在线取样装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种在线取样装置。该在线取样装置包括吹扫管路、进样管路、取样管路、尾气管路、保护容器以及取样容器，在线取样装置包括吹扫状态和取样状态，在吹扫状态时，吹扫管路通过依次相连的取样管路和保护容器与尾气管路相连通；在取样状态时，进样管路通过依次相连的取样管路和取样容器与尾气管路相连通。通过在吹扫状态时对取样管路进行吹扫，并在管道吹扫完成后将保护容器替换为取样容器，进一步对取样容器进行吹扫，以将取样管道和取样容器中的杂质或水气等吹扫出去，为在取样状态下利用进样管路、取样管路以及取样容器对待取样品进行取样，排除了杂质污染和水气等危险因素，进而实现了对样品的安全、准确取样。

On line sampling device

The utility model provides an on-line sampling device. The sampling device includes a purge pipe, inlet pipe, pipeline, gas pipeline protection, sampling container and sampling container, online sampling device includes a purge state and sampling state, in the purge state, purging pipeline is communicated through the sampling pipes and containers and gas pipeline protection connected in the sampling state; and the injection pipe connected by sampling pipeline and is communicated with the exhaust pipe and sampling container. Based on the sampling line in the state of purge purge, purge and in the pipeline after the completion of protective container replacement for the sample container, further sampling container purge to pipeline sampling and sampling container of water and other impurities or blowing out, as in the sampling state using the injection pipe, the sampling tube and sampling container to sample sampling, eliminate impurity pollution and water and other risk factors, so as to realize the safe and accurate sampling of samples.

