防护膜框架把持装置以及防护膜框架把持方法制造方法及图纸

即使在防护膜框架等产生了形变的情况下，也无需作业者介入就能够把持防护膜框架。由分别设置于防护膜把持构件的计测部连续地取得防护膜把持构件以及形成于防护膜组件(100)的侧面的槽的高度，所述防护膜把持构件在被以规定间隔保持为大致水平的两根棒(213、214)上分别各设置有多个。在使容器主体(11)向上方移动且防护膜把持构件的高度与槽的高度大致一致的情况下，将防护膜把持构件插入到槽，若防护膜把持构件被插入至槽则使容器主体(11)向下方移动。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】防护膜框架把持装置以及防护膜框架把持方法
本专利技术涉及防护膜框架把持装置以及防护膜框架把持方法。
技术介绍
在专利文献1中公开了一种防护膜框架去除方法：在对粘贴有防护膜框架的基板的外周部进行保持之后，使细棒相对于在构成防护膜框架的对置边的两个边各自的外侧面的多个部位设置的孔分别进行对位并将细棒插入该孔，由此来支承防护膜框架，朝向使防护膜框架均匀地远离基板的方向，对细棒施加与基板垂直的方向的力。在先技术文献专利文献专利文献1：日本特开2013-125120号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题防护膜框架的粘贴防护膜的面为宽广的薄板形状，因此在与粘贴防护膜的面正交的方向(高度方向)上产生形变的可能性大。然而，在专利文献1所记载的专利技术中，未考虑防护膜框架的形变。因此，在专利文献1所记载的专利技术中，在设置于防护膜框架的孔的位置因防护膜框架等的形变而在高度方向上错开的情况下，有可能产生细棒无法插入至在防护膜框架设置的孔中这一不良情况。本专利技术是鉴于这样的情况而做出的，其目的在于，提供即使在防护膜框架等产生了形变的情况下也无需作业者介入就能够把持防护膜框架的防护膜框架把持装置以及防护膜框架把持方法。用于解决课题的方案为了解决上述问题，本专利技术的防护膜框架把持装置的特征在于，例如具备：防护膜框架，其为大致中空筒状，所述防护膜框架具有：设置覆盖中空部的防护膜的第一端面、设置粘合构件的与所述第一端面大致平行的第二端面、以及形成有槽的侧面；保护片材，其粘贴于所述粘合构件；容器主体，其以所述第一面大致水平朝上且所述第二面大致水平朝下的状态载置所述防护膜框架，所述容器主体固定所述保护片材的一部分；第一驱动部，其使所述容器主体沿着与所述第一面大致正交的方向即上下方向移动；夹具框，其设置于所述容器主体的上方，所述夹具框具有：以规定间隔保持为大致水平的两根棒、在所述两根棒上分别各设置多个的多个防护膜把持构件、以及针对所述多个防护膜把持构件的每一个而设置的第二驱动部，所述第二驱动部使所述防护膜把持构件在所述防护膜把持构件插入到所述槽的第一位置与所述防护膜把持构件未插入到所述槽的第二位置之间沿着大致水平方向移动；计测部，其具有多个测距传感器，所述测距传感器在所述多个防护膜把持构件上分别各设置有一个，在所述防护膜把持构件处于所述第一位置时，所述测距传感器连续地计测所述防护膜把持构件的大致铅垂方向的位置即高度，在所述防护膜把持构件处于所述第二位置时，所述测距传感器连续地计测所述第一端面的高度；以及控制部，其基于由所述计测部连续地计测出的计测结果来求出所述防护膜把持构件以及所述槽的高度，并且控制所述第一驱动部以及所述第二驱动部，以便在使所述容器主体向上方移动且所述防护膜把持构件的高度与所述槽的高度大致一致的情况下，使所述防护膜把持构件从所述第二位置向所述第一位置移动，在所述防护膜把持构件全部移动至所述第一位置的情况下，使所述容器主体向下方移动。根据本专利技术的防护膜框架把持装置，连续地取得防护膜把持构件以及形成于防护膜框架的侧面的槽的高度。使容器主体向上方移动，基于防护膜把持构件以及槽的高度来将防护膜把持构件插入到槽，若防护膜把持构件被插入至槽则使容器主体向下方移动。由此，即使在防护膜框架等产生了形变的情况下，也无需作业者介入就能够把持防护膜框架。另外，针对防护膜把持构件的每一个而设置测距传感器，由此能够可靠地进行防护膜框架的把持。