一种氦质谱检漏仪的清氦系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种氦质谱检漏仪的清氦系统，包括分子泵、前级泵、质谱室、电磁阀、清氦电磁阀，质谱室连接分子泵上，分子泵的排气口安装真空规管，分子泵的排气口通过电磁阀连接前级泵，前级泵进气口端再连接电磁阀分别连接在分子泵的精检口、中检口，前级泵进口端的抽空管道处安装清氦电磁阀，清氦电磁阀另一端与公共管道破空电磁阀另一端通过气管连接低压氮气源。本实用新型专利技术利用氮气对氦气的清洗作用，清洗仪器中残留的氦气，保证氦质谱检漏仪的低本底、高灵敏度。

Helium cleaning system of helium mass spectrometer leak detector

The utility model discloses a cleaning system of a helium helium leak detector, including molecular pump, pump, Ms room, solenoid valve, solenoid valve clearance of helium, Ms chamber is connected with the molecular pump exhaust, molecular pump installed in the vacuum gauge, molecular pump exhaust port through the solenoid valve is connected with the former pump fine, check before the pump inlet end is connected with an electromagnetic valve are respectively connected to the molecular pump mouth, seized the port to the inlet pipeline pump to install solenoid valve before cleaning helium, helium solenoid valve and the other end of the Qing public pipeline out electromagnetic valve is connected with the other end of low pressure nitrogen gas source through the trachea. The utility model uses nitrogen to clean helium gas and clean helium gas in the instrument, so as to ensure the low background and high sensitivity of the helium mass spectrometer leak detector.

