带有作为接地屏蔽的集成去耦的平衡-非平衡转换器制造技术

本发明专利技术涉及带有作为接地屏蔽的集成去耦的平衡-非平衡转换器。提供了一种装置。在第一区域中形成传输线单元。在一部分第一区域内的传输线单元上方形成第一金属化层。至少一部分第一金属化层电耦合到多个传输线单元。在第一金属化层上方形成第二金属化层，其具有互连部分、交叠部分和第一平衡-非平衡转换器。互连部分至少部分延伸到第一区域中，并且交叠部分在第一区域内。第一平衡-非平衡转换器绕组电耦合到交叠部分并部分延伸到第二区域中。第一区域部分围绕第二区域。在第二金属化层上方形成第三金属化层，其具有在第二区域内的第二平衡-非平衡转换器绕组，其中第二绕组与第一平衡-非平衡转换器绕组大致同轴。

Balanced decoupling balun with integrated decoupling as ground shield

The present invention relates to an integrated decoupling balanced balun that serves as a ground shield. A device is provided. A transmission line element is formed in the first region. A first metallization layer is formed over a transmission line unit in a portion of the first region. At least a portion of the first metallization layer is electrically coupled to a plurality of transmission line units. A second metallization layer is formed over the first metallization layer having an interconnecting portion, an overlap portion, and a first balanced non-equilibrium converter. The interconnecting portion is at least partially extended to the first region, and the overlap portion is in the first region. The first balun converter windings are electrically coupled to the overlap portion and partially extended to the second region. The first zone portion surrounds the second region. A third metallization layer is formed over the second metallization layer having a second balanced non balanced converter winding in the second region, wherein the second winding is substantially coaxial with the first balun converter winding.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术总体涉及变压器，更具体地涉及带有作为接地屏蔽的集成去耦的平衡-非平衡转换器。
技术介绍
在集成电路（IC）内，采用传输线单元或元件的传输线是众所周知的。通常，这些传输线单元的不同高度可以改变单元（以及传输线）的特性。即，阻抗与高度成反比。然而，通常在阻抗和空间（布局）规范之间存在权衡。此外，许多部件例如平衡-非平衡转换器使用不同的输入阻抗。常规的传输线单元的一个示例可以参见2010年9月22日提交的题为“LOWIMPEDANCETRANSMISSIONUNIT”的美国专利US12/888,208，为了所有目的通过引用将该专利合并于此。如示出的，传输线耦合到平衡-非平衡转换器，但是该传输线基本上是线性的并与平衡-非平衡转换器隔开，以便不干扰特性。结果，浪费了面积。因此，希望传输线与平衡-非平衡转换器一起使用而不干扰其特性，并使用较小的面积。
技术实现思路
