同时靠在待校准上掩膜板17和待校准下掩膜板16的前边上，从而保证待校准上下掩膜板各对应边的平齐，进一步的实现了待校准上下掩膜板的校准，校准后将待校准上下掩膜板连接为一体即可，随后从底板上取下，为下一次校准做准备，具有重复性好的特点。此外本装置相比采用人工在高倍显微镜下进行目测校准，校准效率更高，减少了人工校准带来的误差，校准更加准确，还降低了工人的劳动强度。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种石英晶体振荡器真空溅射镀膜掩膜板的校准装置，其特征在于：它包括底板（5）、定位板（6）和校正板（7），所述的定位板（6）固定于底板（5）的顶部，定位板（6）纵向设置，定位板（6）的右端面上由前往后顺次布置有四个定位柱（8），定位柱（8）截面呈三角形，所述的底板（5）的顶表面上且位于定位板（6）的右侧设置有凹槽、第一腰形孔（9）和第二腰形孔（10），凹槽内设置有电磁铁（11），腰形孔纵向设置，所述校正板（7）放置于底板（5）上且遮盖腰形孔和电磁铁（11），校正板（7）的边缘上设置有两个V形卡槽（12），V形卡槽（12）分别卡于位于定位板（6）前侧的两个定位柱（8）上，V形卡槽（12）的夹角大于定位柱（8）顶角，它还包括第一定位杆（13）和第二定位杆（14），第一定位杆（13）的下端部贯穿校正板（7）且抵于第一腰形孔（9）内，第二定位杆（14）的下端部穿过校正板（7）且抵于第二腰形孔（10）内，定位杆的外径小于腰形孔的宽度。

【技术特征摘要】
1.一种石英晶体振荡器真空溅射镀膜掩膜板的校准装置，其特征在于：它包括底板（5）、定位板（6）和校正板（7），所述的定位板（6）固定于底板（5）的顶部，定位板（6）纵向设置，定位板（6）的右端面上由前往后顺次布置有四个定位柱（8），定位柱（8）截面呈三角形，所述的底板（5）的顶表面上且位于定位板（6）的右侧设置有凹槽、第一腰形孔（9）和第二腰形孔（10），凹槽内设置有电磁铁（11），腰形孔纵向设置，所述校正板（7）放置于底板（5）上且遮盖腰形孔和电磁铁（11），校正板（7）的边缘上设置有两个V形卡槽（12），V形卡槽（12）分别卡于位于定位板（6）前侧的两个定位柱（8）上，V形卡槽（12）的夹角大于定位柱（...

【专利技术属性】
技术研发人员：王松，
申请(专利权)人：东晶锐康晶体成都有限公司，
类型：新型
国别省市：四川,51