【技术实现步骤摘要】
在线取样装置
本技术涉及在线取样设备领域，具体而言，涉及一种在线取样装置。
技术介绍
六氯二硅烷(Si2Cl6)是一种高效的脱氧剂，用作无定形硅薄膜、光化学纤维原料以及硅氧烷等的优良原料，在半导体、光电材料等领域有着广泛的应用前景和实际价值。六氯二硅烷最重要的用途是制造氮硅薄膜，相较于传统的二氯二氢硅、硅烷气沉积法制氮硅薄膜，六氯二硅烷气相沉积法的沉积温度、沉积压力低、效率高且得到薄膜的密度、绝缘性、抗腐蚀性、兼容性皆更优。六氯二硅烷遇水易发生水解反应，生产的水解物极易燃烧，同时半导体、光电材料用六氯二硅烷的纯度要求相对高(金属杂质总量100ng/g以下)，因此必须在全封闭的系统中进行取样，才能保证取样过程的安全以及使所取样品准确反映六氯二硅烷的质量水平。此外，密闭取样系统管路内部存在化学微污染以及颗粒杂质污染等潜在污染源，因此需要提供一种新的在线取样装置，以提高如六氯二硅烷之类的样品的取样的安全性和准确性。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种在线取样装置，保证样品高纯不被沾污以及取样安全、环保。为了实现上述目的，根据本技术的一个方面，提供了一种在线取样装置，该在线取样装置包括：吹扫管路、进样管路、取样管路、尾气管路、保护容器以及取样容器，在线取样装置包括吹扫状态和取样状态，在吹扫状态时，吹扫管路通过依次相连的取样管路和保护容器与尾气管路相连通；在取样状态时，进样管路通过依次相连的取样管路和取样容器与尾气管路相连通。进一步地，吹扫管路沿吹扫气体流动方向依次设置有第一吹扫阀门、第二吹扫阀门和第三吹扫阀门。进一步地，吹扫管路还包括吹扫止回阀，吹扫止回阀设置在第二吹扫阀门和第三吹扫阀门之间。进一步地，述吹扫管路还包括设置在第三吹扫阀门下游的测压装置。进一步地，尾气管路沿尾气的流动方向依次设置有第一尾气阀门、第二尾气阀门和第三尾气阀门。进一步地，尾气管路还包括设置在第一尾气阀门和第二尾气阀门之间的尾气止回阀。进一步地，进样管路包括：沿样品流动方向依次设置的第一进样阀门、第二进样阀门以及第三进样阀门。进一步地，在线取样装置还包括：回样管路，取样管路上设置有取样阀门，回样管路通过取样阀门与取样管路相连通。进一步地，回样管路沿物料流动方向依次设置有第一回样阀门、第二回样阀门以及第三回样阀门。进一步地，在线取样装置还包括冷却设备，冷却设备设置在取样管路上，并位于取样阀门的上游。应用本技术的技术方案，通过设置吹扫管路、进样管路、取样管路、尾气管路、保护容器和取样容器，并在吹扫状态时利用吹扫管路、取样管路、保护容器及尾气管路对取样管路进行吹扫，并在管道吹扫完成后将保护容器替换为取样容器，进一步对取样容器进行吹扫，以将取样管道和取样容器中的杂质或水气等吹扫出去，为后续在取样状态下利用进样管路、取样管路以及取样容器对待取样品进行取样，排除了杂质污染和水气等危险因素，进而实现了对样品的安全、准确取样。附图说明构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：图1示出了根据本技术一种优选实施例中的在线取样装置的结构示意图。其中，上述附图包括以下附图标记：10、吹扫管路；20、进样管路；30、取样管路；40、尾气管路；50、回样管路；60、冷却设备；100、取样面板；11、第一吹扫阀门；12、第二吹扫阀门；13、第三吹扫阀门；14、吹扫止回阀；15、测压装置；21、第一进样阀门；22、第二进样阀门；23、第三进样阀门；31、取样容器；32、取样阀门；33、保护容器；41、第一尾气阀门；42、第二尾气阀门；43、第三尾气阀门；44、尾气止回阀；51、第一回样阀门；52、第二回样阀门；53、第三回样阀门。具体实施方式需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将结合实施例来详细说明本技术。如
技术介绍
所提到的，对六氯二硅烷这类遇水或氧气等环境因素而分解产生易燃或易爆物质，或者易受取样设备中的杂质而被污染的样品，在进行取样时存在取样不安全以及不准确的问题。为了提高这类样品的取样准确性及安全性，在本技术一种典型的实施方式中，提供了一种在线取样装置，如图1所示，该在线取样装置包括：吹扫管路10、进样管路20、取样管路30、尾气管路40、保护容器33以及取样容器31，在线取样装置包括吹扫状态和取样状态，在吹扫状态时，吹扫管路10通过依次相连的取样管路30和保护容器33与尾气管路40相连通；在取样状态时，进样管路20通过依次相连的取样管路30和取样容器31与尾气管路40相连通。本技术的上述在线取样装置通过设置吹扫管路、进样管路、取样管路、尾气管路、保护容器和取样容器，并在吹扫状态时利用吹扫管路、取样管路、保护容器及尾气管路对取样管路进行吹扫，并在管道吹扫完成后将保护容器替换为取样容器，进一步对取样容器进行吹扫，以将取样管道和取样容器中的杂质或水气等吹扫出去，为后续利用进样管路、取样管路以及取样容器对待取样品进行取样排除了杂质污染和水气等危险因素，进而实现了对样品的安全、准确取样。上述在线取样装置中，设置吹扫管路10的目的是为了对取样管路中的杂质及水分等危险因素吹扫出去，以提高取样过程中的安全性和取样的准确性。因而，对吹扫管路10的具体设置方式并无特殊要求，只要能够实现上述目的即可。为了更灵活地控制吹扫的开启和关闭，在一种优选实施例中，如图1所示，上述吹扫管路10沿吹扫气体流动方向依次设置有第一吹扫阀门11、第二吹扫阀门12和第三吹扫阀门13。根据实际管路为一体连通的管路还是分段连通而成的管路，可以在管路上设置一个或多个阀门，以便实现对吹扫气体的开启或关闭。上述优选实施例中的吹扫管路上设置一个或多个吹扫阀门，已经能够实现对吹扫步骤的开启或关闭。为了进一步防止在不需要吹扫时，管道中的吹扫气体沿吹扫管路逆流至吹扫气体储存装置中而对吹扫气体造成污染，在一种优选的实施例中，上述吹扫管路10还包括吹扫止回阀14，吹扫止回阀14设置在第二吹扫阀门12和第三吹扫阀门13之间。在关闭第三吹扫阀门13的情况下，再设置一个吹扫止回阀14更利于防止吹扫气体回流。为了更准确地控制吹扫的量或吹扫力度，在另一种更优选的实施例中，如图1所示，该吹扫管路10还包括设置在第三吹扫阀门13下游的测压装置15。在吹扫管路10的出口端设置测量装置，比如压力表，可以实时监测通入取样管路30中的吹扫气体的压力，从而更利于维持整个在线取样装置的运行稳定性。上述在线取样装置中，尾气管路40的设置是便于对吹扫出的含有杂质或水气的尾气进行回收，当确定所吹扫后的尾气中不含有对空气或环境有污染的气体或物质时，也可以省略该尾气管路40。此处设置尾气管路，主要是防止有染污的气体排放到空气中，因而对尾气进行回收，以便进行无害处理后再排放。在吹扫或者取样过程中，为了防止尾气管路40中的尾气回流至保护容器33或取样容器31，甚至回流至取样管路30中，而造成污染。在一种优选实施例，如图1所示，尾气管路40沿尾气的流动方向依次设置有第一尾气阀门41、第二尾气阀门42和第三尾气阀门43。同样，阀门的数量根据尾气管路由一体成本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种在线取样装置，其特征在于，所述在线取样装置包括：吹扫管路(10)、进样管路(20)、取样管路(30)、尾气管路(40)、保护容器(33)以及取样容器(31)，所述在线取样装置包括吹扫状态和取样状态，在所述吹扫状态时，所述吹扫管路(10)通过依次相连的取样管路(30)和保护容器(33)与所述尾气管路(40)相连通；在所述取样状态时，所述进样管路(20)通过依次相连的取样管路(30)和取样容器(31)与所述尾气管路(40)相连通。

