化学品温度冷热交换器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种化学品温度冷热交换器，其技术方案要点是其包括工艺槽、温控交换槽、循环泵、过滤器、循环管路和能量交换管路，所述工艺槽的出液口与循环泵的进口连接，循环泵的出口连接能量交换管路的一端口，能量交换管路的另一端口连接过滤器的进口端，过滤器的出口端连接工艺槽的进液口，所述能量交换管路设置在温控交换槽内，所述工艺槽、循环泵、能量交换管路和过滤器之间依次均通过循环管路连接。本实用新型专利技术的化学品温度冷热交换器能够对工艺槽内进行温度控制，避免了工艺槽内出现颗粒沉积污染的情况。

【技术实现步骤摘要】
化学品温度冷热交换器
本技术涉及一种冷热交换器，更具体的说，它涉及一种化学品温度冷热交换器。
技术介绍
在集成电路芯片制造过程中，对芯片所接触化学品温度控制是采用投入式加热器；在工艺槽内放置冷盘管，通过外界冷媒在冷盘管内循环实现控制槽内温度，在工艺槽外放置冷却槽，使冷却槽和工艺槽之间循环达到控制温度的目的，要控制的化学品的洁净度没法做到很好，温度控制精度不高，易造成芯片生产工艺不完整，产品成品率底下，降低了生产效率。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本技术的目的在于提供一种能够对工艺槽内进行温度控制，避免了工艺槽内出现颗粒沉积污染的情况的化学品温度冷热交换器。为实现上述目的，本技术提供了如下技术方案：一种化学品温度冷热交换器，其包括工艺槽、温控交换槽、循环泵、过滤器、循环管路和能量交换管路，所述工艺槽的出液口与循环泵的进口连接，循环泵的出口连接能量交换管路的一端口，能量交换管路的另一端口连接过滤器的进口端，过滤器的出口端连接工艺槽的进液口，所述能量交换管路设置在温控交换槽内，所述工艺槽、循环泵、能量交换管路和过滤器之间依次均通过循环管路连接。通过采用上述技术方案，用于芯片加工的化学品注入工艺槽内，通过循环泵的动力使得化学品在循环管路内运行流动，并使得化学品依次在工艺槽、循环泵、能量交换管路、过滤器、工艺槽之间循环流动，并通过温控交换槽与能量交换管路之间的能量交换控制，使得能够控制循环管路内的化学品温度稳定。本技术进一步设置为：所述温控交换槽包括恒温机、能量交换器和控温管路，恒温机的控温段连接控温管路，控温管路连接设置在能量交换器内，恒温机通过控温管路控制能量交换器内的温度变化，所述能量交换管路设置在能量交换器内。本技术进一步设置为：所述能量交换管路为波纹管。本技术进一步设置为：所述循环管路和能量交换管路均由全氟烷氧基树脂制成。本技术进一步设置为：所述循环泵为气动隔膜泵。本技术具有下述优点：通过工艺槽与温控装置之间分离设置，避免了工艺槽内化学品的污染，保障了化学品洁净度，提高了化学品对芯片加工过程中的洁净度，保障了芯片工艺安全，通过波纹管的设置，使得最大面积的冷热交换，缩短了目标温度运行时间，通过循环管路和能量交换管路均由全氟烷氧基树脂制成，使得高纯全氟烷氧基树脂材质管路，可以保障洁净度，通过恒温机的设置，使得能够对温度进行控制，且温度的稳定性越平稳，越有利于芯片上的线路均匀性和良率。附图说明图1为本技术化学品温度冷热交换器的系统结构图。图中：1、工艺槽；2、温控交换槽；3、循环泵；4、过滤器；5、循环管路；6、能量交换管路；7、恒温机；8、能量交换器；9、控温管路。具体实施方式参照图1所示，本实施例的一种化学品温度冷热交换器，其包括工艺槽1、温控交换槽2、循环泵3、过滤器4、循环管路5和能量交换管路6，所述工艺槽1的出液口与循环泵3的进口连接，循环泵3的出口连接能量交换管路6的一端口，能量交换管路6的另一端口连接过滤器4的进口端，过滤器4的出口端连接工艺槽1的进液口，所述能量交换管路6设置在温控交换槽2内，所述工艺槽1、循环泵3、能量交换管路6和过滤器4之间依次均通过循环管路5连接。所述温控交换槽2包括恒温机7、能量交换器8和控温管路9，恒温机7的控温段连接控温管路9，控温管路9连接设置在能量交换器8内，恒温机7通过控温管路9控制能量交换器8内的温度变化，所述能量交换管路6设置在能量交换器8内。所述能量交换管路6为波纹管。所述循环管路5和能量交换管路6均由全氟烷氧基树脂制成。所述循环泵3为气动隔膜泵。通过采用上述技术方案，用于芯片加工的化学品注入工艺槽1内，通过循环泵3的动力使得化学品在循环管路5内运行流动，并使得化学品依次在工艺槽1、循环泵3、能量交换管路6、过滤器4、工艺槽1之间循环流动，并通过温控交换槽2与能量交换管路6之间的能量交换控制，使得能够控制循环管路5内的化学品温度稳定。通过工艺槽1与温控装置之间分离设置，避免了工艺槽1内化学品的污染，保障了化学品洁净度，提高了化学品对芯片加工过程中的洁净度，保障了芯片工艺安全，通过波纹管的设置，使得最大面积的冷热交换，缩短了目标温度运行时间，通过循环管路5和能量交换管路6均由全氟烷氧基树脂制成，使得高纯全氟烷氧基树脂材质管路，可以保障洁净度，通过恒温机7的设置，使得能够对温度进行控制，且温度的稳定性越平稳，越有利于芯片上的线路均匀性和良率。以上所述仅是本技术的优选实施方式，本技术的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本技术思路下的技术方案均属于本技术的保护范围。应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本技术原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种化学品温度冷热交换器，其特征在于：其包括工艺槽、温控交换槽、循环泵、过滤器、循环管路和能量交换管路，所述工艺槽的出液口与循环泵的进口连接，循环泵的出口连接能量交换管路的一端口，能量交换管路的另一端口连接过滤器的进口端，过滤器的出口端连接工艺槽的进液口，所述能量交换管路设置在温控交换槽内，所述工艺槽、循环泵、能量交换管路和过滤器之间依次均通过循环管路连接。

【技术特征摘要】
1.一种化学品温度冷热交换器，其特征在于：其包括工艺槽、温控交换槽、循环泵、过滤器、循环管路和能量交换管路，所述工艺槽的出液口与循环泵的进口连接，循环泵的出口连接能量交换管路的一端口，能量交换管路的另一端口连接过滤器的进口端，过滤器的出口端连接工艺槽的进液口，所述能量交换管路设置在温控交换槽内，所述工艺槽、循环泵、能量交换管路和过滤器之间依次均通过循环管路连接。2.根据权利要求1所述的化学品温度冷热交换器，其特征在于：所述温控交换槽包括恒...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈景韶，
申请(专利权)人：上海提牛机电设备有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31