The utility model relates to a sapphire crystal growth furnace cooling and seed replacement system, which comprises a furnace body, a seed rod and a cooling chamber, the upper part of the furnace body is provided with a pair of furnace, below the top of the furnace body is provided with a cooling chamber, the cooling chamber is an annular sleeve structure, the cooling chamber filled with high latent heat of the liquid, the upper end the cooling chamber is connected with a return to the outside of the furnace body, the lower the seed rod through the side into the furnace and furnace body, a cooling chamber is sleeved on the seed rod external. The utility model can be used to adjust the seed through the cooling chamber temperature and keep it in the appropriate growth conditions, the cooling liquid in the indoor high latent heat of vaporization after cooling through the cooling water pipe can be liquefied flow back into the cooling chamber, when the furnace seed melted due to improper operation can not only cooling furnace body will seed the crystal rod to side furnace, and then replace the seed side after furnace cooling into the furnace, reduces the energy loss, the utility model has the advantages of simple design, convenient use, easy maintenance.
【技术实现步骤摘要】
一种蓝宝石长晶炉籽晶冷却与更换系统
本技术涉及蓝宝石生长设备
,具体涉及一种蓝宝石长晶炉籽晶冷却与更换系统。
技术介绍
目前,蓝宝石晶体材料的生长方法主要有泡生法,提拉法,坩埚下降法等,泡生法是公认的最适合大规模生产的方法之一,随着蓝宝石应用领域的不断扩大,对蓝宝石晶体的品质与尺寸提出了更高的要求,蓝宝石生长设备的合理是提高蓝宝石单晶品质的前提条件,只有温场合理,蓝宝石单晶内部缺陷才会减少,尤其大尺寸蓝宝石单晶生长周期长,后期生长速度不易控制,温度的稍微变化便容易使晶体内部缺陷增多,因此,对蓝宝石长晶炉的温度必须严格控制,生产引晶过程中,由于籽晶使用次数过多或操作不当引起在引晶过程中籽晶融化而无法使用,导致长晶停止。
技术实现思路
本技术的目的是为解决上述技术问题的不足,提供一种蓝宝石长晶炉籽晶冷却与更换系统,本技术可通过冷却室用来调节籽晶的温度使其保持在适宜长晶的条件,冷却室内高相变潜热的液体在汽化后可以通过冷却水管冷却液化回流入冷却室,使高相变潜热的液体循环使用,当炉内籽晶因操作不当融化后可以不用冷却炉体而仅需将籽晶杆下端提升至副炉,然后将副炉冷却后更换籽晶后再伸入炉内,降低了能量损失。为解决此技术问题,本技术采取以下技术方案:一种蓝宝石长晶炉籽晶冷却与更换系统,包括炉体、籽晶杆和冷却室,所述炉体上部设有副炉,炉体与副炉通过电动阀门隔开,炉体的顶部下方设有冷却室,所述冷却室为环形套管结构,且冷却室的套管内径大于籽晶杆的直径,冷却室内填充有高相变潜热的液体,冷却室的上端连接有通往炉体外部的回流管,所述籽晶杆的下端穿过副炉并伸入炉体内部,且籽晶杆的下端端头连 ...
【技术保护点】
一种蓝宝石长晶炉籽晶冷却与更换系统,包括炉体(1)、籽晶杆(3)和冷却室(4),所述炉体(1)上部设有副炉(2),炉体(1)与副炉(2)通过电动阀门(5)隔开,炉体(1)的顶部下方设有冷却室(4),所述冷却室(4)为环形套管结构,且冷却室(4)的套管内径大于籽晶杆(3)的直径,冷却室(4)内填充有高相变潜热的液体,冷却室(4)的上端连接有通往炉体(1)外部的回流管(6),所述籽晶杆(3)的下端穿过副炉(2)并伸入炉体(1)内部,且籽晶杆(3)的下端端头连接有籽晶(7),冷却室(4)套设在籽晶杆(3)外部,籽晶杆(3)的上部与提拉装置连接,所述副炉(2)下部侧壁设有输入冷气的进气阀(8),上部设置有可密闭配合的炉盖,中间部位连接有抽真空系统(9)。
【技术特征摘要】
1.一种蓝宝石长晶炉籽晶冷却与更换系统,包括炉体(1)、籽晶杆(3)和冷却室(4),所述炉体(1)上部设有副炉(2),炉体(1)与副炉(2)通过电动阀门(5)隔开,炉体(1)的顶部下方设有冷却室(4),所述冷却室(4)为环形套管结构,且冷却室(4)的套管内径大于籽晶杆(3)的直径,冷却室(4)内填充有高相变潜热的液体,冷却室(4)的上端连接有通往炉体(1)外部的回流管(6),所述籽晶杆(3)的下端穿过副...
【专利技术属性】
技术研发人员:蔺崇召,姚刚,孙占喜,李吾臣,
申请(专利权)人:许昌天戈硅业科技有限公司,
类型:新型
国别省市:河南,41
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