在此，也可以是，所述控制部在所述防护膜把持构件移动至所述第一位置的情况下，控制所述第一驱动部，以使所述容器主体向下方移动第一距离之后停止所述容器主体的移动，然后，在从所述计测部取得所述第一端面的高度向上方移动了所述第一距离这一情况时，所述控制部判定为所述保护片材与所述粘合构件已剥离。由此，无需作业者介入就能够检测出防护膜框架从容器主体剥离的情况。在此，也可以是，所述容器主体具有载置所述防护膜框架的大致矩形形状的上表面，所述第一驱动部具有：第一致动器，其使所述上表面的第一边的中央附近移动；第二致动器以及第三致动器，它们使所述上表面的比与所述第一边大致平行的第二边的中央接近端部的位置分别移动，所述控制部分别控制所述第一致动器、所述第二致动器以及所述第三致动器。由此，能够以各种实施方式进行防护膜框架的移动。在此，也可以是，所述控制部在使所述容器主体向上方移动时，控制所述第一致动器、所述第二致动器以及所述第三致动器，以使如下两个相对位置大致相同，即，基于由所述计测部具有的多个测距传感器中的第一测距传感器计测出的结果而求出的所述防护膜把持构件与所述槽的相对位置、和基于由与所述第一测距传感器不同的第二测距传感器计测出的结果而求出的所述防护膜把持构件与所述槽的相对位置。由此，即使在防护膜框架存在形变等的情况下也能够使槽的高度大致相同，能够缩短将防护膜把持构件插入到槽所需的时间。在此，也可以是，所述保护片材在所述第一边的中央附近固定于所述上表面，所述控制部在使所述容器主体向下方移动时，首先驱动所述第一致动器。由此，能够以较弱的力将保护片材从粘合层剥离。在此，也可以是，所述夹具框具有设置于所述两根棒的端部附近的转动轴，所述两根棒设置为能够以所述转动轴为中心转动大致90度。由此，能够使用一个防护膜框架把持装置来把持防护膜框架并且将防护膜框架粘贴于光掩模等。另外，通过针对防护膜把持构件的每一个而设置测距传感器，从而无需作业者介入就能够检测出防护膜框架粘贴于光掩模等的情况。在此，也可以是，所述防护膜框架把持装置具有定位构件，该定位构件在所述两根棒大致水平配置时，对所述两根棒的未设置所述转动轴的一侧的端部的在与所述第一端面正交的方向上的位置进行定位。由此，能够稳定地将夹具框保持于剥离位置。在此，也可以是，所述夹具框具有作为所述两根棒的第一棒及第二棒、以及与所述第一棒及所述第二棒大致正交的第三棒及第四棒，所述第一棒、所述第二棒以及所述第三棒分别设置为能够沿着与长边方向大致正交的方向移动。由此，能够把持各种大小的防护膜框架。在此，也可以是，所述夹具框具有移动机构，该移动机构使所述防护膜把持构件沿着与所述第一端面正交的方向移动。由此，在对防护膜把持构件施加了与第一端面正交的方向上的较强的力的情况下，能够防止防护膜把持构件的变形、破坏等。为了解决上述问题，本专利技术的防护膜框架把持方法的特征在于，例如将在夹具框的被以规定间隔保持为大致水平的两根棒上分别各设置多个的多个防护膜把持构件配置于第一位置，所述夹具框设置于容器主体的上方，大致中空筒状的防护膜框架具有：设置覆盖中空部的防护膜的第一端面、设置粘合构件的与所述第一端面大致平行的第二端面以及形成有槽的侧面，所述防护膜框架以所述第一面大致水平朝上且所述第二面大致水平朝下的状态载置于所述容器主体，该容器主体将被粘贴于所述粘合构件的保护片材的一部分固定，所述第一位置是使所述防护膜把持构件插入到所述槽的位置，基于在所述多个防护膜把持构件上分别各设置有一个的测距传感器的计测结果来求出所述防护膜把持构件的高度，使所述防护膜把持构件从所述第一位置向所述防护膜把持构件未插入到所述槽的第二位置移动，在所述容器主体向上方移动的同时，基于所述测距传感器的计测结果来求出所述槽的高度，当该求出的所述槽的高度与所述防护膜把持构件本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种防护膜框架把持装置，其特征在于，具备：防护膜框架，其为大致中空筒状，所述防护膜框架具有：设置覆盖中空部的防护膜的第一端面、设置粘合构件的与所述第一端面大致平行的第二端面、以及形成有槽的侧面；保护片材，其粘贴于所述粘合构件；容器主体，其以所述第一面大致水平朝上且所述第二面大致水平朝下的状