【技术实现步骤摘要】
一种氦质谱检漏仪的清氦系统
本技术涉及氦质谱检漏仪领域，具体是一种氦质谱检漏仪的清氦系统。
技术介绍
氦质谱检漏仪是一种常见的分析仪器，在电力行业、航天行业、核工业等方面有广泛运用，是真空检漏技术中应用最普遍的一种检漏仪器。氦质谱检漏仪使用氦气作为示踪气体，氦是单原子稀有气体分子，在空气中的含量极少（5.2ppm),无色、无味,常温下为气态的惰性气体,极不活泼,不能燃烧,也不助燃，化学性能稳定。在检测器件的密封性能时，遇到器件大漏时，有大量的氦气进入氦质谱检漏仪，短时间内仪器内部氦气难以清除，造成仪器的本底升高，仪器的检测灵敏度降低，影响仪器的再检测精度。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种氦质谱检漏仪的清氦系统，以弥补现有技术的缺陷。为了达到上述目的，本技术所采用的技术方案为：一种氦质谱检漏仪的清氦系统，其特征在于：包括质谱室、分子泵、前级泵、第一至第五电磁阀、清氦电磁阀、检漏口、气源口，所述质谱室的出气口通过管路与分子泵的进气口连接，分子泵的排气口通过管路与前级泵的进气口连接，第二电磁阀安装在分子泵、前级泵之间的管路上，第二电磁阀与前级泵进气口之间还通过两支旁路管路分别与第一电磁阀、清氦电磁阀的一端连接，第二电磁阀与分子泵排气口之间还通过旁路管路连接有真空规管，所述分子泵的中检口通过管路与第三电磁阀的一端连接，分子泵的精检口通过管路与第四电磁阀的一端连接，所述第一电磁阀的另一端通过公共管路分别与第三电磁阀、第四电磁阀的另一端连接，其中公共管路与第三电磁阀连接处还通过旁路管路与第五电磁阀的一端连接，所述检漏口通过旁路管路连接在公共管路与第四电磁阀连接处，所述检漏口向公共管路、第四电磁阀连接处的旁路管路上还连接有真空计，所述清氦电磁阀、第五电磁阀的另一端分别通过气管连接到气源口，气源口连接低压氮气源。所述的一种氦质谱检漏仪的清氦系统，其特征在于：所述低压氮气源压力范围是0~0.005Mpa。所述的一种氦质谱检漏仪的清氦系统，其特征在于：所述清氦电磁阀的流量范围是0.03×（1±10%)l/s。本技术的工作原理为：本技术在氦质谱检漏仪中增加清氦电磁阀，将清氦电磁阀另一端与第五电磁阀另一端通过气管连接到气源口，气源口连接低压氮气；实验表明在清除1ml氦气时，利用空气清除需要约6.5min，而利用氮气清洗需要约1.25min，利用氮气对氦气的优越清洗效果，清洗仪器中残留的氦气；仪器在检测大漏时，运用氮气清洗能及时的清除仪器中残留的氦气，保证氦质谱检漏仪的低本底、高灵敏度。本技术的优点是：本技术能够实现氦质谱检漏仪在检测大漏时，及时的清除仪器中残留的氦气，保证氦质谱检漏仪的低本底、高灵敏度。附图说明图1为本技术结构原理图。具体实施方式如图1所示，一种氦质谱检漏仪的清氦方法，包括质谱室3、分子泵2、前级泵1、第一至第六电磁阀6、7、8、9、10、清氦电磁阀11、检漏口12、气源口13，质谱室3的出气口通过管路与分子泵2的进气口连接，分子泵3的排气口通过管路与前级泵1的进气口连接，第二电磁阀7安装在分子泵3、前级泵1之间的管路上，第二电磁阀7与前级泵1进气口之间还分别通过一个旁路管路与第一电磁阀6、清氦电磁阀11的一端连接，第二电磁阀7与分子泵2排气口之间还通过旁路管路连接有真空规管4，分子泵2的中检口通过管路与第三电磁阀8的一端连接，分子泵2的精检口通过管路与第四电磁阀9的一端连接，第一电磁阀6的另一端通过公共管路分别与第三电磁阀8、第四电磁阀9的另一端连接，其中公共管路与第三电磁阀8连接处还通过旁路管路与第五电磁阀10的一端连接，检漏口12通过管路旁路连接在公共管路与第四电磁阀9连接处，检漏口12向公共管路、第四电磁阀9连接处的旁路管路上还连接有真空计5。清氦电磁阀11、第五电磁阀10的另一端分别通过气管连接到气源口13，气源口13连接低压氮气源。低压氮气源压力范围是0~0.005Mpa。清氦电磁阀的流量范围是0.03×（1±10%)l/s。仪器上电，前级泵1工作，第二电磁阀7打开，待真空规管4达到要求的压力时，分子泵2启动，分子泵2完成预定转速后，质谱室3中器件上电，仪器进入待机状态。在检漏口12连接被检工件，开始检漏。开启第一电磁阀6，待真空计5压力值达到1500Pa时，开启第二电磁阀7，这时可以完成对工件粗检，待真空计压力值5达到200Pa时，关闭第一电磁阀6，开启第三电磁阀8，这时可以完成对工件中检，待真空计5压力值达到40Pa时，关闭第三电磁阀8，开启第四电磁阀9，这时可以完成对工件精检。仪器在粗检、中检、精检检漏完成时，打开第五电磁阀10，向仪器的公共管道中注入氮气，待真空计5的压力至100KPa，关闭第五电磁阀10。仪器进行下次检漏，仪器在检测工件遇到大漏时，检漏完成时，关闭第二个电磁阀7、打开第五电磁阀10、第六电磁阀11，利用氮气清洗泵口管道与泵中残留氦气，打开第五电磁阀10后真空计5的压力至100KPa时，关闭第五电磁阀10保压3~5s,打开第一电磁阀6，清洗公共管道中的氦气。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种氦质谱检漏仪的清氦系统，其特征在于：包括质谱室、分子泵、前级泵、第一至第五电磁阀、清氦电磁阀、检漏口、气源口，所述质谱室的出气口通过管路与分子泵的进气口连接，分子泵的排气口通过管路与前级泵的进气口连接，第二电磁阀安装在分子泵、前级泵之间的管路上，第二电磁阀与前级泵进气口之间还通过两支旁路管路分别与第一电磁阀、清氦电磁阀的一端连接，第二电磁阀与分子泵排气口之间还通过旁路管路连接有真空规管，所述分子泵的中检口通过管路与第三电磁阀的一端连接，分子泵的精检口通过管路与第四电磁阀的一端连接，所述第一电磁阀的另一端通过公共管路分别与第三电磁阀、第四电磁阀的另一端连接，其中公共管路与第三电磁阀连接处还通过旁路管路与第五电磁阀的一端连接，所述检漏口通过旁路管路连接在公共管路与第四电磁阀连接处，所述检漏口向公共管路、第四电磁阀连接处的旁路管路上还连接有真空计，所述清氦电磁阀、第五电磁阀的另一端分别通过气管连接到气源口，气源口连接低压氮气源。

【技术特征摘要】
1.一种氦质谱检漏仪的清氦系统，其特征在于：包括质谱室、分子泵、前级泵、第一至第五电磁阀、清氦电磁阀、检漏口、气源口，所述质谱室的出气口通过管路与分子泵的进气口连接，分子泵的排气口通过管路与前级泵的进气口连接，第二电磁阀安装在分子泵、前级泵之间的管路上，第二电磁阀与前级泵进气口之间还通过两支旁路管路分别与第一电磁阀、清氦电磁阀的一端连接，第二电磁阀与分子泵排气口之间还通过旁路管路连接有真空规管，所述分子泵的中检口通过管路与第三电磁阀的一端连接，分子泵的精检口通过管路与第四电磁阀的一端连接，所述第一电磁阀的另一端通过公共管路分别与第...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱长平，
申请(专利权)人：安徽皖仪科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34