腐蚀清洗槽自动盖板制造技术

技术编号:16556879 阅读:66 留言:0更新日期:2017-11-14 16:34
本实用新型专利技术公开了腐蚀清洗槽自动盖板,其技术要点是:包括清洗槽,所述清洗槽上设有左盖板与右盖板,所述左盖板上设有与左盖板垂直设置的第一调节杆,所述清洗槽的内壁上设有第一转轴,所述第一调节杆的一端与第一转轴转动连接,另一端与左盖板固定连接,所述右盖板上设有与右盖板垂直设置的第二调节杆,所述清洗槽的内壁上设有第二转轴,所述第二调节杆的一端与第二转轴转动连接,另一端与右盖板固定连接,所述清洗槽上设有用于转动第一调节杆的第一转动装置,用于转动第二调节杆的第二转动装置,能够自动开合盖板的技术效果。

Automatic cover plate for corrosion cleaning tank

The utility model discloses a corrosion automatic cleaning tank cover, and is characterized in that includes a cleaning tank, the cleaning groove is provided with a left cover and the right cover plate, the left plate is provided with a first adjusting rod and the left cover plate is arranged vertically, the first rotation shaft is provided with the inner wall of the cleaning groove on the end of the first adjustment with the first rotating shaft connecting rod, and the other end of the left cover is fixedly connected, the right cover is provided with a right cover vertically arranged second adjusting rod second and a rotating shaft is arranged on the inner wall of the cleaning tank, one end of the adjusting rod second and second rotating shaft connection, and the other end is fixedly connected with the right cover. The cleaning tank is provided with a rotation of the first rotating device for rotating the first adjusting rod, second adjusting rod second rotating device can automatically open and close the cover effect.

【技术实现步骤摘要】
腐蚀清洗槽自动盖板
本技术属于腐蚀清洗槽自动盖板领域,更具体的说,它涉及腐蚀清洗槽自动盖板。
技术介绍
当前的芯片制造过程中,国产设备的腐蚀槽和清洗槽都是手动盖板,没办法配合全自动和半自动机械手的自动行程生产工艺要求,人工消耗大,人工操作不确定性因素高,人身安全系数低。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足,本技术的目的在于提供一种能够自动开合盖板的腐蚀清洗槽。为实现上述目的,本技术提供了如下技术方案:一种腐蚀清洗槽自动盖板,包括清洗槽,所述清洗槽上设有左盖板与右盖板,所述左盖板上设有与左盖板垂直设置的第一调节杆,所述清洗槽的内壁上设有第一转轴,所述第一调节杆的一端与第一转轴转动连接,另一端与左盖板固定连接,所述右盖板上设有与右盖板垂直设置的第二调节杆,所述清洗槽的内壁上设有第二转轴,所述第二调节杆的一端与第二转轴转动连接,另一端与右盖板固定连接,所述清洗槽上设有用于转动第一调节杆的第一转动装置,用于转动第二调节杆的第二转动装置。进一步设置为:所述第一转动装置包括第一气缸与第一转动杆,所述第一气缸与清洗槽的内壁固定连接,所述第一转动杆的一端与第一气缸转动连接,另一端与第一转轴转动连接,且第一转动杆与第一调节杆固定连接。进一步设置为:所述第二转动装置包括第二气缸与第二转动杆,所述第二气缸与清洗槽的内壁固定连接,所述第二转动杆的一端与第二气缸转动连接,另一端与第二转轴转动连接,且第二转动杆与第二调节杆固定连接。进一步设置为:所述第一气缸与第一转动杆连接的一端为第一调节端,第一气缸远离第一转动杆的一端为第一固定端,所述第二气缸与第二转动杆连接的一端为第二调节端,第二气缸远离第二转动杆的一端为第二固定端,所述第一调节端与第二调节端之间距离小于第一固定端与第二固定端之间的距离。进一步设置为:所述左盖板与右盖板闭合的时候,第一气缸与第一转动杆的夹角为150度。进一步设置为:所述左盖板与右盖板闭合的时候,第二气缸与第二转动杆的夹角为150度。本技术的有益效果是:在需要打开左盖板与右盖板的时候,第一气缸推动第一转动杆,第一转动杆在第一转轴上转动,能够带动第一调节杆,能够将左盖板打开,第二气缸推动第二转动杆,第二转动杆在第二转轴上转动,能够带动第二调节杆,能够将右盖板打开,在盖板与右盖板需要盖上的时候,第一气缸拉动第一转动杆,第一转动杆在第一转轴上转动,能够带动第一调节杆,能够将左盖板盖上,第二气缸拉动动第二转动杆,第二转动杆在第二转轴上转动,能够带动第二调节杆,能够将右盖板盖上,根据指令要求左盖板与右盖板实现自动开启和闭合,配合机械手的工作要求,自动盖板有效的配合槽内温度控制的要求,自动盖板有效控制了槽内液体的挥发。附图说明图1为本技术一种腐蚀清洗槽自动盖板的结构示意图一;图2为本技术一种腐蚀清洗槽自动盖板的结构示意图二;图3为本技术一种腐蚀清洗槽自动盖板的结构示意图三。图中:1、清洗槽;2、左盖板;3、右盖板;4、第一调节杆;5、第一转轴;6、第二调节杆;7、第二转轴;8、第一气缸;9、第一转动杆;10、第二气缸;11、第二转动杆;12、第一调节端;13、第一固定端;14、第二调节端;15、第二固定端。具体实施方式参照图1至图3所示,本案例实施的一种腐蚀清洗槽自动盖板,包括清洗槽1,所述清洗槽1上设有左盖板2与右盖板3,所述左盖板2上设有与左盖板2垂直设置的第一调节杆4,所述清洗槽1的内壁上设有第一转轴5,所述第一调节杆4的一端与第一转轴5转动连接,另一端与左盖板2固定连接,所述右盖板3上设有与右盖板3垂直设置的第二调节杆6,所述清洗槽1的内壁上设有第二转轴7,所述第二调节杆6的一端与第二转轴7转动连接,另一端与右盖板3固定连接,所述清洗槽1上设有用于转动第一调节杆4的第一转动装置,用于转动第二调节杆6的第二转动装置;所述第一转动装置包括第一气缸8与第一转动杆9,所述第一气缸8与清洗槽1的内壁固定连接,所述第一转动杆9的一端与第一气缸8转动连接,另一端与第一转轴5转动连接,且第一转动杆9与第一调节杆4固定连接,所述第二转动装置包括第二气缸10与第二转动杆11,所述第二气缸10与清洗槽1的内壁固定连接,所述第二转动杆11的一端与第二气缸10转动连接,另一端与第二转轴7转动连接,且第二转动杆11与第二调节杆6固定连接;所述第一气缸8与第一转动杆9连接的一端为第一调节端12,第一气缸8远离第一转动杆9的一端为第一固定端13,所述第二气缸10与第二转动杆11连接的一端为第二调节端14,第二气缸10远离第二转动杆11的一端为第二固定端15,所述第一调节端12与第二调节端14之间距离小于第一固定端13与第二固定端15之间的距离,所述左盖板2与右盖板3闭合的时候,第一气缸8与第一转动杆9的夹角为150度,所述左盖板2与右盖板3闭合的时候,第二气缸10与第二转动杆11的夹角为150度。在需要打开左盖板2与右盖板3的时候,第一气缸8推动第一转动杆9,第一转动杆9在第一转轴5上转动,能够带动第一调节杆4,能够将左盖板2打开,第二气缸10推动第二转动杆11,第二转动杆11在第二转轴7上转动,能够带动第二调节杆6,能够将右盖板3打开,在盖板与右盖板3需要盖上的时候,第一气缸8拉动第一转动杆9,第一转动杆9在第一转轴5上转动,能够带动第一调节杆4,能够将左盖板2盖上,第二气缸10拉动动第二转动杆11,第二转动杆11在第二转轴7上转动,能够带动第二调节杆6,能够将右盖板3盖上,根据指令要求左盖板2与右盖板3实现自动开启和闭合,配合机械手的工作要求,自动盖板有效的配合槽内温度控制的要求,自动盖板有效控制了槽内液体的挥发以上所述的实施例只是本技术的一种较佳的方案,并非对本技术作任何形式上的限制,在不超出权利要求所记载的技术方案的前提下还有其它的变体及改型。本文档来自技高网...
腐蚀清洗槽自动盖板

