The invention discloses a method of calibration of piezoresistive sensor, the zero drift in the measurement of temperature and several other temperature pressure sensor value and sensitivity drift values, and different pressure under ambient temperature and its corresponding AD value pressure parameter table stored in the pressure sensor, then get legal pressure sensor zero drift in the whole temperature range of its work in value and sensitivity drift value through the calculation by curve fitting, can be arbitrary temperature pressure sensor AD value is converted to normal temperature AD value, finally the control parameter table, and then get the pressure measurement compensation value after the direct method; the use of zero drift and sensitivity drift parameter - pressure sensor, the pressure sensor after correction of high precision, simple operation.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及压力传感器的校准方法,具体指一种带有温度补偿的压力传感器校准方法。
技术介绍
扩散硅压阻式传感器已广泛应用于压力计、流量计等压力检测仪器仪表领域。扩散硅压力传感器的特性会随着温度的变化而变化,影响传感器感知压力的精准度,所以实际使用中需要通过对压力传感器进行校准,从而提高其精准度。影响扩散硅压阻式传感器特性的关键因素是零点漂移和灵敏度漂移。但是,现有的带温度补偿的压力传感器的校准方法还没有直接利用零点漂移和灵敏度漂移来对压力传感器进行温度补偿。直接利用特定温度点的零点漂移值和灵敏度漂移值对压力传感器进行温度补偿,是一种新的温度补偿方法,其方法简单,温度范围广,压力检测精度较高。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服现有技术中所存在的上述不足,提供一种利用传感器的零点漂移和灵敏度漂移,通过温度补偿的方式校准传感器的方法。为了实现上述专利技术目的,本专利技术提供了以下技术方案:一种带温度补偿的压力传感器校准方法,通过利用所述传感器的零点漂移值和灵敏度漂移值进行传感器校准,其操作包括以下步骤:步骤1:在常温T0下,由压力源向压力传感器提供一组压力值P0、P1、P2、...、Pm,并记录对应压力下压力传感器的AD值,AD0、AD1、AD2、...ADm,对应关系如下表一:表-1P(kpa)P0P1P2...PmADAD0AD1AD2... ...
【技术保护点】
1.一种带温度补偿的压力传感器校准方法,包括以下步骤:步骤1:在常温T0下,由压力源向压力传感器提供一组压力值P0、P1、P2、...、Pm,并记录对应压力下压力传感器的AD值,AD0、AD1、AD2、...ADm,对应关系如下表一: 表一 P(kpa)P0P1P2...Pm ADAD0AD1AD2...ADm将该表的数据存入所述压力传感器的压力参数表中;步骤2:根据步骤1中所得的数据,通过计算得到常温T0下所述压力传感器的零点漂移值aT0和灵敏度漂移值bT0,其中:,上述式子中:m为测试点个数,为提供的标准压力值,为传感器AD值的平均值;步骤3:根据上述获取常温T0下所述压力传感器的零点漂移值aT0和灵敏度漂移值bT0的方法,获得其它测试温度点下,所述压力传感器对应的零度漂移值和灵敏度漂移值,如表二所示:表二 TT1T2 ...Tn aaT1aT2 ...aTn bbT1bT2 ...bTn步骤4:将上述在温度T0、T1、T1、...、Tn,所述压力传感器对应的零度漂移值和灵敏度漂移值(aT0,bT0),(aT1,bT1),(aT2,bT2),...,(aTn ...
【技术特征摘要】
1.一种带温度补偿的压力传感器校准方法,包括以下步骤:
步骤1:在常温T0下,由压力源向压力传感器提供一组压力值P0、P1、P2、...、Pm,并记录对应压力下压力传感器的AD值,AD0、AD1、AD2、...ADm,对应关系如下表一:
表一
P(kpa)P0P1P2...PmADAD0AD1AD2...ADm将该表的数据存入所述压力传感器的压力参数表中;
步骤2:根据步骤1中所得的数据,通过计算得到常温T0下所述压力传感器的零点漂移值aT0和灵敏度漂移值bT0,其中:,上述式子中:m为测试点个数,为提供的标准压力值,为传感器AD值的平均值;
步骤3:根据上述获取常温T0下所述压力传感器的零点漂移值aT0和灵敏度漂移值bT0的方法,获得其它测试温度点下,所述压力传感器对应的零度漂移值和灵敏度漂移值,如表二所示:
表二
TT1T2...TnaaT1aT2...aTnbbT1bT2...bTn步骤4:将上述在温度T0、T1、T1、...、Tn,所述压力传感器对应的零度漂移值和灵敏度漂移值(aT0,bT0),(aT1,bT1),(aT2,bT2),...,(aTn,bTn),...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘勋,
申请(专利权)人:成都千嘉科技有限公司,
类型:发明
国别省市:四川;51
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