一种蓝宝石长晶炉籽晶冷却与更换系统技术方案

技术编号:16395694 阅读:44 留言:0更新日期:2017-10-17 17:36
本实用新型专利技术涉及一种蓝宝石长晶炉籽晶冷却与更换系统,包括炉体、籽晶杆和冷却室,炉体上部设有副炉,炉体的顶部下方设有冷却室,所述冷却室为环形套管结构,冷却室内填充有高相变潜热的液体,冷却室的上端连接有通往炉体外部的回流管,所述籽晶杆的下端穿过副炉并伸入炉体内部,冷却室套设在籽晶杆外部。本实用新型专利技术可通过冷却室用来调节籽晶的温度使其保持在适宜长晶的条件,冷却室内高相变潜热的液体在汽化后可以通过冷却水管冷却液化回流入冷却室,当炉内籽晶因操作不当融化后可以不用冷却炉体而仅需将籽晶杆下端提升至副炉,然后将副炉冷却后更换籽晶后再伸入炉内,降低了能量损失,本实用新型专利技术设计简单,使用方便,易维修。

A cooling and replacing system for sapphire crystal furnace

The utility model relates to a sapphire crystal growth furnace cooling and seed replacement system, which comprises a furnace body, a seed rod and a cooling chamber, the upper part of the furnace body is provided with a pair of furnace, below the top of the furnace body is provided with a cooling chamber, the cooling chamber is an annular sleeve structure, the cooling chamber filled with high latent heat of the liquid, the upper end the cooling chamber is connected with a return to the outside of the furnace body, the lower the seed rod through the side into the furnace and furnace body, a cooling chamber is sleeved on the seed rod external. The utility model can be used to adjust the seed through the cooling chamber temperature and keep it in the appropriate growth conditions, the cooling liquid in the indoor high latent heat of vaporization after cooling through the cooling water pipe can be liquefied flow back into the cooling chamber, when the furnace seed melted due to improper operation can not only cooling furnace body will seed the crystal rod to side furnace, and then replace the seed side after furnace cooling into the furnace, reduces the energy loss, the utility model has the advantages of simple design, convenient use, easy maintenance.

