偏角误差补偿的电感传感器校准方法与装置属于精密测量技术领域。其校准方法与装置以双频激光干涉仪作为运动基准，超声波电机作为驱动元件，滚珠导轨作为导向元件，直线光栅尺作为反馈元件进行大行程、精定位。利用四个电涡流传感器补偿位移传递机构运动的俯仰与偏航误差；本发明专利技术可以有效解决位移传感器校准装置行程与精度之间的矛盾，实现大行程、高精度电感位移传感器的动静态校准。
Calibration method and device of inductance sensor based on deflection error compensation
The method and device for calibrating inductance sensor with deviation angle compensation belong to the field of precision measurement technology. The calibration method and device uses dual frequency laser interferometer as the motion reference, ultrasonic motor as the driving element, ball guide as the guiding element, and linear grating ruler as the feedback element for the large stroke and fine positioning. Using four eddy current sensors to compensate the pitch and yaw errors of the displacement transfer mechanism, the invention can effectively solve the contradiction between the stroke and the accuracy of the displacement sensor calibration device, and realize the dynamic and static calibration of the large displacement and high precision inductance displacement sensor.
【技术实现步骤摘要】
偏角误差补偿的电感传感器校准方法与装置
本专利技术属于精密测量
，主要涉及一种偏角误差补偿的电感传感器校准方法与装置。
技术介绍
目前，我国大型高速回转装备没有超精密测量手段，装配精度无法保证，装配效率低下，发动机振动噪声等，这些都是制约我国军事工业和国民经济发展的重大难题。大型高速回转装备主要指各类大型高端燃气涡轮发动机，主要包括航空发动机、舰船用燃气轮机和高性能电站燃机。目前，航空发动机行业已成为世界航空强国的军事工业和国民经济的支柱产业。航空发动机在追求高性能的前提下，还要追求产品的高质量、高可靠性和长工作寿命，将两个都十分困难而又相互矛盾的目标兼顾起来，且同时得到提高，是十分困难的；此外航空发动机工作于极端环境，关键零部件都是在高温、高压、高负载力下工作，因此航空发动机的设计和制造的难度进一步加大。发动机振动是影响飞机安全的一个重要因素，也是反应发动机性能的一项重要指标。发动机涡轮部件转速高、质量大，是发动机的一个主要振源。为了降低此影响，除了在发动机动平衡测试过程中加以消除，还必须严格控制其装配过程，因为发动机装配是动平衡的前一步骤，由装配体形位误差精度低导致振动在高速运转时会放大100至1000倍，装配时消除同心度/同轴度造成的偏摆可以很大程度上减小动平衡的压力。所以，作为提升航空发动机性能的关键技术，航空发动机装配过程中同心度/同轴度乃至圆柱度的精密测量越来越受到重视。传感器作为航空发动机动静子表面轮廓信息的提取装置在同心度/同轴度乃至圆柱度的精密测量就显得尤为重要，位移传感器的机械系统和电路系统所带来的误差是限制传感器精度的重要因素，为了抑制或补偿这些误差，需要对位移传感器进行校准处理，使其能够溯源到更高精度的基准上。