基板加热干燥装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术的目的在于提供一种如下的基板加热干燥装置，在将药液涂覆在基板之后将其干燥的过程中，从根源上去除基板上的斑点的生成，从而能够防止工艺不良。为实现此，本实用新型专利技术的基板加热干燥装置的特征在于，包括：腔室，在真空氛围下实现针对涂覆有药液的基板的干燥；加热板，配备于所述腔室内，而且在内部具有提供用于所述基板的干燥的热源的加热单元，其中，所述基板的干燥在所述基板与加热板接触的状态下执行，在所述加热板的表面形成有用于防止在所述加热板与所述基板接触时产生静电的防静电涂层。

Substrate heating drying device

The utility model aims to provide a substrate heating device as follows, the liquid will be coated on the substrate after the drying process, the removal of the spots on the substrate generated from the source, so as to prevent the adverse process. To achieve this, the characteristics of substrate heating and drying device of the utility model is that comprises a chamber, for substrate coated with liquid drying in a vacuum atmosphere; the heating plate, equipped with the chamber and is provided for the heating unit, the substrate dry heat source in the internal implementation drying the substrate and heating the contact state of the substrate, is used to prevent electrostatic antistatic coating on the heating plate and the substrate contact is formed on the surface of the heating plate.

【技术实现步骤摘要】
基板加热干燥装置
本技术涉及一种在真空氛围下对涂覆有药液的基板进行加热而使其干燥的基板加热干燥装置，具体而言，涉及一种如下的基板加热干燥装置：在对基板涂覆药液并使其干燥的过程中，从根源上去除基板上的斑点的发生，从而防止工艺不良。
技术介绍
通常，用于平板显示装置的基板经过多个步骤的加工工序和这些加工工序之间的洗涤及干燥工序。如上所述，在经过基板的加工步骤之后进行洗涤，之后进行基板干燥工序，而这种基板加热工序在如下的基板加热干燥装置中执行，在配备有加热板的腔室内放入基板而使其干燥。在现有的基板加热干燥装置中，如果在将涂覆有药液的基板安置在加热板的表面的状态下执行干燥工序，则存在着如下的问题：由于发生在加热板和基板之间的静电而使基板在加热板上滑动，或者由于接触面上的表面张力而使基板紧贴于加热板，从而使基板被破损。作为用于改善上述问题的手段，最近使用着一种如下的基板加热干燥装置：在加热板上配备有多个接近销(Proximitypin)，以使基板能够从加热板相隔预定间距而被安置。然而，如果在如上所述地利用接近销支撑基板的状态下执行基板加热干燥工序，则存在着如下的问题：由于温度差而在接近销和基板的接触部产生斑点，从而导致工艺不良。关于现有的与基板加热干燥装置及接近销的现有技术公开于公开专利第10-2013-0019931号、公开专利第10-2009-0072361号、授权专利第10-0592940号等。
