生态化照明LED器件的制备方法技术

本发明专利技术公开了一种生态化照明LED器件的制备方法，包括如下步骤：S1：提供蓝宝石衬底，在蓝宝石衬底上制备高反射率的多层介质薄膜；S2：在多层介质薄膜上沉积铝膜；S3：通过掩膜和刻蚀获得图形化结构；S4：去除掩膜；S5：低温热处理，使图形化结构中的铝膜充分氧化为图形化多晶三氧化二铝膜；高温热处理，使图形化多晶三氧化二铝膜转化为单晶三氧化二铝膜。与现有图形化技术相比，本发明专利技术制作方法通过先制作图形化金属铝，在通过分段氧化的方法形成蓝宝石结构，降低了制作工艺难度和制作成本。本方法中的图形化结构包括多层介质反射层，以此制作的图形化衬底能大大提高光的取出效率，从而提高LED器件发光效率，具有重大的意义。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】PCT国内申请，说明书已公开。

【技术保护点】
PCT国内申请，权利要求书已公开。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.11....

【专利技术属性】
技术研发人员：常君斌，
申请(专利权)人：苏州瀚墨材料技术有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32