纯净气室制造技术

本发明专利技术涉及纯净气室(10)，纯净气室具有相对于周围环境密封的由侧壁(30、30.1‑30.10)包围的内部空间。对此规定，纯净气室的侧壁的至少一部分由一个或多个结构型芯板(12)、尤其一个或多个蜂窝式型芯板形成，结构型芯板分别具有两个盖板(12.1、12.2)和布置在两个盖板之间的结构型芯(12.3)、尤其蜂窝式型芯，沿着纯净气室的角部弯曲一盖板，并且使另一盖板与结构型芯分离。用结构型芯板构造的纯净气室使得纯净气室的重量明显降低。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】纯净气室
本专利技术涉及纯净气室，纯净气室具有相对于周围环境密封的由侧壁包围的内部空间。
技术介绍
在生产和研发中的大量制造工艺和工序都不能在普通的环境条件下进行，而是需要特殊的气氛。这种制造工艺可以是镀层过程、例如在半导体制造中；在LCD或OLED制造中的包封步骤或高纯度原材料的制造工艺、例如在医学和制药领域中；以及在焊接应用中、例如钛焊接。这些工艺例如会要求净室条件、低湿度、惰性气体气氛或各种的这类条件以及其他条件的组合。已知的是，这种制造工艺或工序在封闭的空间中进行，在封闭的空间中可根据所需条件设定气氛。封闭的空间具有闸门，通过闸门能够将所需的材料引入封闭的空间中并且能够将产品取出。这种空间例如构造在所谓的手套箱中，如在文献(参见“净室技术”，第三版更新，由Springer出版，第202-207页)中充分地描述。这种手套箱主要由不锈钢制成。手套箱提供如下可能，通过手套执行件在手套箱之内期望的工序。为了设定所需的气氛，使相应的气体输入部或用于从手套箱排出气体的循环管路通过至少一个气体处理单元来引导，然后再次输送给手套箱。这种手套箱基于其构造尤其在大的制造设备中会很难集成到制造线中，因为需要包围住的设备仅能通过设置的闸门引入手套箱中。因此，已知有在外罩设计中的惰性气体壳体。外罩与底板形成包围住的空间，在该空间中可设定所需的气氛。预安装的外罩从上面放置到底板上并且密封。所需的贯穿部、闸门、连接在前面的腔室和其他所需的机组和组件优选已经安装在外罩上并且进行了测试。因此可快速地将惰性气体壳体搭建在设置的工位或生产场地上。外罩设计的方法提供以下可能性，能够在闭合的空间中运行设备或设备部分，能够根据需要设定空间的气氛。对此，外罩的尺寸与相应的设备匹配。用于建造惰性气体壳体的材料设计成，该材料没有(例如通过污染物或废气)改变在壳体内部的气氛。此外，如此进行包围，使得在惰性气体壳体的内部空间和周围环境之间没有气体交换。已知惰性气体壳体由不锈钢或铝制成。这种惰性气体壳体的缺点是其重量大，这是由所述结构形式和所使用的材料造成的。大的重量一方面难以使外罩从上方倒扣在相应设备上，因为必须有能相应负载的升降装置。此外，除了被包围的设备之外，惰性气体壳体增加了底部负荷。这在需要搭建纯净气室的建筑物的地面负荷能力不够的情况下需要大范围的并且昂贵的改造措施来提高地面静力学。
技术实现思路
因此，本专利技术的目的是提供用于容纳设备和设备部件的纯净气室，纯净气室的内部空间相对于周围环境密封，可根据设备或设备部件的运行要求设定纯净气室的气氛并且纯净气室自重小。本专利技术的目的通过以下方式实现，纯净气室的侧壁的至少一部分由一个或多个结构型芯板、尤其一个或多个蜂窝式型芯板形成，其分别具有两个盖板和布置在两个盖板之间的结构型芯、尤其蜂窝式型芯。在本专利技术中，结构型芯板应尤其理解为这种板形构件，其构造成三明治形状并且具有两个或多个盖板，在盖板之间布置结构型芯。对此，结构型芯可以是任意的、尤其轻质建筑结构。结构型芯例如可由蜂窝式型芯、波纹形或回形纹形状的材料、泡沫材料等构成。根据本专利技术的纯净气室是一种能够设定所需气氛的壳体。对此，壳体相对于其周围环境气体密封地构造。在壳体之内可进行以特殊气氛为前提条件的制造工艺和工序。