要实现对高精度位移传感器的校准，需要设计出一台具有更高精度的位移传感器校准系统。各种位移传感器之间的行程也有较大差异，有的位移传感器行程可以达到几十毫米甚至几米，有的则只能达到几微米的行程。因此，需使校准系统具有大行程、高精度的特点才能满足纳米传感器的校准需求。然而行程和精度本身就是矛盾的，这也增加校准系统的设计难度，也是目前迫切需要大行程、高精度位移传感器校准系统的原因。中国科学院长春光学精密机械与物理研究所提出一种标定平板电容位移传感器的装置(平板电容位移传感器标定装置。公开号：CN104048588A)。该装置采用单轴激光干涉仪作为位移基准，传感器被测面安装在导向机构前端，导向机构采用过约束的对称平行四边形机构，平板电容位移传感器安装在传感器支撑座中间，支撑座安装在微位移调整机构两侧，在驱动器的左端安装有驱动器推杆，该驱动器推杆顶推微位移调整机构的导向机构做单自由度直线运动，进而实现对平板电容位移传感器的标定。该装置存在的问题在于：只限于对平板电容位移传感器进行标定，且标定行程较小。常州市计量测试技术研究所提出了一种用于直线位移传感器校准的装置(直线位移传感器自动化校准装置。公开号：CN103630099A)。该装置主要包括一基座，双直线导轨、光栅尺、伺服电机、垂直升降装置固定在基座上；滚轴丝杆通过联轴器与伺服电机连接；水平调整装置、通用夹具、锁紧螺母彼此卡扣并与垂直升降装置连接；滑动式激光反射镜支撑架、滑动式激光干涉镜支撑架、滑动式双频激光干涉仪支撑架固定在直线导轨上，其中固定拉杆、激光反射镜、光栅尺读数传感器固定在滑动式反射镜支撑架上，激光干涉镜固定在滑动式干涉镜支撑架，双频激光干涉仪固定在滑动式双频激光干涉仪支撑架上，可以实现对拉杆式、拉绳式等多种类型直线位移传感器的自动化检定与校准。该装置存在的问题在于：没有兼顾行程和精度指标，精度较低，无法实现高精度位移传感器校准。德国联邦物理技术院(PTB)与Physik-Instrumente公司合作，研制出一种用于接触式探针位移传感器动态性能校准的新型运动装置，该探针位移传感器可以用到形貌测量、表面轮廓测量及坐标测量中。该装置具有尺寸小，集成度高的特点，系统采用压电陶瓷管来产生运动，并由一个微型光纤干涉仪实时测量，将测量结果反馈到DSP处理器实现闭环控制，因此，该校准平台可以溯源到国家长度标准(RongLiang,OttoJusko,FrankLudicke,MichaelNeugebauer.Anovelpiezovibrationplatformforprobedynamicperformancecalibration[J].MeasurementScienceAndTechnology,Meas.Sci.Technol.12(2001)1509–1514)。该装置校准行程小，无法实现对大行程、高精度的位移传感器进行校准。
技术实现思路
针对上述现有技术存在的不足，提出一种偏角误差补偿的电感传感器校准方法与装置，以解决现有位移传感器校准装置行程与精度之间的矛盾，实现大行程、高精度电感位移传感器的动静态校准。本专利技术的目的是这样实现的：一种偏角误差补偿的电感传感器校准方法与装置，该方法与装置可以校准电感位移传感器的线性度；其特征主要包括被校准位移传感器、位移传递机构和位移基准仪器三部分，所述被校准位移传感器为电感位移传感器，电感位移传感器采用传感器夹持臂进行夹持固定，调整电感位移传感器的位置，保证电感位移传感器的测针运动轴线与双频激光干涉仪的测量光束所在光轴共线，传感器支座安装在基台上，传感器夹持臂固定在传感器支座的侧面；所述位移传递机构采用超声波电机直接驱动滚珠导轨方式，位移传递机构由滚珠导轨、超声波电机、直线光栅尺、直线光栅尺读数头和校准平台组成，所述滚珠导轨的滚珠导轨底座安装在基台上，保证滚珠导轨的运动轴线与双频激光干涉仪的测量光束平行，所述超声波电机的超声波电机动子紧贴滚珠导轨的滚珠导轨滑块，保证超声波电机的摩擦力作用滚珠导轨上时，滚珠导轨能沿运动轴线运动，超