用于漂洗与干燥基板的系统和方法技术方案

技术编号:16113343 阅读:24 留言:0更新日期:2017-08-30 06:41
在一些实施例中,提供一种系统,该系统包括(1)装载位置;(2)干燥位置;(3)可移动槽,该可移动槽配置为:(a)固持至少一个基板;(b)固持清洗化学品,以将可移动槽内的基板暴露至清洗化学品;以及(c)在装载位置与干燥位置之间转移;以及(4)干燥站,该干燥站位于干燥位置处,并且配置为在可移动槽位于干燥位置处时,随着基板从可移动槽卸除,漂洗与干燥基板。本发明专利技术也提供了许多其他方面。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于漂洗与干燥基板的系统和方法本申请案主张美国非先行申请案第14/602,201号的优先权,其申请于2015年1月21日,且标题为“用于漂洗与干燥基板的系统与方法(SYSTEMSANDMETHODSFORRINSINGANDDRYINGSUBSTRATES)”(事务所案号为NO.22586/USA),第14/602,201号申请案主张美国临时申请案第62/094,938号的优先权,其申请于2014年12月19日,且标题为“基板漂洗系统与方法(SUBSTRATERINSINGSYSTEMSANDMETHODS)”(事务所案号为NO.22585/L),上述每一者在此以引用的方式针对所有目的将其全部并入。本申请案涉及美国申请案序号第14/593,841号,其申请于2015年1月9日,且标题为“基板固持器组件、设备、与方法(SUBSTRATEHOLDERASSEMBLY,APPARATUS,ANDMETHODS)”(事务所案号为NO.22564),本文以引用的方式针对所有目的将其全部并入。本申请案涉及美国申请案序号第14/602,094号,其申请于2015年1月21日,且标题为“基板夹持器设备与方法(SUBSTRATEGRIPPERAPPARATUSANDMETHODS)”(事务所案号为NO.22600),本文以引用的方式针对所有目的将其全部并入。本申请案涉及美国申请案序号第14/602,114号,其申请于2015年1月21日,且标题为“基板边缘残留物移除系统、设备、与方法(SUBSTRATEEDGERESIDUEREMOVALSYSTEMS,APPARATUS,ANDMETHODS)”(事务所案号为NO.22563),本文以引用的方式针对所有目的将其全部并入。
本申请案涉及半导体器件制造,且更具体地,涉及用于漂洗与干燥基板的系统与方法。
技术介绍
随着半导体器件几何尺寸的持续减小,超清洗处理的重要性增加。漂洗浴(rinsingbath)(例如,在单独的槽内,或者通过更换清洗槽流体)之前可采用流体槽内的水清洗(或水浴(bath))。在从漂洗浴移除之后,不使用干燥设备,漂洗浴流体会从基板的表面蒸发,并且导致在基板的表面上形成斑纹、形成斑点、和/或留下漂洗浴残留物。此种斑纹、斑点、和/或残留物可能导致后续的装置失效。因此,许多注意力都放在用于改良当基板从水浴移除时干燥基板的方法。已知为马兰各尼干燥(Marangonidrying)的方法产生表面张力梯度以诱导浴流体来使基板基本上免于浴流体的方式从基板流出,且因此可避免斑纹、斑点、与残留物痕迹。具体地,在马兰各尼干燥期间,与浴流体溶混的溶剂(例如,IPA蒸汽)被引入至流体弯月面,流体弯月面在基板从浴中升举起时或者在浴流体排放通过基板时形成。溶剂蒸汽沿着流体的表面被吸收,所吸收的蒸汽的浓度在流体弯月面的顶端处较高。所吸收的蒸汽的较高浓度导致在流体弯月面的顶端处的表面张力相较于大部分浴流体来说较低,这导致浴流体从干燥的流体弯月面朝向大部分浴流体流动。此种流动已知为“马兰各尼”流动,并且可用来达成在基板上具有减少的斑纹、斑点、或浴残留物的基板干燥。实现基板的均匀的马兰各尼干燥可能是困难的,且在一些情况中,来自浴流体的粒子可能重新附着到基板并且污染基板。因此,所需的是,在基板漂洗和/或干燥期间用于减少粒子重新附着的方法与设备。