根据本专利技术，提供了一种装置。该装置包括：形成在第一区域中的多个传输线单元；形成在一部分第一区域内的多个传输线单元上方的第一金属化层，其中至少一部分第一金属化层电耦合到该多个传输线单元；形成在第一金属化层上方的第二金属化层，其中第二金属化层包括：至少部分延伸到第一区域中的互连部分；在第一区域内的交叠部分；电耦合到交叠部分且部分延伸到第二区域中的第一平衡-非平衡转换器绕组，其中第一区域部分围绕第二区域；以及形成在第二金属化层上方的第三金属化层，其具有在第二区域内的第二平衡-非平衡转换器绕组，其中第二绕组与第一平衡-非平衡转换器绕组大致同轴。根据本专利技术，第一区域包括开口，并且其中第一平衡-非平衡转换器绕组包括延伸穿过该开口的第一和第二引线。根据本专利技术，交叠部分还包括第一交叠部分和第二交叠部分，并且其中互连部分位于第一和第二交叠部分之间。根据本专利技术，第一平衡-非平衡转换器绕组还包括耦合到第二交叠部分且与第一和第二引线相反的第三引线。根据本专利技术，互连部分还包括第一互连部分和第二互连部分。根据本专利技术，第二平衡-非平衡转换器绕组还包括：耦合到第一互连部分的第四引线；以及耦合到第二互连部分的第五引线。根据本专利技术，提供了一种装置。该装置包括：第一区域；第二区域，其中第一区域基本上围绕第二区域的至少一部分，并且其中第一区域包括开口；形成在第一区域中的多个传输线单元；形成在第一区域中的具有多个部分的第一金属化层，该多个部分电耦合到多个传输线单元；形成在第一金属化层上方的第二金属化层，其中第二金属化层包括：至少部分延伸到第一区域中的互连部分；在第一区域内的交叠部分；电耦合到交叠部分且部分延伸到第二区域中的第一平衡-非平衡转换器绕组，其中第一区域部分围绕第二区域；以及形成在第二金属化层上方的第三金属化层，其具有在第二区域内的第二平衡-非平衡转换器绕组，其中第二绕组与第一平衡-非平衡转换器绕组大致同轴。根据本专利技术，互连部分还包括第一互连部分和第二互连部分。根据本专利技术，第二平衡-非平衡转换器绕组还包括：耦合到第一互连部分的第一引线；以及耦合到第二互连部分的第二引线。根据本专利技术，第一和第二引线指向第一方向，并且其中第一平衡-非平衡转换器绕组包括延伸穿过开口并指向第二方向的第一和第二引线，并且其中第一方向大致垂直于第二方向。根据本专利技术，交叠部分还包括第一交叠部分和第二交叠部分，并且其中互连部分位于第一和第二交叠部分之间。根据本专利技术，第一平衡-非平衡转换器绕组还包括耦合到第二交叠部分并指向第三方向的第三引线，其中第三方向大致垂直于第一方向并与第二方向相反。根据本专利技术，提供了一种装置。该装置包括：平衡-非平衡转换器，其具有：由第一金属化层的第一部分形成的第一绕组，其中第一绕组具有指向第一方向的第一和第二引线和指向第二方向的第三引线，并且其中第二方向与第一方向相反；以及由至少一部分第二金属化层形成的第二绕组，其中第二绕组具有指向第三方向的第四和第五引线，其中第三方向大致垂直于第一和第二方向，并且其中第二绕组形成在第一绕组上方并与第一绕组大致同轴；沿平衡-非平衡转换器的外围的至少一部分形成的传输线，其中传输线包括：多个传输线单元；由至少一部分第三金属化层形成的第一导电平面，其在传输线上方延伸，其中至少一部分第一导电平面电耦合到传输线；由第二金属化层的第二部分形成的第二导电平面，其中第二导电平面在至少一部分第一导电平面上方延伸，并且其中第二导电平面电耦合到第三引线；由第二金属化层的第三部分形成的第一互连，其中第一互连电耦合到第四引线；以及由第二金属化层的第四部分形成的第二互连，其中第二互连电耦合到第一导电平面和第五引线。根据本专利技术，装置还包括：耦合在第二互连和第一导电平面之间的第一组通孔；以及耦合在第五引线和第二互连之间的第二组通孔。根据本专利技术，第一、第二和第三金属化层由铜或铝形成。根据本专利技术，第一和第二组通孔由钨形成。上述内容相当广泛地概述了本专利技术的特征和技术优势，以便可以更好地理解下列本专利技术的详细描述。本专利技术的额外的特征和优势将在下文描述，它们形成本专利技术的权利要求的主题。本领域技术人员将理解，可以容易地将所公开的概念和具体的实施例用作修改或设计用于实施本专利技术的相同的目的的其它结构的基础。本领域技术人员也应当认识到，这样的等效结构并不脱离所附权利要求所阐述的本专利技术的精神和范围。附图说明为了更完整地理解本专利技术及其优势，现在结合附图参考下列描述，在附图中：图1-5是根据本专利技术的变压器的各层的示例的框图。具体实施方式现在参考附图，其中为了简洁的目的，所描绘的元件不一定按比例示出，并且其中在若干视图中，相同或相似的元件由同一参考数字指代。在图1-图5中，可以看到变压器100的示例。该变压器100包括传输线和平衡-非平衡转换器，它们分别形成在传输线区域104和平衡-非平衡转换器区域102中。传输线通常为平衡-非平衡转换器的端子形成高损耗低阻抗的端接（termination）。如该示例中所示，传输线区域104沿平衡-非平衡转换器区域102的外围的一部分形成，以便基本上围绕平衡-非平衡转换器区域102。在该示例中，因为存在开口，所以传输线区域104没有完全围绕平衡-非平衡转换器区域102。在图2中可以更清楚地看到，传输线通常由单元106形成。在2010年9月22日提交的题为“LOWIMPEDANCETRANSMISSI本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种装置，其包含：形成在第一区域中的多个传输线单元；形成在一部分所述第一区域内的所述多个传输线单元上方的第一金属化层，其中至少一部分所述第一金属化层电耦合到所述多个传输线单元；形成在所述第一金属化层上方的第二金属化层，其中所述第二金属化层包括：至少部分延伸到所述第一区域中的互连部分；在所述第一区域内的交叠部分；电耦合到所述交叠部分并部分延伸到第二区域中的第一平衡‑非平衡转换器绕组，其中所述第一区域部分围绕所述第二区域；以及形成在所述第二金属化层上方的第三金属化层，其具有在所述第二区域内的第二平衡‑非平衡转换器绕组，其中所述第二绕组与所述第一平衡‑非平衡转换器绕组大致同轴。