【技术特征摘要】
1.一种在线取样装置，其特征在于，所述在线取样装置包括：吹扫管路(10)、进样管路(20)、取样管路(30)、尾气管路(40)、保护容器(33)以及取样容器(31)，所述在线取样装置包括吹扫状态和取样状态，在所述吹扫状态时，所述吹扫管路(10)通过依次相连的取样管路(30)和保护容器(33)与所述尾气管路(40)相连通；在所述取样状态时，所述进样管路(20)通过依次相连的取样管路(30)和取样容器(31)与所述尾气管路(40)相连通。2.根据权利要求1所述的在线取样装置，其特征在于，所述吹扫管路(10)沿吹扫气体流动方向依次设置有第一吹扫阀门(11)、第二吹扫阀门(12)和第三吹扫阀门(13)。3.根据权利要求2所述的在线取样装置，其特征在于，所述吹扫管路(10)还包括吹扫止回阀(14)，所述吹扫止回阀(14)设置在所述第二吹扫阀门(12)和第三吹扫阀门(13)之间。4.根据权利要求2所述的在线取样装置，其特征在于，所述述吹扫管路(10)还包括设置在所述第三吹扫阀门(13)下游的测压装置(15)。5.根据权利要求1所述的在线取样装置，其特征在于，所述尾气管路(40)...

【专利技术属性】
技术研发人员：楚东旭，付雷，王磊，郭树虎，刘见华，张啸虎，
申请(专利权)人：洛阳中硅高科技有限公司，中国恩菲工程技术有限公司，
类型：新型
国别省市：河南,41