技术实现思路
在本专利技术的一些实施例中,提供一种系统,该系统包括(1)装载位置;(2)干燥位置;(3)可移动槽,可移动槽配置为:(a)固持至少一个基板;(b)固持清洗化学品,以将可移动槽内的基板暴露至清洗化学品;以及(c)在装载位置与干燥位置之间转移;以及(4)干燥站,干燥站位于干燥位置处,并且配置为在可移动槽位于干燥位置处时,随着基板从可移动槽卸除,漂洗并干燥基板。在本专利技术的一些实施例中,提供一种方法,该方法包括下述步骤:(1)提供可移动槽,可移动槽配置为固持至少一个基板,并且在装载位置与干燥位置之间转移;(2)提供干燥站,干燥站位于干燥位置处,并且配置为在可移动槽位于干燥位置处时,随着基板从可移动槽卸除,漂洗并干燥基板;(3)将可移动槽定位于装载位置处;(4)当可移动槽位于装载位置处时,将基板装载至可移动槽中;(5)利用清洗化学品来填充可移动槽;(6)利用清洗化学品来处理基板达预定的时间时期;(7)将可移动槽移动至干燥位置;(8)从可移动槽通过干燥站卸除基板;以及(9)当基板通过干燥站从可移动槽卸除时,利用漂洗流体来漂洗基板并且干燥基板。在本专利技术的一些实施例中,提供一种系统,该系统包括:(1)第一装载位置、第二装载位置、第一干燥位置以及第二干燥位置;(2)可移动槽,可移动槽配置为在第一与第二装载位置以及第一与第二干燥位置之间转移,可移动槽具有:(a)第一可填充且可排放的隔室,第一可填充且可排放的隔室配置为固持清洗化学品,以将可移动槽的第一隔室内的基板暴露至清洗化学品;以及(b)第二可填充且可排放的隔室,第二可填充且可排放的隔室配置为固持清洗化学品,以将可移动槽的第二隔室内的基板暴露至清洗化学品;以及(3)干燥站,干燥站配置为:(a)当可移动槽定位在干燥站之下位于第一干燥位置处时,随着基板从可移动槽的第一隔室卸除,漂洗与干燥基板;以及(b)当可移动槽定位在干燥站之下位于第二干燥位置处时,随着基板从可移动槽的第二隔室卸除,漂洗与干燥基板。提供许多其他实施例和/或方面。本专利技术的其他特征与方面将从示例性实施例、所附权利要求以及附图的以下详细叙述而变得更显而易见。附图说明图1A至图1R为根据本专利技术的实施例的用于漂洗与干燥基板的范例系统的示意侧视图。图1S为根据本专利技术的实施例的用于漂洗与干燥基板的第一替代系统的示意侧视图。图1T为根据本专利技术的实施例的用于漂洗与干燥基板的第二替代系统的示意侧视图。图2A为根据本专利技术的一个或多个实施例所提供的漂洗与干燥系统的另一范例实施例的透视图。图2B与图2C分别为图2A的可移动槽的范例实施例的透视图与前视剖面图。具体实施方式如同先前所述,在一些情况中,在清洗处理之后,来自用于漂洗基板的漂洗浴流体的粒子可能重新附着至基板并且污染基板。例如,若在清洗之后用于漂洗基板的漂洗浴流体具有与在先前的清洗步骤期间所用的化学品不同的酸碱度(pH),则粒子可能重新附着至基板。此外,污染物可能积聚在漂洗槽中,并且可能在干燥期间移除基板时重新附着至基板。虽然此种粒子重新附着可通过将化学品加入至漂洗流体来减少,但是将化学品加入至最终的漂洗槽会导致化学品在干燥之后残留在基板上。在本文提供的一些实施例中,提供一种用于漂洗与干燥基板的系统,该系统包括可移动槽,可移动槽可在基板装载位置与干燥位置之间转移,在基板装载位置处时,可将基板装载至可移动槽中。干燥站位于干燥位置处,并且可用来漂洗与干燥从可移动槽卸除的基板。在一些实施例中,可移动槽可具有小的体积,和/或针对槽内所处理的每一个基板而填充与排放(例如,减少由于来自槽内所处理的多个基板的粒子的积累所导致的粒子建立和/或重新附着)。为了增加产量,在一些实施例中,槽可具有二个或更多个独立的基板处理隔室,这些处理隔室被整合进同一槽主体中。用于每一个处理隔室的填充与排放阀歧管可整合至槽主体中,以减少空间和/本文档来自技高网