【技术特征摘要】
2012.11.21 US 13/683,7351.一种装置，其包含：
形成在第一区域中的多个传输线单元；
形成在一部分所述第一区域内的所述多个传输线单元上方的第一金
属化层，其中至少一部分所述第一金属化层电耦合到所述多个传输线单
元；
形成在所述第一金属化层上方的第二金属化层，其中所述第二金属
化层包括：
至少部分延伸到所述第一区域中的互连部分；
在所述第一区域内的交叠部分；
电耦合到所述交叠部分并部分延伸到第二区域中的第一平衡-非
平衡转换器绕组，其中所述第一区域部分围绕所述第二区域；以及
形成在所述第二金属化层上方的第三金属化层，其具有在所述第二
区域内的第二平衡-非平衡转换器绕组，其中所述第二绕组与所述第一平
衡-非平衡转换器绕组大致同轴。
2.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一区域包括开口，并且
其中所述第一平衡-非平衡转换器绕组包括延伸穿过所述开口的第一引线
和第二引线。
3.根据权利要求2所述的装置，其中所述交叠部分还包括第一交叠
部分和第二交叠部分，并且其中所述互连部分位于所述第一和第二交叠
部分之间。
4.根据权利要求3所述的装置，其中所述第一平衡-非平衡转换器绕
组还包括耦合到所述第二交叠部分且与第一和第二引线相反的第三引
线。
5.根据权利要求4所述的装置，其中所述互连部分还包括第一互连

\t部分和第二互连部分。
6.根据权利要求5所述的装置，其中所述第二平衡-非平衡转换器绕
组还包括：
耦合到所述第一互连部分的第四引线；以及
耦合到所述第二互连部分的第五引线。
7.一种装置，其包含：
第一区域；
第二区域，其中所述第一区域基本上围绕所述第二区域的至少一部
分，并且其中所述第一区域包括开口；
形成在所述第一区域中的多个传输线单元；
形成在所述第一区域中的具有多个部分的第一金属化层，所述多个
部分电耦合到所述多个传输线单元；
形成在所述第一金属化层上方的第二金属化层，其中所述第二金属
化层包括：
至少部分延伸到所述第一区域中的互连部分；
在所述第一区域内的交叠部分；
电耦合到所述交叠部分且部分延伸到第二区域中的第一平衡-非
平衡转换器绕组，其中所述第一区域部分围绕所述第二区域；以及
形成在所述第二金属化层上方的第三金属化层，其具有在所述第二
区域内的第二平衡-非平衡转换器绕组，其中所述第二绕组与所述第一平
衡-非平衡转换器绕组大致同轴。
8.根据权利要求7所述的装...

【专利技术属性】
技术研发人员：S·桑卡兰，B·P·金斯伯格，V·B·伦塔拉，S·M·拉马斯瓦米，E·赛奥克，B·哈龙，B·A·克雷默，H·阿里，N·C·沃克，
申请(专利权)人：德克萨斯仪器股份有限公司，
类型：发明
国别省市：美国;US