【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于漂洗与干燥基板的系统和方法本申请案主张美国非先行申请案第14/602,201号的优先权,其申请于2015年1月21日,且标题为“用于漂洗与干燥基板的系统与方法(SYSTEMSANDMETHODSFORRINSINGANDDRYINGSUBSTRATES)”(事务所案号为NO.22586/USA),第14/602,201号申请案主张美国临时申请案第62/094,938号的优先权,其申请于2014年12月19日,且标题为“基板漂洗系统与方法(SUBSTRATERINSINGSYSTEMSANDMETHODS)”(事务所案号为NO.22585/L),上述每一者在此以引用的方式针对所有目的将其全部并入。本申请案涉及美国申请案序号第14/593,841号,其申请于2015年1月9日,且标题为“基板固持器组件、设备、与方法(SUBSTRATEHOLDERASSEMBLY,APPARATUS,ANDMETHODS)”(事务所案号为NO.22564),本文以引用的方式针对所有目的将其全部并入。本申请案涉及美国申请案序号第14/602,094号,其申请于2015年1月21日,且标题为“基板夹持器设备与方法(SUBSTRATEGRIPPERAPPARATUSANDMETHODS)”(事务所案号为NO.22600),本文以引用的方式针对所有目的将其全部并入。本申请案涉及美国申请案序号第14/602,114号,其申请于2015年1月21日,且标题为“基板边缘残留物移除系统、设备、与方法(SUBSTRATEEDGERESIDUEREMOVALSYSTEMS,APPARATUS,A ...
【技术保护点】
一种系统,包括:装载位置;干燥位置;可移动槽,所述可移动槽配置为:固持至少一个基板;固持清洗化学品,以将所述可移动槽内的基板暴露至所述清洗化学品;及在所述装载位置与所述干燥位置之间转移;及干燥站,所述干燥站位于所述干燥位置处,并且配置为当所述可移动槽位于所述干燥位置处时,随着基板从所述可移动槽卸除,漂洗并干燥所述基板。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.12.19 US 62/094,938;2015.01.21 US 14/602,2011.一种系统,包括:装载位置;干燥位置;可移动槽,所述可移动槽配置为:固持至少一个基板;固持清洗化学品,以将所述可移动槽内的基板暴露至所述清洗化学品;及在所述装载位置与所述干燥位置之间转移;及干燥站,所述干燥站位于所述干燥位置处,并且配置为当所述可移动槽位于所述干燥位置处时,随着基板从所述可移动槽卸除,漂洗并干燥所述基板。2.如权利要求1所述的系统,其中所述装载位置与所述干燥位置被横向间隔开。3.如权利要求1所述的系统,进一步包括基板固持器,所述基板固持器配置为:固持所述可移动槽内的基板;当所述可移动槽位于所述装载位置处时,从高架基板转移机构接收基板;及当所述可移动槽位于所述干燥位置处时,从所述可移动槽通过所述干燥站卸除基板。4.如权利要求3所述的系统,其中所述可移动槽具有基于所述基板固持器的形状的内部形状。5.如权利要求1所述的系统,其中所述干燥站包括蒸汽干燥源与漂洗流体源,配置为在基板从位于所述干燥位置处的所述可移动槽卸除时,利用漂洗流体来漂洗所述基板并且干燥所述基板。6.如权利要求1所述的系统,进一步包括至少第一装载位置与第二装载位置以及至少第一干燥位置与第二干燥位置,且其中所述可移动槽配置为在所述第一装载位置与第二装载位置以及所述第一干燥位置与第二干燥位置之间移动。7.一种方法,包括下述步骤:提供可移动槽,所述可移动槽配置为固持至少一个基板,并且在装载位置与干燥位置之间转移;提供干燥站,所述干燥站位于所述干燥位置处,并且配置为当所述可移动槽位于所述干燥位置处时,随着基板从所述可移动槽卸除,漂洗并干燥所述基板;将所述可移动槽定位于所述装载位置处;当所述可移动槽位于所述装载位置处时,将基板装载至所述可移动槽中;利用清洗化学品来填充所述可移动槽;利用所述清洗化学品来处理所述基板达预定时间时期;将所述可移动槽移动至所述干燥位置;从所述可移动槽通过所述干燥站卸除所述基板;及当所述基板通过所述干燥站从所述可移动槽卸除时,利用漂洗流体来漂洗所述基板并且干燥所述基板。8.如权利要求7所述的方法,进一步包括下述步骤:在将所述基板装载至所述可移动槽中之前,基于在所述基板上执行的处理,为所述可移动槽内的所述清洗化学品设定pH。9.如权利要求7所述的方法,进一步包括下述步骤:当所述基板从所述可移动槽卸除时,使用所述干燥站通过将漂洗流体供应至所述基板来在所述可移动槽中产生pH梯度。10.如权利要求7所述的方法,其中所述干燥站包括蒸汽干燥源与漂洗流体源,且使用所述蒸汽干燥源与漂洗流体源来在基板从位于所述干燥位置处的所述可移动槽卸除时,利用漂洗流体来漂洗所述基板并且干燥所述基板。11.如权利要求7所述的方法,进一步包括下述步骤:提供至少第一与第二装载位置以...
【专利技术属性】
技术研发人员:E·米克海利琴科,B·J·布朗,K·M·汉森,V·S·弗朗西谢蒂,
申请(专利权)人:应用材料公司,
类型:发明
国别省市:美国,US
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