技术实现思路
本技术为了解决上述的问题而提出，其目的在于提供一种如下的基板加热干燥装置：在对基板涂覆药液并将其干燥的过程中，从根源上去除基板上的斑点的发生，从而防止工艺不良。用于实现如上所述的目的的本技术的基板加热干燥装置的特征在于，包括：腔室，在真空氛围下实现针对涂覆有药液的基板的干燥；加热板，配备于所述腔室内，而且在内部具有提供用于所述基板的干燥的热源的加热单元，所述基板的干燥在所述基板与所述加热板接触的状态下执行，在所述加热板的表面形成有用于防止在所述加热板与所述基板接触时产生静电的防静电涂层。所述防静电涂层可以是氟涂层。在所述加热板的表面可以形成有用于减少所述加热板与所述基板接触时的表面张力的粗糙度赋予面。所述粗糙度赋予面的表面粗糙度可以为4μm以上。所述加热单元与接触于所述基板的加热板表面之间可以相隔预设间距地构成，以防止所述加热板表面的局部的温度集中。所述加热单元与接触于所述基板的加热板表面之间可以相隔15mm以上的间距。在所述加热单元与接触于所述基板的加热板表面之间可以配备有热扩散单元，所述热扩散单元用于将从所述加热单元产生的热量均匀地传递给所述加热板表面。所述热扩散单元可以是配备于所述加热单元与接触于所述基板的加热板表面之间的热扩散板或者空气层。所述加热单元可以由热线构成，所述热扩散单元是包围所述热线的外侧面而配备的热扩散部件。所述基板可以借助移送机器人而被装载及卸载于所述腔室，并配备多个升降销，所述多个升降销以贯通所述加热板而支撑所述基板并升降的方式配备，并用于在所述移送机器人与自身之间进行所述基板的接收或移交，一实施例中，所述升降销可以以与所述基板的区域中的未涂覆药液的区域接触的方式配备。所述基板可以借助移送机器人而被装载及卸载于所述腔室，配备多个升降杆，所述多个升降杆以贯通所述加热板而支撑所述基板并升降的方式配备，用于在移送机器人与自身之间进行所述基板的接收或移交，所述升降销可以包括：第一升降销，接触于所述基板的区域中的未涂覆药液的区域；第二升降销，接触于所述基板的区域中的涂覆有药液的区域。在所述加热板可形成有所述第一升降销所贯通的第一升降销孔和所述第二升降销所贯通的第二升降销孔，在所述第二升降销孔可安装有用于在所述第二升降销处于闲置状态时堵塞所述第二升降销孔的塞盖。安装于所述第二升降销孔的塞盖的末端可以位于以所述加热板的表面为基准而向所述第二升降销孔的内侧凹入预定间距的位置。在所述腔室的上部可以连接有用于向所述腔室的内部供应吹扫气体的吹扫气体供应管。在所述吹扫气体供应管可以配备有管加热器，所述管加热器用于将所述吹扫气体加热至与所述腔室内部的干燥工序温度对应的温度。在所述腔室可以配备有引导部件，所述引导部件将从所述吹扫气体供应管排出的吹扫气体引导，从而使其朝向所述腔室的上部被喷射。在所述腔室的上部可额外地配备有用于为了基板的加热干燥而提供热源的上部加热器。通过根据本技术的基板加热干燥装置，可以实现：在作为干燥对象的基板接触于加热板的表面的状态下执行基板的干燥，并在干燥对象基板所接触的加热板的表面形成防静电涂层，从而能够从根源上去除基板上的斑点的发生，据此可以预防斑点的产生所导致的工艺不良。此外，通过在加热板的表面形成粗糙度赋予面，以减少加热板与基板之间的接触面积，从而使表面张力最小化，据此可以更为可靠地防止生成斑点。此外，通过使配备于加热板的加热单元与接触于基板的加热板的表面之间以预设间距相隔地布置、同时配备使产生于加热单元的热量被均匀地传递至加热板的表面的热扩散单元，可以提高基板的温度均匀程度，从而可以防止生成斑点。此外，可以以接触于基板上的区域中的未涂覆药液的区域的方式配备一种为了在移送机器人与自身之间进行所述基板的接收或移交而进行升降运动的升降销(liftpin)，从而可以防止在涂覆有药液的区域中发生斑点。此外，通过以与基板的区域中的涂覆有药液的区域接触的方式额外地配备升降销，可以防止基板的接收和移交过程中的基板的下垂现象。此外，将吹扫气体(Purgegas)供应管连接到腔室的上部，并配备一种以能够朝向腔室的上部喷射吹扫气体的方式引导吹扫气体的引导部件，从而在吹扫气体被朝向基板的表面喷射的情况下，可以防止可能由于气流的急剧的变化而引起的斑点的生成。