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用于漂洗与干燥基板的系统和方法

【技术保护点】
一种系统,包括:装载位置;干燥位置;可移动槽,所述可移动槽配置为:固持至少一个基板;固持清洗化学品,以将所述可移动槽内的基板暴露至所述清洗化学品;及在所述装载位置与所述干燥位置之间转移;及干燥站,所述干燥站位于所述干燥位置处,并且配置为当所述可移动槽位于所述干燥位置处时,随着基板从所述可移动槽卸除,漂洗并干燥所述基板。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.12.19 US 62/094,938;2015.01.21 US 14/602,2011.一种系统,包括:装载位置;干燥位置;可移动槽,所述可移动槽配置为:固持至少一个基板;固持清洗化学品,以将所述可移动槽内的基板暴露至所述清洗化学品;及在所述装载位置与所述干燥位置之间转移;及干燥站,所述干燥站位于所述干燥位置处,并且配置为当所述可移动槽位于所述干燥位置处时,随着基板从所述可移动槽卸除,漂洗并干燥所述基板。2.如权利要求1所述的系统,其中所述装载位置与所述干燥位置被横向间隔开。3.如权利要求1所述的系统,进一步包括基板固持器,所述基板固持器配置为:固持所述可移动槽内的基板;当所述可移动槽位于所述装载位置处时,从高架基板转移机构接收基板;及当所述可移动槽位于所述干燥位置处时,从所述可移动槽通过所述干燥站卸除基板。4.如权利要求3所述的系统,其中所述可移动槽具有基于所述基板固持器的形状的内部形状。5.如权利要求1所述的系统,其中所述干燥站包括蒸汽干燥源与漂洗流体源,配置为在基板从位于所述干燥位置处的所述可移动槽卸除时,利用漂洗流体来漂洗所述基板并且干燥所述基板。6.如权利要求1所述的系统,进一步包括至少第一装载位置与第二装载位置以及至少第一干燥位置与第二干燥位置,且其中所述可移动槽配置为在所述第一装载位置与第二装载位置以及所述第一干燥位置与第二干燥位置之间移动。7.一种方法,包括下述步骤:提供可移动槽,所述可移动槽配置为固持至少一个基板,并且在装载位置与干燥位置之间转移;提供干燥站,所述干燥站位于所述干燥位置处,并且配置为当所述可移动槽位于所述干燥位置处时,随着基板从所述可移动槽卸除,漂洗并干燥所述基板;将所述可移动槽定位于所述装载位置处;当所述可移动槽位于所述装载位置处时,将基板装载至所述可移动槽中;利用清洗化学品来填充所述可移动槽;利用所述清洗化学品来处理所述基板达预定时间时期;将所述可移动槽移动至所述干燥位置;从所述可移动槽通过所述干燥站卸除所述基板;及当所述基板通过所述干燥站从所述可移动槽卸除时,利用漂洗流体来漂洗所述基板并且干燥所述基板。8.如权利要求7所述的方法,进一步包括下述步骤:在将所述基板装载至所述可移动槽中之前,基于在所述基板上执行的处理,为所述可移动槽内的所述清洗化学品设定pH。9.如权利要求7所述的方法,进一步包括下述步骤:当所述基板从所述可移动槽卸除时,使用所述干燥站通过将漂洗流体供应至所述基板来在所述可移动槽中产生pH梯度。10.如权利要求7所述的方法,其中所述干燥站包括蒸汽干燥源与漂洗流体源,且使用所述蒸汽干燥源与漂洗流体源来在基板从位于所述干燥位置处的所述可移动槽卸除时,利用漂洗流体来漂洗所述基板并且干燥所述基板。11.如权利要求7所述的方法,进一步包括下述步骤:提供至少第一与第二装载位置以...

【专利技术属性】
技术研发人员:E·米克海利琴科B·J·布朗K·M·汉森V·S·弗朗西谢蒂
申请(专利权)人:应用材料公司
类型:发明
国别省市:美国,US

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