声波电机支座安装在基台上，超声波电机的超声波电机定子安装在超声波电机支座上，所述直线光栅尺贴在滚珠导轨的滚珠导轨滑块外侧面，保证直线光栅尺与滚珠导轨的运动轴线平行，光栅尺支撑板安装在基台上，直线光栅尺读数头安装在光栅尺支撑板上，并位于滚珠导轨的滚珠导轨滑块的外侧，保证直线光栅尺读数头与直线光栅尺等高且平行，所述校准平台由转接板、传感器校准板和测量反射镜组成，转接板与滚珠导轨固连，测量反射镜位于双频激光干涉仪的测量光路上，并安装在转接板上，传感器校准板安装在转接板上的另一端，保证传感器校准板上的对准刻线在双频激光干涉仪的测量光束所在的光轴上；控制位移传递机构进行回零运动，使其回到校准装置的初始零点；控制位移传递机构进行压表运动，使其运动到电感位移传感器校准起始点；所述位移基准仪器采用双频激光干涉仪，双频激光干涉仪的测量光束可以提供整个装置的位移基准，干涉仪支座固装在基台上，双频激光干涉仪固装在干涉仪支座上；电涡流传感器用来测量位移传递机构运动过程中所产生的偏转角和俯仰角，所述电涡流传感器两两分布布置在滚珠导轨的滚珠导轨滑块两侧，其中电涡流传感器一与电涡流传感器二安装在基台上，保证两电涡流传感器的探头等高，且与滚珠导轨的滚珠导轨滑块侧面平行，电涡流传感器三与电涡流传感器四固定在滚珠导轨的滚珠导轨滑块另一侧面上，保证两电涡流本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种偏角误差补偿的电感传感器校准方法与装置，其特征在于：该校准装置主要包括被校准位移传感器、位移传递机构和位移基准仪器三部分，所述被校准位移传感器为电感位移传感器(3)，电感位移传感器(3)采用传感器夹持臂(2)进行夹持固定，调整电感位移传感器(3)的位置，保证电感位移传感器(3)的测针(3a)运动轴线与双频激光干涉仪(8)的测量光束(8a)所在光轴共线，传感器支座(1)安装在基台(10)上，传感器夹持臂(2)固定在传感器支座(1)的侧面；所述位移传递机构采用超声波电机(4)直接驱动滚珠导轨(15)方式，位移传递机构由滚珠导轨(15)、超声波电机(4)、直线光栅尺(13)、直线光栅尺读数头(12)和校准平台组成，所述滚珠导轨(15)的滚珠导轨底座(15a)安装在基台(10)上，保证滚珠导轨(15)的运动方向与双频激光干涉仪(8)的测量光束(8a)平行，所述超声波电机(4)的超声波电机动子(4a)紧贴滚珠导轨(15)的滚珠导轨滑块(15b)，保证超声波电机(4)的摩擦力作用滚珠导轨(15)上时，滚珠导轨(15)能沿运动轴线运动，超声波电机支座(4c)安装在基台(10)上，超声波电机(4)的超声波电机定子(4b)安装在超声波电机支座(4c)上，所述直线光栅尺(13)贴在滚珠导轨(15)的滚珠导轨滑块(15b)外侧面，保证直线光栅尺(13)与滚珠导轨(15)的运动方向平行，光栅尺支撑板(11)安装在基台(10)上，直线光栅尺读数头(12)安装在光栅尺支撑板(11)上，并位于滚珠导轨(15)的滚珠导轨滑块(15b)的外侧，保证直线光栅尺读数头(12)与直线光栅尺(13)等高且平行，所述校准平台由转接板(6)、传感器校准板(5)和测量反射镜(7)组成，转接板(6)与滚珠导轨(15)固连，测量反射镜(7)位于双频激光干涉仪(8)的测量光路上，并安装在转接板(6)上，传感器校准板(5)安装在转接板(6)上的另一端，保证传感器校准板(5)上的对准刻线(5a)在双频激光干涉仪(8)的测量光束(8a)所在的光轴上；控制位移传递机构进行回零运动，使其回到校准装置的初始零点；控制位移传递机构进行压表运动，使其运动到电感位移传感器(3)校准起始点；所述位移基准仪器采用双频激光干涉仪(8)，双频激光干涉仪(8)的测量光束(8a)可以提供整个装置的位移基准，干涉仪支座(9)固装在基台(10)上，双频激光干涉仪(8)固装在干涉仪支座(9)上；电涡流传感器(14)用来测量位移传递机构运动过程中所产生的偏转角和俯仰角，所述电涡流传感器(14)两两分布布置在滚珠导轨(15)的滚珠导轨滑块(15b)两侧，其中电涡流传感器一(14a)与电涡流传感器二(14