此外，在吹扫气体供应管配备管加热器(Lineheater)，以将通过吹扫气体供应管而被供应至腔室内部的吹扫气体加热至与工艺温度对应的温度，因此能够维持腔室内部的工艺温度，从而可以防止可能由于温度的变动而引起的基板斑点的生成。此外，在安装于下部腔室的加热板配备加热单元的同时，在上部腔室配备上部加热器，以使基板的两面被均匀地加热，据此可以提高基板的干燥效率，并能够减少基板的上面和下面的温度偏差，从而能够防止生成斑点。附图说明图1是示出向根据本技术的基板加热干燥装置装载基板的情形的示意图。图2是示出在根据本技术的基板加热干燥装置中的加热板上安置有基板的情形的示意图。图3是配备于根据本技术的基板加热干燥装置的加热板的剖面图。图4是根据本技术的基板加热干燥装置的下部腔室和加热板的平面图。图5是示出根据本技术的一实施例的升降销的布置结构的平面图。图6是示出根据本技术的另一实施例的升降销的布置结构的平面图。图7a和图7b是示出在防下垂用升降销处于闲置状态时，塞盖安装于升降销孔的情形的图。符号说明1：基板加热干燥装置100：腔室100a：上部腔室100b：下部腔室101：贯通口102：真空孔110：门120：挡板130：挡板升降部140：上部加热器200：加热板200a：粗糙度赋予面201：升降销孔201a：第一升降销孔201b：第二升降销孔201c：塞盖插入槽210：加热单元220：防静电涂层230：热本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板加热干燥装置，其特征在于，包括：腔室，在真空氛围下实现涂覆有药液的基板的干燥；加热板，配备于所述腔室内，而且在内部具有提供用于所述基板的干燥的热源的加热单元，所述基板的干燥在所述基板与所述加热板接触的状态下执行，在所述加热板的表面形成有用于防止在所述加热板与所述基板接触时产生静电的防静电涂层。

【技术特征摘要】
2016.12.05 KR 10-2016-01642221.一种基板加热干燥装置，其特征在于，包括：腔室，在真空氛围下实现涂覆有药液的基板的干燥；加热板，配备于所述腔室内，而且在内部具有提供用于所述基板的干燥的热源的加热单元，所述基板的干燥在所述基板与所述加热板接触的状态下执行，在所述加热板的表面形成有用于防止在所述加热板与所述基板接触时产生静电的防静电涂层。2.如权利要求1所述的基板加热干燥装置，其特征在于，所述防静电涂层是氟涂层。3.如权利要求1所述的基板加热干燥装置，其特征在于，在所述加热板的表面形成有用于减小所述加热板与所述基板接触时的表面张力的粗糙度赋予面。4.如权利要求3所述的基板加热干燥装置，其特征在于，所述粗糙度赋予面的表面粗糙度为4μm以上。5.如权利要求1所述的基板加热干燥装置，其特征在于，所述加热单元与接触于所述基板的加热板表面之间相隔预设的间距，以防止所述加热板表面的局部的温度集中。6.如权利要求5所述的基板加热干燥装置，其特征在于，所述加热单元与接触于所述基板的加热板表面之间相隔15mm以上的间距。7.如权利要求1所述的基板加热干燥装置，其特征在于，在所述加热单元与接触于所述基板的加热板表面之间配备有热扩散单元，所述热扩散单元用于将从所述加热单元产生的热量均匀地传递至所述加热板表面。8.如权利要求7所述的基板加热干燥装置，其特征在于，所述热扩散单元是配备于所述加热单元与接触于所述基板的加热板表面之间的热扩散板或者空气层。9.如权利要求7所述的基板加热干燥装置，其特征在于，所述加热单元由热线构成，所述热扩散单元是包围所述热线的外侧面而配备的热扩散部件。10.如权利要求1所述的基板加热干燥装置，其特征在于，所述基板借助移送机器人而被装载及卸载于所述腔室，所述基板...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵康一，
申请(专利权)人：KC科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：韩国,KR