The utility model discloses a wafer transfer device, which comprises a support table, a tray, a first mechanical arm and a second arm; the supporting platform is provided with a through hole, the supporting platform lifting set; the tray is fixed on the support table below the support down to Taiwan the tray from the through hole through the process; the first mechanical arm and the second arm can be close to each other and far away from the common settings, for clamping wafer; the first mechanical arm and the second arm is arranged on the support table top; the first mechanical arm and the second mechanical arm lifting and horizontal movement set. The utility model has the advantages of high automation, replacing the manual transfer wafer with the pallet fixing and the lifting of the supporting platform, and the labor intensity is small and the efficiency is high, which can be adapted to the needs of large-scale production. The utility model uses the guiding device to ensure the stability of each component and prevent the damage of the wafer.
【技术实现步骤摘要】
晶圆转移装置
本技术涉及一种晶圆转移装置。
技术介绍
晶圆生产过程中,涉及多种处理工艺。通常为了大规模生产的需要,多片晶圆放置在一个料盒中同时处理。料盒需要适应各个工序的处理装置。但在实际生产过程中,即使是同一晶圆的料盒,在各处理工序使用的料盒尺寸不同。因此,这就决定了在整个处理工艺过程中,需要将晶圆从一个料盒转移到另一个料盒中。现有技术中,依靠工人人工转移晶圆,不仅劳动强度大,效率低,而且生产成本高,难以适应大规模生产的需要。
技术实现思路
本技术的目的是为了克服现有技术的不足,提供一种可代替人工的晶圆转移装置。为实现以上目的,本技术通过以下技术方案实现:晶圆转移装置,其特征在于,包括:支撑台,所述支撑台设置有通孔,所述支撑台可升降地设置;托盘,所述托盘固定设置于所述支撑台下方,所述支撑台升降降过程中使所述托盘自所述通孔穿过;第一机械臂和第二机械臂;所述第一机械臂与所述第二机械臂可相互靠近及远离地设置,用于共同夹持晶圆;所述第一机械臂与所述第二机械臂设置于所述支撑台上方;所述第一机械臂与所述第二机械臂可升降并可水平移动地设置。根据本技术的一个实施例,还包括第一驱动装置,所述第一驱动装置驱动所述支撑台升降或通过第一传动装置驱动所述支撑台升降地设置。根据本技术的一个实施例,所述第一驱动装置为第一旋转电机,所述第一传动装置为第一丝杠螺母;所述第一旋转电机通过所述第一丝杠螺母驱动所述支撑台升降地设置。根据本技术的一个实施例,所述支撑台设置于支架上,所述支架与所述丝杠螺母连接。根据本技术的一个实施例,还包括第一导向装置,所述支撑台与所述导向装置直接连接或间接连接,所述第一 ...
【技术保护点】
晶圆转移装置,其特征在于,包括:支撑台,所述支撑台设置有通孔,所述支撑台可升降地设置;托盘,所述托盘固定设置于所述支撑台下方,所述支撑台升降过程中使所述托盘自所述通孔穿过;第一机械臂和第二机械臂;所述第一机械臂与所述第二机械臂可相互靠近及远离地设置,用于共同夹持晶圆;所述第一机械臂与所述第二机械臂设置于所述支撑台上方;所述第一机械臂与所述第二机械臂可升降并可水平移动地设置。
【技术特征摘要】
1.晶圆转移装置,其特征在于,包括:支撑台,所述支撑台设置有通孔,所述支撑台可升降地设置;托盘,所述托盘固定设置于所述支撑台下方,所述支撑台升降过程中使所述托盘自所述通孔穿过;第一机械臂和第二机械臂;所述第一机械臂与所述第二机械臂可相互靠近及远离地设置,用于共同夹持晶圆;所述第一机械臂与所述第二机械臂设置于所述支撑台上方;所述第一机械臂与所述第二机械臂可升降并可水平移动地设置。2.根据权利要求1所述的晶圆转移装置,其特征在于,还包括第一驱动装置,所述第一驱动装置驱动所述支撑台升降或通过第一传动装置驱动所述支撑台升降地设置。3.根据权利要求2所述的晶圆转移装置,其特征在于,所述第一驱动装置为第一旋转电机,所述第一传动装置为第一丝杠螺母;所述第一旋转电机通过所述第一丝杠螺母驱动所述支撑台升降地设置。4.根据权利要求3所述的晶圆转移装置,其特征在于,所述支撑台设置于支架上,所述支架与所述丝杠螺母连接。5.根据权利要求1所述的晶圆转移装置,其特征在于,还包括第一导向装置,所述支撑台与所述导向装置直接连接或间接连接,所述第一导向装置为所述支撑台升降时导向。6.根据权利要求1所述的晶圆转移装置,其特征在于,所述第一机械臂与所述第二机械臂可同步升降地设置。7.根据权利要求6所述的晶圆转移装置,其特征在于,还包括第二驱动装置,所述第二驱动装置驱动所述第一机械臂与所述第二机械臂升降或通过第二传动装置驱动所述第一机械臂与所述第二机械臂同步升降地设置。8.根据权利要求7所述的晶圆转移装置,其特征在于,所述第二驱动装置为第二旋转电机,所述第二传动装置为第二丝杠螺母;所述第二旋转电机通过第二丝杠螺母驱动所述第一机械臂和所述第二机械臂升降地设置。9.根据权利要求8所述的晶圆转移装置,其特征在于,还包括第二导向装置,所述第二导向装置为所述第一机械臂和第二机械臂升降时导向。10....
【专利技术属性】
技术研发人员:王振荣,黄春杰,黄利松,
申请(专利权)人:新阳硅密上海半导体技术有限公司,
类型:新型
国别省市:上海,31
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