b)安装在基台(10)上，保证两电涡流传感器的探头等高，且与滚珠导轨(15)的滚珠导轨滑块(15b)侧面平行，电涡流传感器三(14c)与电涡流传感器四(14d)固定在滚珠导轨(15)的滚珠导轨滑块(15b)另一侧面上，保证两电涡流传感器探头等高，且与被测金属板(14e)平行，所述被测金属板(14e)固定在基台(10)上；控制位移传递机构进行校准运动，在电感位移传感器(3)校准行程内，等间隔选取10个点，当位移传递机构运动到选取测量点时，同步采集双频激光干涉仪(8)位移测量值s1'、电涡流传感器一(14a)测得位移值s2'、电涡流传感器二(14b)测得位移值s3'、电涡流传感器三(14c)测得位移值s4'、电涡流传感器四(14d)测得位移值s5'与电感位移传感器(3)位移值s；利用电涡流传感器一(14a)测得位移值s2'、电涡流传感器二(14b)测得位移值s3'、电涡流传感器三(14c)测得位移值s4'、电涡流传感器四(14d)测得位移值s5'对双频激光干涉仪(8)位移测量值s1'进行补偿，得到双频激光干涉仪(8)补偿后位移测量值s'；将采集到的数据进行线性拟合得到函数yi＝k×si+b，其中，i＝1，2，…，10，yi为拟合后电感位移传感器(3)位移测量值，k为拟合系数，b为拟合截距，si为拟合前电感位移传感器(3)位移测量值，则校准行程内最大非线性误差max|yi‑si'|与全量程的比值为线性度，其中，i＝1，2，…，10，si'为校准行程内选取测量点处双频激光干涉仪(8)补偿后位移测量值。...
【技术特征摘要】
1.一种偏角误差补偿的电感传感器校准方法与装置，其特征在于：该校准装置主要包括被校准位移传感器、位移传递机构和位移基准仪器三部分，所述被校准位移传感器为电感位移传感器(3)，电感位移传感器(3)采用传感器夹持臂(2)进行夹持固定，调整电感位移传感器(3)的位置，保证电感位移传感器(3)的测针(3a)运动轴线与双频激光干涉仪(8)的测量光束(8a)所在光轴共线，传感器支座(1)安装在基台(10)上，传感器夹持臂(2)固定在传感器支座(1)的侧面；所述位移传递机构采用超声波电机(4)直接驱动滚珠导轨(15)方式，位移传递机构由滚珠导轨(15)、超声波电机(4)、直线光栅尺(13)、直线光栅尺读数头(12)和校准平台组成，所述滚珠导轨(15)的滚珠导轨底座(15a)安装在基台(10)上，保证滚珠导轨(15)的运动方向与双频激光干涉仪(8)的测量光束(8a)平行，所述超声波电机(4)的超声波电机动子(4a)紧贴滚珠导轨(15)的滚珠导轨滑块(15b)，保证超声波电机(4)的摩擦力作用滚珠导轨(15)上时，滚珠导轨(15)能沿运动轴线运动，超声波电机支座(4c)安装在基台(10)上，超声波电机(4)的超声波电机定子(4b)安装在超声波电机支座(4c)上，所述直线光栅尺(13)贴在滚珠导轨(15)的滚珠导轨滑块(15b)外侧面，保证直线光栅尺(13)与滚珠导轨(15)的运动方向平行，光栅尺支撑板(11)安装在基台(10)上，直线光栅尺读数头(12)安装在光栅尺支撑板(11)上，并位于滚珠导轨(15)的滚珠导轨滑块(15b)的外侧，保证直线光栅尺读数头(12)与直线光栅尺(13)等高且平行，所述校准平台由转接板(6)、传感器校准板(5)和测量反射镜(7)组成，转接板(6)与滚珠导轨(15)固连，测量反射镜(7)位于双频激光干涉仪(8)的测量光路上，并安装在转接板(6)上，传感器校准板(5)安装在转接板(6)上的另一端，保证传感器校准板(5)上的对准刻线(5a)在双频激光干涉仪(8)的测量光束(8a)所在的光轴上；控制位移传递机构进行回零运动，使其回到校准装置的初始零点；...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙传智，谭久彬，王雷，赵勃，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：黑龙江,23
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