【技术实现步骤摘要】
一种蓝宝石长晶炉籽晶冷却与更换系统
本技术涉及蓝宝石生长设备
,具体涉及一种蓝宝石长晶炉籽晶冷却与更换系统。
技术介绍
目前,蓝宝石晶体材料的生长方法主要有泡生法,提拉法,坩埚下降法等,泡生法是公认的最适合大规模生产的方法之一,随着蓝宝石应用领域的不断扩大,对蓝宝石晶体的品质与尺寸提出了更高的要求,蓝宝石生长设备的合理是提高蓝宝石单晶品质的前提条件,只有温场合理,蓝宝石单晶内部缺陷才会减少,尤其大尺寸蓝宝石单晶生长周期长,后期生长速度不易控制,温度的稍微变化便容易使晶体内部缺陷增多,因此,对蓝宝石长晶炉的温度必须严格控制,生产引晶过程中,由于籽晶使用次数过多或操作不当引起在引晶过程中籽晶融化而无法使用,导致长晶停止。
技术实现思路
本技术的目的是为解决上述技术问题的不足,提供一种蓝宝石长晶炉籽晶冷却与更换系统,本技术可通过冷却室用来调节籽晶的温度使其保持在适宜长晶的条件,冷却室内高相变潜热的液体在汽化后可以通过冷却水管冷却液化回流入冷却室,使高相变潜热的液体循环使用,当炉内籽晶因操作不当融化后可以不用冷却炉体而仅需将籽晶杆下端提升至副炉,然后将副炉冷却后更换籽晶后再伸入炉内,降低了能量损失。为解决此技术问题,本技术采取以下技术方案:一种蓝宝石长晶炉籽晶冷却与更换系统,包括炉体、籽晶杆和冷却室,所述炉体上部设有副炉,炉体与副炉通过电动阀门隔开,炉体的顶部下方设有冷却室,所述冷却室为环形套管结构,且冷却室的套管内径大于籽晶杆的直径,冷却室内填充有高相变潜热的液体,冷却室的上端连接有通往炉体外部的回流管,所述籽晶杆的下端穿过副炉并伸入炉体内部,且籽晶杆的下端端头连接有籽晶,冷却室套设在籽晶杆外部,籽晶杆的上部与提拉装置连接,所述副炉下部侧壁设有输入冷气的进气阀,上部设置有可密闭配合的炉盖,中间部位连接有抽真空系统。作为本技术一种蓝宝石长晶炉籽晶冷却与更换系统的进一步改进:所述回流管伸出炉体的管体上绕设有用于将汽化的高相变潜热液体液化的冷却水管。有益效果1.本技术可通过冷却室用来调节籽晶的温度使其保持在适宜长晶的条件,冷却室内高相变潜热的液体在汽化后可以通过冷却水管冷却液化回流入冷却室,冷却迅速,且高相变潜热的液体达到循环利用,降低生产成本。2.本技术引晶过程中,由于籽晶使用次数过多或操作不当引起在引晶过程中籽晶融化而无法使用时,籽晶与籽晶杆籽晶均小于冷却室的中心通孔直径,可以不用冷却炉体将籽晶杆取出装入籽晶,而仅需打开电动阀门将籽晶杆下端提升至副炉,然后打开炉盖,通过进气阀通入冷气,冷却副炉,更换籽晶,然后抽成真空后再将籽晶杆下降到合适的位置,然后关闭电动阀门,有效的降低了能源损失,避免了生产终止。附图说明图1为本技术蓝宝石长晶炉保温系统的结构示意图;图中标记:1、炉体,2、副炉,3、籽晶杆,4、冷却室,5、电动阀门,6、回流管,7、籽晶,8、进气阀,9、抽真空系统。具体实施方式如图所示:1.一种蓝宝石长晶炉籽晶冷却与更换系统,包括炉体1、籽晶杆3和冷却室4,所述炉体1上部设有副炉2,炉体1与副炉2通过电动阀门5隔开,炉体1的顶部下方设有冷却室4,所述冷却室4为环形套管结构,且冷却室4的套管内径大于籽晶杆3的直径,冷却室4内填充有高相变潜热的液体,冷却室4的上端连接有通往炉体1外部的回流管6,所述籽晶杆3的下端穿过副炉2并伸入炉体1内部,且籽晶杆3的下端端头连接有籽晶7,冷却室4套设在籽晶杆3外部,籽晶杆3的上部与提拉装置连接,所述副炉2下部侧壁设有输入冷气的进气阀8,上部设置有可密闭配合的炉盖,中间部位连接有抽真空系统9,所述回流管6伸出炉体1的管体上绕设有用于将汽化的高相变潜热液体液化的冷却水管。本技术可通过冷却室4用来调节籽晶7的温度使其保持在适宜长晶的条件下,冷却室4内高相变潜热的液体在汽化后可以通过冷却水管冷却液化回流入冷却室4,冷却迅速,且高相变潜热的液体达到循环利用,降低生产成本,引晶过程中,由于籽晶7使用次数过多或操作不当引起在引晶过程中籽晶7融化而无法使用时,籽晶7与籽晶杆3籽晶7均小于冷却室4的中心通孔直径,可以不用冷却炉体1将籽晶杆3取出装入籽晶7,而仅需打开电动阀门5将籽晶杆3下端提升至副炉2,然后打开炉盖,通过进气阀8通入冷气,冷却副炉2,更换籽晶7,然后抽成真空后再将籽晶杆3下降到合适的位置,然后关闭电动阀门5,有效的降低了能源损失,避免了生产终止,本技术即可以用来调节籽晶7的温度保证长晶的温度环境,又可以在引晶过程中籽晶7融化后可以避免停止生产重新安装籽晶7的麻烦,降低了能量损失,且设计简单,使用方便,易维修。以上所述,仅是本技术的较佳实施例而已,并非对本技术作任何形式上的限制,虽然本技术已以较佳实施例揭露如上,然而并非用以限定本技术,任何熟悉本专业的技术人员,在不脱离本技术技术方案范围内,当可利用上述揭示的
技术实现思路
作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例,但凡是未脱离本技术技术方案内容,依据本技术的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰,均仍属于本技术技术方案的范围内。本文档来自技高网
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一种蓝宝石长晶炉籽晶冷却与更换系统

【技术保护点】
一种蓝宝石长晶炉籽晶冷却与更换系统,包括炉体(1)、籽晶杆(3)和冷却室(4),所述炉体(1)上部设有副炉(2),炉体(1)与副炉(2)通过电动阀门(5)隔开,炉体(1)的顶部下方设有冷却室(4),所述冷却室(4)为环形套管结构,且冷却室(4)的套管内径大于籽晶杆(3)的直径,冷却室(4)内填充有高相变潜热的液体,冷却室(4)的上端连接有通往炉体(1)外部的回流管(6),所述籽晶杆(3)的下端穿过副炉(2)并伸入炉体(1)内部,且籽晶杆(3)的下端端头连接有籽晶(7),冷却室(4)套设在籽晶杆(3)外部,籽晶杆(3)的上部与提拉装置连接,所述副炉(2)下部侧壁设有输入冷气的进气阀(8),上部设置有可密闭配合的炉盖,中间部位连接有抽真空系统(9)。

【技术特征摘要】
1.一种蓝宝石长晶炉籽晶冷却与更换系统,包括炉体(1)、籽晶杆(3)和冷却室(4),所述炉体(1)上部设有副炉(2),炉体(1)与副炉(2)通过电动阀门(5)隔开,炉体(1)的顶部下方设有冷却室(4),所述冷却室(4)为环形套管结构,且冷却室(4)的套管内径大于籽晶杆(3)的直径,冷却室(4)内填充有高相变潜热的液体,冷却室(4)的上端连接有通往炉体(1)外部的回流管(6),所述籽晶杆(3)的下端穿过副...

【专利技术属性】
技术研发人员:蔺崇召姚刚孙占喜李吾臣
申请(专利权)人:许昌天戈硅业科技有限公司
类型:新型
国别省市:河南,41

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