The utility model provides a diffusion furnace exhaust gas collecting device, the exhaust gas diffusion furnace collection device comprises a housing (10), shell (10) comprises an inner cavity and an air inlet communicated with the inner cavity of the exhaust port (11) and (12), diffusion furnace exhaust gas collection device further includes a barrier wall (20), barrier (20) is located in the inner chamber, the adjacent barrier (20) and / or barrier (20) and the shell (10) is connected with the air inlet formed between the inner wall (11) and the outlet (12) of the air channel. The technical proposal of the utility model effectively solves the problem that the cooling effect of the residual liquid tank is poor in the prior art.
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及太阳能电池
,具体而言,涉及一种扩散炉尾气收集装置。
技术介绍
在半导体制造或者太阳能电池领域,扩散工序中比较常用的扩散设备是扩散炉,扩散工序的工艺气体一般是指氧气、氮气、源气体(如三氯氧磷、三溴化硼等)。工艺气体在扩散炉管内经过化学反应后,被排出扩散炉管的废气体(残留的工艺气体和反应后产生的气体)称为尾气。如图1所示,扩散炉尾气处理装置包括残液罐2、排风管路3和排风机4,残液罐2设在扩散炉1与排风管路3之间,残液罐2起到冷却尾气、收集尾气的作用。工艺气体在扩散炉管内经过化学反应,会产生一些尾气,这些尾气在经过扩散炉1的尾气管、残液罐2的冷却后,部分尾气通过排风管路3从排风机4排出。但是,这些有害尾气的沸点都在200度左右,只靠残液罐冷却不能将所有的尾气都冷却至液态,会导致部分尾气被直接排出,使残液罐2冷却收集尾气的效果不佳。具体地,硅片在经过制绒工序做表面处理后会采用纯水长时间的清洗,清洗后进行干燥处理。但是,清洗后还会有少部分的水分存在硅片内部,当硅片进入扩散工艺后水分会挥发出来。以磷扩散为例,扩散工艺用到的源气体是三氯氧磷,在扩散炉1中,三氯氧磷和氧气反应生成五氧化二磷,五氧化二磷与硅反应生成二氧化硅和单质磷,磷原子与硅结合形成了PN结。反应后尾气中包含没有反应完全的三氯氧磷、五氧化二磷,由于五氧化二磷在300度以上是气态,五氧化二磷遇到上述水分会形成偏磷酸。由于五氧化二磷具有很强的腐蚀性和 ...
【技术保护点】
一种扩散炉尾气收集装置,包括:壳体(10),所述壳体(10)包括内腔及与所述内腔连通的进气口(11)和排气口(12),其特征在于,所述扩散炉尾气收集装置还包括:障壁(20),所述障壁(20)设置在所述内腔中,相邻所述障壁(20)之间和/或所述障壁(20)与所述壳体(10)的内壁之间形成有连通所述进气口(11)和所述排气口(12)的气流通道。
【技术特征摘要】
1.一种扩散炉尾气收集装置,包括:
壳体(10),所述壳体(10)包括内腔及与所述内腔连通的进气口(11)和排气口(12),
其特征在于,所述扩散炉尾气收集装置还包括:
障壁(20),所述障壁(20)设置在所述内腔中,相邻所述障壁(20)之间和/或所述
障壁(20)与所述壳体(10)的内壁之间形成有连通所述进气口(11)和所述排气口(12)
的气流通道。
2.根据权利要求1所述的扩散炉尾气收集装置,其特征在于,所述障壁(20)包括相对设
置的第一障壁(21)和第二障壁(22),所述第一障壁(21)和所述第二障壁(22)之间、
所述第一障壁(21)与所述壳体(10)之间以及所述第二障壁(22)与所述壳体(10)
之间形成所述气流通道。
3.根据权利要求2所述的扩散炉尾气收集装置,其特征在于,所述第一障壁(21)和所述
第二障壁(22)的截面呈圆弧状,并且所述第一障壁(21)的半径小于所述第二障壁(22)
的半径。
4.根据权利要求2或3所述的扩散炉尾气收集装置,其特征在于,所述障壁(20)还包括
相对设置的第三障壁(23)和第四障壁(24),所述第三障壁(23)和所述第四障壁(24)
设置在所述第一障壁(21)和所述第二障壁(22)的周向外侧,所述第一障壁(21)、所
述第二障壁(22)、所述第三障壁(23)和所述第四障壁(24)中的任意两者之间、所述
第三障壁(23)与所述壳体(10)之间以及所述第四障壁(24)与所述壳体(10)之间
形成所述气流通道。
5.根据权利要求4所述的扩散炉尾气收集装置,其特征在于,所述第三障壁(23)和所述
第四障壁(24)的截面呈圆弧状,并且所述第三障壁(23)的半径小于所述第四障壁(24)
的半径。
6.根据权利要求5所述的扩散炉尾气收集装置,其特征在于,所述第一障壁(21)的开口
方向与所述第二障壁(22)的开口方向沿第一径向方向彼此相对,所述第一障壁(21)
的侧边沿与所述第二障壁(22)的侧边沿之间形成所述气流通道的第一通道间隙,所述
第四障...
【专利技术属性】
技术研发人员:王英超,郎芳,李高非,史金超,
申请(专利权)人:英利集团有限公司,
类型:新型
国别省市:河北;13
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