The utility model relates to the field of electrical equipment, and discloses a precise temperature control system, used for setting the temperature regulating space panel adjustment, which comprises a control module, temperature control unit, set in the space of an air temperature control unit and connected to the temperature adjustable unit and air pipe between the air supply unit the gas temperature adjusting unit adjusts; by the temperature after the air ducts are sent to the wind outlet unit; unit includes a N in an array with the panel opposite disposed outlet module, N is a natural number greater than or equal to 2; a temperature sensor for detecting the temperature of air the air temperature module; a plurality of modules, a module for adjusting the gas outlet from blowing temperature; control module is connected with a temperature sensor and a temperature control module, according to the temperature sensor To control the output of the thermostat module. The precision temperature control system can improve the temperature control accuracy of the panel surface.
【技术实现步骤摘要】
精密温度调节系统
本技术涉及电气设备领域,特别涉及一种精密温度调节系统。
技术介绍
液晶面板是构成液晶显示器件的一个基本部件。在液晶面板的制造过程中,需要对面板进行曝光。由于面板受热易膨胀,对温度十分敏感,曝光时有必要精密地控制液面板的表面温度,因此人们通常将面板设置在温度调节空间内,借由温度调节系统来对面板的表面温度进行调节。本领域普通技术人员了解,通常对面板的表面温度而言,一般要求其具备较高的控制精度,例如控制精度在±0.2℃或者±0.1℃的范围内。现有的温度调节系统通常包括温调单元、设置在温度调节空间内的具有单个出风口的出风单元以及连接在温调单元与出风单元之间的送风管道;气体由温调单元调节了温度后经由送风管道被送出到出风单元。随着液晶面板的表面尺寸的大型化,依赖于现有技术所提供的出风单元,已经很难满足面板表面温度的均匀控制要求。尽管增加过风量可以提高面板表面温度的均匀度,但较大的过风量又有可能造成液晶面板的损坏。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种精密温度调节系统和该精密温度调节系统控制方法,该精密温度调节系统能够在不加大过风量的前提下提高面板表面的温度控制精度。为了解决上述技术问题,本技术提供了一种精密温度调节系统,用于对设置在温度调节空间内的面板进行温度调节,包括:控制模块、温调单元、设置在温度调节空间内的出风单元以及连接在温调单元与出风单元之间的送风管道;气体由温调单元调节了温度后经由送风管道被送出到出风单元;出风单元包括:N个呈阵列状地与面板对置设置的出风口模块,N为大于或等于2的自然数;多个温度传感器,用于检测出风口模块处的出风温度;多个调温模 ...
【技术保护点】
一种精密温度调节系统,用于对设置在温度调节空间(4)内的面板进行温度调节,其特征在于:所述精密温度调节系统包括:控制模块、温调单元(2)、设置在所述温度调节空间(4)内的出风单元(3)以及连接在所述温调单元(2)与所述出风单元(3)之间的送风管道(1);气体由所述温调单元(2)调节了温度后经由送风管道(1)被送出到所述出风单元(3);所述出风单元(3)包括:N个呈阵列状地与所述面板对置设置的出风口模块(31),所述N为大于或等于2的自然数;多个温度传感器(32),用于检测所述出风口模块(31)处的出风温度;多个调温模块(33),用于调节从所述出风口模块(31)吹出的气体的温度;所述控制模块与所述温度传感器(32)和所述调温模块(33)通信连接,用于根据所述温度传感器(32)检测的温度来控制所述调温模块(33)的输出。
【技术特征摘要】
1.一种精密温度调节系统,用于对设置在温度调节空间(4)内的面板进行温度调节,其特征在于:所述精密温度调节系统包括:控制模块、温调单元(2)、设置在所述温度调节空间(4)内的出风单元(3)以及连接在所述温调单元(2)与所述出风单元(3)之间的送风管道(1);气体由所述温调单元(2)调节了温度后经由送风管道(1)被送出到所述出风单元(3);所述出风单元(3)包括:N个呈阵列状地与所述面板对置设置的出风口模块(31),所述N为大于或等于2的自然数;多个温度传感器(32),用于检测所述出风口模块(31)处的出风温度;多个调温模块(33),用于调节从所述出风口模块(31)吹出的气体的温度;所述控制模块与所述温度传感器(32)和所述调温模块(33)通信连接,用于根据所述温度传感器(32)检测的温度来控制所述调温模块(33)的输出。2.根据权利要求1所述的精密温度调节系统,其特征在于:所述多个温度传感器(32)的数量为N个,与N个所述出风口模块(31)一一对应地设置;所述多个调温模块(33)的数量为N个,与N个所述出风口模块(31)一一对应地设置。3.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员:唐帅,峰岸裕一郎,
申请(专利权)人:富士电机中国有限公司,
类型:新型
国别省市:上海,31
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