The invention relates to a chemical sensor, a manufacturing method of a chemical sensor and a chemical substance detecting device. The chemical sensor includes a substrate, which is formed with at least one light detecting portion in the first plane; and a lens layer stacked on the substrate and having a light transmittance, and the surface on the opposite side of the substrate is formed on the lens structure, the lens layer has a lens shape will remain. Produced in the concave part of the object to be detected light into to the light detecting portion wherein the lens structure on the substrate side, and has a first direction perpendicular to the first plane and the light detecting protrusion relative concave and substrate on the opposite side and along the the first direction and the light detecting portion relative to the convex part.
【技术实现步骤摘要】
化学传感器、化学传感器的制造方法和化学物质检测装置本申请是申请日为2013年2月1日、专利技术名称为“化学传感器、化学传感器的制造方法和化学物质检测装置”的申请号为201380013161.8的专利申请的分案申请。
本技术涉及一种利用从检测对象物发射的光来检测化学物质的化学传感器、化学传感器的制造方法和化学物质检测装置。
技术介绍
已经研究了利用由于化学结合引起的发射光来检测化学物质的化学传感器。具体地,使与将要检测的靶材料特异性结合的示踪材料固定在传感器上,并将样品供给到传感器。因此,包含在样品中的靶材料与示踪材料结合。例如,如果使用可以引入包括靶材料和示踪材料的结合体中的荧光标记来使结合体发射光,那么光电转换元件可以检测发射光。通过在传感器上固定多种示踪材料,还可以识别包含在样品中的靶材料的种类。为了通过利用这种化学传感器高灵敏度和高精度地进行检测,需要将由于靶材料和示踪材料的结合引起的发射光有效地引入光电转换元件中。例如,专利文献1公开了一种用于检测有机分子的半导体装置,其中固态成像元件与具有其中配置有有机分子探针的区域的硅基板集成一体。该装置具有其中固态成像元件检测由于配置在有机分子探针配置区域中的有机分子探针和靶材料的结合引起的荧光的构造。另一方面,专利文献2公开了一种生物聚合物分析芯片,其中片上透镜安装在两个位置之间,每个位置都包括双栅晶体管(光电转换元件)和示踪材料。该芯片具有其中从示踪材料和靶材料的结合体产生的荧光由片上透镜收集并且双栅晶体管检测收集的光的构造。引用文献列表专利文献专利文献1:日本专利申请特开No.2002-202303专利 ...
【技术保护点】
一种化学传感器,包括:基板,其在第一平面上形成有至少一个光检测部;以及透镜层,其层叠在所述基板上并具有光透过性,且在所述基板相反侧的表面上形成有透镜结构,所述透镜层具有将保持在凹部的检测对象物所产生的光导入至所述光检测部的透镜形状,其中,所述透镜结构在基板侧突出,且具有沿垂直于所述第一平面的第一方向与所述光检测部相对的凹部和在所述基板相反侧突出并沿所述第一方向不与所述光检测部相对的凸部。
【技术特征摘要】
2012.03.19 JP 2012-0628551.一种化学传感器,包括:基板,其在第一平面上形成有至少一个光检测部;以及透镜层,其层叠在所述基板上并具有光透过性,且在所述基板相反侧的表面上形成有透镜结构,所述透镜层具有将保持在凹部的检测对象物所产生的光导入至所述光检测部的透镜形状,其中,所述透镜结构在基板侧突出,且具有沿垂直于所述第一平面的第一方向与所述光检测部相对的凹部和在所述基板相反侧突出并沿所述第一方向不与所述光检测部相对的凸部。2.根据权利要求1所述的化学传感器,其中所述透镜层对照射到所述化学传感器上的照明光的波长区域具有遮挡性。3.根据权利要求1或2所述的化学传感器,还包括层叠在所述基板和所述透镜层之间并对照射到所述化学传感器上的照明光的波长区域具有遮挡性的分光滤波层。4.根据权利要求3所述的化学传感器,其中所述透镜层具有第一折射率并且所述分光滤波层具有比第一折射率大的第二折射率。5.根据权利要求1至4任一项所述的化学传感器,还包括层叠在所述透镜层上并对含有检测对象物的溶液具有排液性的保护层。6.根据权利要求1至4任一项所述的化学传感器,其中所述透镜层的基板相反侧的表面对含有检测对象物的溶液具有排...
【专利技术属性】
技术研发人员:茂木英昭,松泽伸行,前田兼作,守屋雄介,
申请(专利权)人:索尼公司,
类型:发明
国别省市:日本,JP
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