对此使相应的制造设备、例如机器人或实验室装置布置在纯净气室之内。对气氛的要求可涉及其清洁程度、其湿气含量或其组分。由此例如可仅在惰性气体气氛下进行特定的工艺。其他的参数、例如温度或箱体压力同样可设定。因此为纯净气室分配相应的气体处理单元。因此，纯净气室可以是具有六边形底面和相对于周围环境密封的、通过侧壁包围的内部空间的室，其具有至少一个循环管路，通过循环管路从纯净气室提取气体，使其通过至少一个气体处理单元引导，然后再次输送给纯净气室。箱也可构造成具有层流系统。相比于实施成实心的具有类似的机械负荷能力的侧壁，由结构型芯板构成的侧壁具有明显更小的重量。由于结构型芯板具有两个间隔布置的盖板(盖板经由结构型芯彼此连接)的构造实现了侧壁的非常高的负荷能力。结构型芯板具有高的抗弯强度，从而由此形成的侧壁在负荷时没有或仅很小地弹性弯曲。结构型芯板由于两侧布置的盖板相应于所使用盖板的渗透特性沿其面法线的方向气体密封。盖板和结构型芯由铝构成的蜂窝式铝质型芯板尤其适合制成纯净气室的气体密封的侧壁。结构型芯防止气体在结构型芯板之内横向于其面法线流动。由此确保没有气体能例如经由棱边或经由错位地引入盖板中的缺口而到达纯净气室或从纯净气室流出。结构型芯板作为整体由于其构造而不会轻松被弯曲，因为在此外部盖板会伸展并且内部盖板会收缩，这导致相应的偏斜。因此，根据本专利技术的变型方案可规定，沿着纯净气室的角部弯曲一盖板并且使另一盖板与结构型芯分离，或使其中一盖板朝向另一盖板的方向成型到结构型芯中并且在成型区域中弯曲结构型芯板。通过沿着纯净气室的角部弯曲一盖板并且使另一盖板与结构型芯分离，能够由此通过结构型芯板形成角部。优选地，之后位于角部的外角的一侧上的盖板与结构型芯分离直至对置的盖板。然后内部盖板沿着外部盖板和结构型芯中的空隙弯曲成纯净气室的角部的期望角度。对此，该空隙扩开。可替代地，可规定，之后位于角部的内角处的盖板和位于其下的结构型芯沿着之后的角部分离直至对置的盖板。在此会形成空隙，使得空隙从未完全分离的盖板朝向完全分离的盖板呈楔形地扩开。对此，所需的空隙张角由需要形成的角部的角度预先规定。然后，未完全分离的盖板沿着空隙弯曲，使得未完全分离的盖板形成外角。在此空隙再次被收缩。有利的是，通过相应存在的、未完全分离的盖板使得结构型芯板即使在构造的角部的区域中也是气体密封的。在此，结构型芯防止气体从空隙开始在结构型芯板之内传播。如果规定，一盖板朝向另一盖板的方向成型到结构型芯中并且结构型芯板在成型区域中弯曲，此时可以特别简单的方式实施气体密封的角部设计。根据本专利技术优选的设计方案可规定，沿着纯净气室的角部形成的空隙在分离的盖板中并且在结构型芯中通过角部遮盖部覆盖；和/或角部遮盖部借助两个彼此成角度布置的侧边分别在空隙的一侧上与结构型芯板密封地连接，尤其密封地粘结。角部遮盖部提高了侧壁在角部区域中的稳定性。角部遮盖部确定角部的角度并且防止在侧壁受负荷时例如由于未分离的盖板掰动而改变该角度。此外角部遮盖部引起侧壁沿着角部的附加密封。可通过以下方式保护侧壁的棱边以防机械损坏，即，在结构型芯板的棱边上在侧壁的上端部和下端部上放置、尤其套接构型轨道并且与结构型芯板密封地连接、尤其密封地粘结。构型轨道实现了侧壁在纯净气室的底部和罩盖处的密封闭合部。为了能够将其他构件简单而可靠地固定在结构型芯板上可规定，在结构型芯板中布置至少一个螺钉容纳部，并且螺钉容纳部穿过结构型芯板的两个盖板中的一个以及布置在盖板之间的结构型芯的至少一部分，和/或螺钉容纳部穿过两个盖板和结构型芯并且在引入固定元件时至少在一侧密封。如果螺钉容纳部仅贯穿两个盖板中的其中一个，结构型芯板在螺钉容纳部的区域中也是气体密封的。如果例如在螺钉连接的机械负荷提高时需要使螺钉容纳部贯穿两个盖板，则可通过密封部防止由于螺钉容纳部使气体从外部进入纯净气室或从纯净气室到达周围环境。可通过以下方式实现两个相邻的结构型芯板的气体密封地连接，即本文档来自技高网...

