【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】工具自动教导方法和设备相关申请的交叉引用本申请是2015年10月28日提交的美国临时申请第62/247,647号、2015年7月13日提交的美国临时专利申请第62/191,829号、2014年11月11日提交的美国临时专利申请第62/078,345号以及2014年11月10日提交的美国临时专利申请第62/077,775号的非临时申请案并且要求上述临时申请案的权益,上述申请案的全部公开内容通过引用的方式并入本文。背景1.
示例性实施例一般涉及基板处理系统,并且更具体地涉及基板处理系统的部件的校准和同步。2.
技术介绍
基板处理设备通常能够在基板上执行多种处理。基板处理设备一般包括传送室和联接至该传送室的一个或多个处理模块。传送室内的基板运输机器人在处理模块之间移动基板,在处理模块处执行诸如溅射、蚀刻、涂覆、浸渍等的不同操作。例如,由半导体器件制造商和材料生产商使用的生产工艺往往要求将基板精确地定位在基板处理设备中。一般通过将处理模块的位置教导给基板运输机器人来提供基板的精确位置。一般而言,对基板运输机器人的教导包括:使用添加到基板处理设备的专用教导传感器,利用由基板运输机器人承载的仪表化基板(例如,机载传感器或摄像头),利用置于基板处理设备的处理模块或者其它基板保持站内的可移除夹具,利用位于处理模块内或者在处理模块处可从外部触及的晶片定中传感器,利用设置在处理模块外部的传感器(例如,摄像头),或者通过将处理模块内的目标与基板运输机器人或者由基板运输机器人承载的物体相接触,来检测机器人和/或由机器人承载的基板的位置。这些教导基板处理设备内的位置的方法可能会要求 ...
【技术保护点】
一种处理工具,包括:框架;基板运输器,所述基板运输器连接至所述框架并且具有被构造成支撑基板的末端执行器;以及基板运输设备自动教导系统,所述基板运输设备自动教导系统用于自动教导基板站位置,所述自动教导系统包括控制器,所述控制器被构造成:使所述基板运输器移动,使得所述基板运输器抵靠基板站部件轻碰支撑在所述末端执行器上的所述基板,从而引起所述基板与所述末端执行器之间的偏心度的变化,确定所述偏心度的变化,以及至少基于所述基板与所述末端执行器之间的所述偏心度的变化来确定所述基板站位置。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.11.10 US 62/077,775;2014.11.11 US 62/078,345;1.一种处理工具,包括:框架;基板运输器,所述基板运输器连接至所述框架并且具有被构造成支撑基板的末端执行器;以及基板运输设备自动教导系统,所述基板运输设备自动教导系统用于自动教导基板站位置,所述自动教导系统包括控制器,所述控制器被构造成:使所述基板运输器移动,使得所述基板运输器抵靠基板站部件轻碰支撑在所述末端执行器上的所述基板,从而引起所述基板与所述末端执行器之间的偏心度的变化,确定所述偏心度的变化,以及至少基于所述基板与所述末端执行器之间的所述偏心度的变化来确定所述基板站位置。2.根据权利要求1所述的处理工具,其中,基板站位置是所述基板站的Z位置。3.根据权利要求1所述的处理工具,进一步包括基板定位单元,所述基板定位单元连接至所述框架并且包括连接至所述框架的自动晶片定中(AWC)单元。4.根据权利要求1所述的处理工具,其中,所述基板站部件位于其中具有真空压力环境的处理模块内。5.根据权利要求4所述的处理工具,其中,所述真空压力环境为高真空。6.根据权利要求4所述的处理工具,其中,在所述真空压力环境中,所述基板运输器抵靠基板站部件偏压支撑在所述末端执行器上的所述基板。7.根据权利要求1所述的处理工具,其中,所述基板站部件位于处理模块内,所述处理模块处于用于处理基板的处理安全性状态中。8.根据权利要求1所述的处理工具,其中,所述控制器包括嵌入式抓取/放置命令以便使所述基板运输器移动并且偏压所述基板。9.根据权利要求1所述的处理工具,其中,所述控制器包括嵌入式基板定位命令以便确定所述基板偏心度。10.根据权利要求1所述的处理工具,其中,所述基板是代表性的教导晶片或者假晶片。11.一种用于基板站位置的原位自动教导的方法,包括:在基板保持站上设置确定性站部件,所述确定性站部件确定性地限定与所述确定性站部件接触的基板的预定位置,所述预定位置与所述基板保持站具有预定关系并且识别所述基板保持站;通过所述基板与至少一个确定性站部件之间的接触来确定所述基板的公共偏心度;以及基于所述公共偏心度来确定所述基板保持站的教导位置。12.一种用于自动教导基板保持位置的基板运输设备自动教导系统,包括:框架;基板保持站,所述基板保持站连接至所述框架并且具有确定性站部件,所述确定性站部件确定性地限定与所述确定性站部件接触的基板的预定位置,所述预定位置与所述基板保持站具有预定关系并且识别所述基板保持站;基板运输设备,所述基板运输设备连接至所述框架并且被构造成使所述基板移动;以及控制器,所述控制器被构造成:通过所述基板与至少一个确定性站部件之间的接触来确定所述基板的公共偏心度;以及基于所述公共偏心度来确定所述基板保持站的教导位置。13.根据权利要求12所述的系统,其中,所述控制器被进一步构造成:通过控制所述基板运输设备来建立所述确定性站部件在所述基板运输设备的坐标系中的位置,从而使所述基板与所述至少一个确定性站部件接触并且确定所述基板的偏心度。14.根据权利要求13所述的系统,其中,所述控制器被进一步构造成:在所述至少一个确定性站部件与所述基板之间执行反复接触,以确认所述基板相对于所述坐标系的所述偏心度,直到所述偏心度的变化变成所述公共偏心度。15.根据权利要求14所述的系统,其中,所述控制器被构造成:对于每次反复接触,执行所述基板的偏心度确定。16.根据权利要求14所述的系统,其中,所述控制器被构造成:对于每次反复接触,基于所述偏心度确定来执行所述基板相对于基板运输器的重新定位。17.根据权利要求13所述的系统,其中,所述控制器被进一步构造成:通过所述基板相对于所述基板保持站的所述预定位置以及所述基板运输设备的中心位置,确定所述基板保持站在所述坐标系中的所述教导位置。18.根据权利要求12所述的系统,其中,所述控制器被进一步构造成:基于所述公共偏心度来确定所述基板的所述预定位置以及所述运输设备的中心位置。19.根据权利要求12所述的系统,其中,所述控制器被构造成从公共方向执行所述基板与至少一个站部件之间的接触。20.根据权利要求12所述的系统,其中,所述基板保持站的所述教导位置在原位被确定至所述基板保持站。21.根据权利要求12所述的系统,其中,所述公共偏心度是晶片传感器的信号噪声内的偏心度,所述晶片传感器被构造成检测所述基板以用于确定所述公共偏心度。22.根据权利要求12所述的系统,其中,所述基板运输器包括:末端执行器,所述末端执行...
【专利技术属性】
技术研发人员:JT莫拉,A高利克,R塞德普拉扎,
申请(专利权)人:布鲁克斯自动化公司,
类型:发明
国别省市:美国,US
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