The utility model discloses a corrosion automatic cleaning tank cover, and is characterized in that includes a cleaning tank, the cleaning groove is provided with a left cover and the right cover plate, the left plate is provided with a first adjusting rod and the left cover plate is arranged vertically, the first rotation shaft is provided with the inner wall of the cleaning groove on the end of the first adjustment with the first rotating shaft connecting rod, and the other end of the left cover is fixedly connected, the right cover is provided with a right cover vertically arranged second adjusting rod second and a rotating shaft is arranged on the inner wall of the cleaning tank, one end of the adjusting rod second and second rotating shaft connection, and the other end is fixedly connected with the right cover. The cleaning tank is provided with a rotation of the first rotating device for rotating the first adjusting rod, second adjusting rod second rotating device can automatically open and close the cover effect.
【技术实现步骤摘要】
腐蚀清洗槽自动盖板
本技术属于腐蚀清洗槽自动盖板领域,更具体的说,它涉及腐蚀清洗槽自动盖板。
技术介绍
当前的芯片制造过程中,国产设备的腐蚀槽和清洗槽都是手动盖板,没办法配合全自动和半自动机械手的自动行程生产工艺要求,人工消耗大,人工操作不确定性因素高,人身安全系数低。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足,本技术的目的在于提供一种能够自动开合盖板的腐蚀清洗槽。为实现上述目的,本技术提供了如下技术方案:一种腐蚀清洗槽自动盖板,包括清洗槽,所述清洗槽上设有左盖板与右盖板,所述左盖板上设有与左盖板垂直设置的第一调节杆,所述清洗槽的内壁上设有第一转轴,所述第一调节杆的一端与第一转轴转动连接,另一端与左盖板固定连接,所述右盖板上设有与右盖板垂直设置的第二调节杆,所述清洗槽的内壁上设有第二转轴,所述第二调节杆的一端与第二转轴转动连接,另一端与右盖板固定连接,所述清洗槽上设有用于转动第一调节杆的第一转动装置,用于转动第二调节杆的第二转动装置。进一步设置为:所述第一转动装置包括第一气缸与第一转动杆,所述第一气缸与清洗槽的内壁固定连接,所述第一转动杆的一端与第一气缸转动连接,另一端与第一转轴转动连接,且第一转动杆与第一调节杆固定连接。进一步设置为:所述第二转动装置包括第二气缸与第二转动杆,所述第二气缸与清洗槽的内壁固定连接,所述第二转动杆的一端与第二气缸转动连接,另一端与第二转轴转动连接,且第二转动杆与第二调节杆固定连接。进一步设置为:所述第一气缸与第一转动杆连接的一端为第一调节端,第一气缸远离第一转动杆的一端为第一固定端,所述第二气缸与第二转动杆连接的一端为第二调节端,第二气缸 ...
【技术保护点】
一种腐蚀清洗槽自动盖板,其特征在于:包括清洗槽,所述清洗槽上设有左盖板与右盖板,所述左盖板上设有与左盖板垂直设置的第一调节杆,所述清洗槽的内壁上设有第一转轴,所述第一调节杆的一端与第一转轴转动连接,另一端与左盖板固定连接,所述右盖板上设有与右盖板垂直设置的第二调节杆,所述清洗槽的内壁上设有第二转轴,所述第二调节杆的一端与第二转轴转动连接,另一端与右盖板固定连接,所述清洗槽上设有用于转动第一调节杆的第一转动装置,用于转动第二调节杆的第二转动装置。
【技术特征摘要】
1.一种腐蚀清洗槽自动盖板,其特征在于:包括清洗槽,所述清洗槽上设有左盖板与右盖板,所述左盖板上设有与左盖板垂直设置的第一调节杆,所述清洗槽的内壁上设有第一转轴,所述第一调节杆的一端与第一转轴转动连接,另一端与左盖板固定连接,所述右盖板上设有与右盖板垂直设置的第二调节杆,所述清洗槽的内壁上设有第二转轴,所述第二调节杆的一端与第二转轴转动连接,另一端与右盖板固定连接,所述清洗槽上设有用于转动第一调节杆的第一转动装置,用于转动第二调节杆的第二转动装置。2.根据权利要求1所述的腐蚀清洗槽自动盖板,其特征在于:所述第一转动装置包括第一气缸与第一转动杆,所述第一气缸与清洗槽的内壁固定连接,所述第一转动杆的一端与第一气缸转动连接,另一端与第一转轴转动连接,且第一转动杆与第一调节杆固定连接。3.根据权利要求2所述的腐蚀清洗槽自动盖板,其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员:丁高生,
申请(专利权)人:上海提牛机电设备有限公司,
类型:新型
国别省市:上海,31
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