【技术保护点】
纯净气室(10)，所述纯净气室具有相对于周围环境密封的由侧壁(30、30.1、30.2、30.3、30.4、30.5、30.6、30.7、30.8、30.9、30.10)包围的内部空间，其特征在于，所述纯净气室(10)的侧壁(30、30.1、30.2、30.3、30.4、30.5、30.6、30.7、30.8、30.9、30.10)的至少一部分由一个或多个结构型芯板(12)、尤其一个或多个蜂窝式型芯板形成，结构型芯板分别具有两个盖板(12.1、12.2)和布置在两个盖板之间的结构型芯(12.3)、尤其蜂窝式型芯。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.03.24 DE 102015104376.91.纯净气室(10)，所述纯净气室具有相对于周围环境密封的由侧壁(30、30.1、30.2、30.3、30.4、30.5、30.6、30.7、30.8、30.9、30.10)包围的内部空间，其特征在于，所述纯净气室(10)的侧壁(30、30.1、30.2、30.3、30.4、30.5、30.6、30.7、30.8、30.9、30.10)的至少一部分由一个或多个结构型芯板(12)、尤其一个或多个蜂窝式型芯板形成，结构型芯板分别具有两个盖板(12.1、12.2)和布置在两个盖板之间的结构型芯(12.3)、尤其蜂窝式型芯。2.根据权利要求1所述的纯净气室(10)，其特征在于，沿着所述纯净气室(10)的角部(11、11.1、11.2、11.3、11.4、11.5、11.6)弯曲一盖板(12.1、12.2)并且使另一盖板(12.2)与结构型芯(12.3)分离，或使其中一盖板(12.1、12.2)朝向另一盖板(12.1、12.2)的方向成型到所述结构型芯(12.3)中，并且在成型区域中弯曲所述结构型芯板(12.3)。3.根据权利要求2所述的纯净气室(10)，其特征在于，沿着所述纯净气室(10)的角部(11、11.1、11.2、11.3、11.4、11.5、11.6)形成的空隙(32)在分离的盖板(12.1、12.2)中并且在所述结构型芯(12.3)中通过角部遮盖部(33)覆盖，和/或所述角部遮盖部(33)借助两个彼此成角度布置的侧边(33.1、33.2)分别在所述空隙(32)的一侧上与所述结构型芯板(12)密封地连接，尤其密封地粘结。4.根据权利要求1至3中任一项所述的纯净气室(10)，其特征在于，在所述结构型芯板的棱边上在侧壁(30、30.1、30.2、30.3、30.4、30.5、30.6、30.7、30.8、30.9、30.10)的上端部和下端部上放置、尤其套接构型轨道(62)并且与所述结构型芯板(12)密封地连接、尤其密封地粘结。5.根据权利要求1至4中任一项所述的纯净气室(10)，其特征在于，在所述结构型芯板(12)中布置至少一个螺钉容纳部(34)，所述螺钉容纳部(34)穿过所述结构型芯板(12)的两个盖板(12.1、12.2)中的一个以及布置在盖板(12.1、12.2)之间的结构型芯(12.3)的至少一部分，和/或所述螺钉容纳部(34)穿过两个盖板(12.1、12.2)和结构型芯(12.3)并且在引入固定元件时至少在一侧密封。6.根据权利要求1至5中任一项所述的纯净气室(10)，其特征在于，两个彼此邻接的结构型芯板(12)通过至少一个连接轨道(60)连接，所述连接轨道(60)具有贴靠区段(60.1)并且所述贴靠区段(60)与邻接的结构型芯板(12)的各一个盖板(12.1、12.2)密封地连接、尤其密封地粘结。7.根据权利要求6所述的纯净气室(10)，其特征在于，所述连接轨道(6...

【专利技术属性】
技术研发人员：G·施普赖策，M·克普克，T·布尔特曼，
申请(专利权)人：布劳恩惰性气体系统有限公司，布劳恩惰性气体系统上海有限公司，
类型：发明
国别省市：德国,DE