The purpose of the present work is to present a thin film bulk acoustic resonator and filter based on piezoelectric single crystal material for bonding purposes. Specifically, thin film bulk acoustic resonator provided by the utility model comprises a substrate and forming an air gap, on the substrate covering the piezoelectric sandwich structure of the air gap at the top of the piezoelectric sandwich structure includes a first electrode, sequentially stacked piezoelectric layer, a second electrode; wherein the the piezoelectric layer is a piezoelectric crystal, between the first surface of the first electrode between the piezoelectric crystal and the substrate, the second surface of the second electrode is positioned on the piezoelectric crystal. By adopting the scheme of the utility model, the defect of the piezoelectric single crystal material can effectively avoid the existing defects and increase the flexibility of the device design, because the performance of the piezoelectric single crystal material is independent of the electrode material and shape.
【技术实现步骤摘要】
一种薄膜体声波谐振器及滤波器
本技术涉及一种薄膜体声波谐振器,特别是涉及一种包括键合的压电单晶材料的薄膜体声波谐振器及其滤波器。
技术介绍
随着无线通讯应用的发展,人们对于数据传输速度的要求越来越高。在移动通信领域,第一代是模拟技术,第二代实现了数字化语音通信,第三代(3G)以多媒体通信为特征,第四代(4G)将通信速率提高到1Gbps、时延减小到10ms,第五代(5G)是4G之后的新一代移动通信技术,虽然5G的技术规范与标准还没有完全明确,但与3G、4G相比,其网络传输速率和网络容量将大幅提升。如果说从1G到4G主要解决的是人与人之间的沟通,5G将解决人与人之外的人与物、物与物之间的沟通,即万物互联,实现“信息随心至,万物触手及”的愿景。与数据率上升相对应的是频谱资源的高利用率以及通讯协议的复杂化。由于频谱有限,为了满足数据率的需求,必须充分利用频谱;同时为了满足数据率的需求,从4G开始还使用了载波聚合技术,使得一台设备可以同时利用不同的载波频谱传输数据。另一方面,为了在有限的带宽内支持足够的数据传输率,通信协议变得越来越复杂,因此对射频系统的各种性能也提出了严格的需求。在射频前端模块中,射频滤波器起着至关重要的作用。它可以将带外干扰和噪声滤除以满足射频系统和通讯协议对于信噪比的需求。随着通信协议越来越复杂,对频带内外的要求也越来越高,使得滤波器的设计越来越有挑战。另外,随着手机需要支持的频带数目不断上升,每一款手机中需要用到的滤波器数量也在不断上升。目前射频滤波器最主流的实现方式是声表面波滤波器和基于薄膜体声波谐振器技术的滤波器。声表面波滤波器由于其自身 ...
【技术保护点】
一种薄膜体声波谐振器,包括基片及形成在所述基片上的空气隙、覆盖在所述空气隙上方的压电三明治结构,所述压电三明治结构包括依次堆叠的第一电极、压电层、第二电极;其中,所述压电层为压电单晶,所述第一电极介于所述压电单晶的第一表面与所述基片之间,所述第二电极位于所述压电单晶的第二表面。
【技术特征摘要】
1.一种薄膜体声波谐振器,包括基片及形成在所述基片上的空气隙、覆盖在所述空气隙上方的压电三明治结构,所述压电三明治结构包括依次堆叠的第一电极、压电层、第二电极;其中,所述压电层为压电单晶,所述第一电极介于所述压电单晶的第一表面与所述基片之间,所述第二电极位于所述压电单晶的第二表面。2.根据权利要求1所述的薄膜体声波谐振器,其特征在于:所述压电单晶与所述基片之间还包括键合层。...
【专利技术属性】
技术研发人员:张树民,王国浩,陈海龙,
申请(专利权)人:杭州左蓝微电子技术有限公司,
类型:新型
国别省市:浙江,33
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