【技术保护点】
一种腐蚀清洗槽自动盖板,其特征在于:包括清洗槽,所述清洗槽上设有左盖板与右盖板,所述左盖板上设有与左盖板垂直设置的第一调节杆,所述清洗槽的内壁上设有第一转轴,所述第一调节杆的一端与第一转轴转动连接,另一端与左盖板固定连接,所述右盖板上设有与右盖板垂直设置的第二调节杆,所述清洗槽的内壁上设有第二转轴,所述第二调节杆的一端与第二转轴转动连接,另一端与右盖板固定连接,所述清洗槽上设有用于转动第一调节杆的第一转动装置,用于转动第二调节杆的第二转动装置。

【技术特征摘要】
1.一种腐蚀清洗槽自动盖板,其特征在于:包括清洗槽,所述清洗槽上设有左盖板与右盖板,所述左盖板上设有与左盖板垂直设置的第一调节杆,所述清洗槽的内壁上设有第一转轴,所述第一调节杆的一端与第一转轴转动连接,另一端与左盖板固定连接,所述右盖板上设有与右盖板垂直设置的第二调节杆,所述清洗槽的内壁上设有第二转轴,所述第二调节杆的一端与第二转轴转动连接,另一端与右盖板固定连接,所述清洗槽上设有用于转动第一调节杆的第一转动装置,用于转动第二调节杆的第二转动装置。2.根据权利要求1所述的腐蚀清洗槽自动盖板,其特征在于:所述第一转动装置包括第一气缸与第一转动杆,所述第一气缸与清洗槽的内壁固定连接,所述第一转动杆的一端与第一气缸转动连接,另一端与第一转轴转动连接,且第一转动杆与第一调节杆固定连接。3.根据权利要求2所述的腐蚀清洗槽自动盖板,其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员:丁高生
申请(专利权)人:上海提牛机电设备有限公司
类型:新型
国别省市:上海,31

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