态载置所述防护膜框架，所述容器主体固定所述保护片材的一部分；第一驱动部，其使所述容器主体沿着与所述第一面大致正交的方向即上下方向移动；夹具框，其设置于所述容器主体的上方，所述夹具框具有：以规定间隔保持为大致水平的两根棒、在所述两根棒上分别各设置多个的多个防护膜把持构件、以及针对所述多个防护膜把持构件的每一个而设置的第二驱动部，所述第二驱动部使所述防护膜把持构件在所述防护膜把持构件插入到所述槽的第一位置与所述防护膜把持构件未插入到所述槽的第二位置之间沿着大致水平方向移动；计测部，其具有多个测距传感器，所述测距传感器在所述多个防护膜把持构件上分别各设置有一个，在所述防护膜把持构件处于所述第一位置时，所述测距传感器连续地计测所述防护膜把持构件的大致铅垂方向的位置即高度，在所述防护膜把持构件处于所述第二位置时，所述测距传感器连续地计测所述第一端面的高度；以及控制部，其基于由所述计测部连续地计测出的计测结果来求出所述防护膜把持构件以及所述槽的高度，并且控制所述第一驱动部以及所述第二驱动部，以便在使所述容器主体向上方移动且所述防护膜把持构件的高度与所述槽的高度大致一致的情况下，使所述防护膜把持构件从所述第二位置向所述第一位置移动，在所述防护膜把持构件全部移动至所述第一位置的情况下，使所述容器主体向下方移动。...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.02.19 JP 2015-0309111.一种防护膜框架把持装置，其特征在于，具备：防护膜框架，其为大致中空筒状，所述防护膜框架具有：设置覆盖中空部的防护膜的第一端面、设置粘合构件的与所述第一端面大致平行的第二端面、以及形成有槽的侧面；保护片材，其粘贴于所述粘合构件；容器主体，其以所述第一面大致水平朝上且所述第二面大致水平朝下的状态载置所述防护膜框架，所述容器主体固定所述保护片材的一部分；第一驱动部，其使所述容器主体沿着与所述第一面大致正交的方向即上下方向移动；夹具框，其设置于所述容器主体的上方，所述夹具框具有：以规定间隔保持为大致水平的两根棒、在所述两根棒上分别各设置多个的多个防护膜把持构件、以及针对所述多个防护膜把持构件的每一个而设置的第二驱动部，所述第二驱动部使所述防护膜把持构件在所述防护膜把持构件插入到所述槽的第一位置与所述防护膜把持构件未插入到所述槽的第二位置之间沿着大致水平方向移动；计测部，其具有多个测距传感器，所述测距传感器在所述多个防护膜把持构件上分别各设置有一个，在所述防护膜把持构件处于所述第一位置时，所述测距传感器连续地计测所述防护膜把持构件的大致铅垂方向的位置即高度，在所述防护膜把持构件处于所述第二位置时，所述测距传感器连续地计测所述第一端面的高度；以及控制部，其基于由所述计测部连续地计测出的计测结果来求出所述防护膜把持构件以及所述槽的高度，并且控制所述第一驱动部以及所述第二驱动部，以便在使所述容器主体向上方移动且所述防护膜把持构件的高度与所述槽的高度大致一致的情况下，使所述防护膜把持构件从所述第二位置向所述第一位置移动，在所述防护膜把持构件全部移动至所述第一位置的情况下，使所述容器主体向下方移动。2.根据权利要求1所述的防护膜框架把持装置，其特征在于，所述控制部在所述防护膜把持构件移动至所述第一位置的情况下，控制所述第一驱动部，以使所述容器主体向下方移动第一距离之后停止所述容器主体的移动，然后，在从所述计测部取得所述第一端面的高度向上方移动了所述第一距离这一情况时，所述控制部判定为所述保护片材与所述粘合构件已剥离。3.根据权利要求1所述的防护膜框架把持装置，其特征在于，所述容器主体具有载置所述防护膜框架的大致矩形形状的上表面，所述第一驱动部具有：第一致动器，其使所述上表面的第一边的中央附近移动；第二致动器以及第三致动器，它们使所述上表面的比与所述第一边大致平行的第二边的中央接近端部的位置分别移动，所述控制部分别控制所述第一致动器、所述第二致动器以及所述第三致动器。4.根据权利要求3所述的防护膜框架把持装置，其特征在于，所述控制部在使所述容器...

【专利技术属性】
技术研发人员：杉本重人，
申请(专利权)人：株式会社V技术，
类型：发明
国别省市：日本,JP