X 射线装置制造方法及图纸

公开了一种用于X射线装置的设备安装件。所述安装件包括主屏蔽元件、周边屏蔽元件和次级屏蔽元件，它们设置成允许安装元件以屏蔽方式穿过主屏蔽元件。也公开了一种用于X射线装置的支承装置。支承装置包括用于在第一位置和第二位置之间移位支承部分的可分开承载件和用于将支承部分从第二位置移位到第三位置的升降器机构，由此将承载件分开。也公开了一种用于X射线装置的操纵器载物台。所述载物台包括第一支承结构，其设置成支承样品载物台且由第二和第三支承结构支承在样品载物台任一侧上的第一和第二位置处，第二和第三支承结构配置成允许第一支承结构抬升和下降同时维持在两端处被支承。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】X射线装置
本申请涉及X射线装置，且也涉及在这种X射线装置中使用的设备安装件、支承结构以及操纵器载物台。
技术介绍
X射线成像系统、尤其在工业或科学应用中使用的X射线成像系统通常使用闭合构型，在所述闭合构型中，X射线源和X射线检测器设置在X射线屏蔽罩壳中，所述屏蔽罩壳具有通常称为窗口的适当孔口，以用于在调研中引入和移除样品。这种构型允许操作者便利地操作机器且在相对安全的条件下对成像系统和样品位置做出必要的调整。近期，高能X射线系统已经实现越来越重且大的样品的成像。尤其地，已经提出一种CT成像以用于成像如发动机缸体一样大的结构，例如以确定和分析缺陷的存在，所述CT成像能够从关于由调研中的样品限定的轴线以各种角度截取的一系列X射线投影重新构造物体的体积密度图。然而，对于这种应用，调研中的样品的尺寸和重量的增加将要求罩壳显著扩大，不仅要容纳较大的样品，而且要允许承载样品重量的各种构件的尺寸增加，以避免非期望的变形或破损。按比例加大装置以应对这种重或大的负载将引起这种装置的占用空间的增加且也增加成本。因此，需要一种能够以紧凑形式容纳相对大的样品的X射线装置。
技术实现思路
根据本专利技术的第一方面，提供一种用于X射线装置的设备安装件，所述安装件包括：主屏蔽元件，其具有从屏蔽元件的一侧至屏蔽元件的另一侧地穿过屏蔽元件的至少一个孔口；安装元件，其设置成延伸穿过主屏蔽元件的孔口，且具有在孔口的所述一侧上的设备支承表面以及具有在孔口的另一侧上的基部表面；周边屏蔽元件，其从主屏蔽元件的围绕孔口的区域延伸以至少部分地围绕安装元件的至少一部分；以及次级屏蔽元件，其设置在安装元件的基部表面和设备支承表面之一处，且朝向主屏蔽元件延伸以至少部分地围绕周边屏蔽元件的至少一部分的外周边。在一个构型中，孔口限定与其垂直的轴线，且主屏蔽元件、周边屏蔽元件以及次级屏蔽元件一起配置且设置成使得关于轴线从至少一个方向以大于45度、优选大于30度、更优选大于15度、最优选大于5度的角度入射的X射线辐射将对板屏蔽元件、次级屏蔽元件和周边屏蔽元件中的至少一个冲击，以及优选来自所述至少一个方向的45度内的所有方向、更优选来自所述至少一个方向的180度内的所有方向、最优选来自所述至少一个方向的360度内的所有方向的X射线辐射将对板屏蔽元件、次级屏蔽元件和周边屏蔽元件中的至少一个冲击。在一个构型中，主屏蔽元件是板。在一个构型中，周边屏蔽元件基本是中空筒体或中空锥体的一部分，优选基本是整个中空筒体或锥体。在一个构型中，次级屏蔽元件包括次级屏蔽板和从次级屏蔽板朝向主屏蔽元件延伸的周边次级屏蔽壁。在一个构型中，周边次级屏蔽壁基本是中空筒体或中空锥体的一部分，优选基本是整个中空筒体或锥体。在一个构型中，安装元件包括在设备支承表面和基部表面之间延伸的杆部分。在一个构型中，主屏蔽元件，周边屏蔽元件和次级屏蔽元件设置在孔口的一侧或孔口的另一侧之一上，且另外的主屏蔽元件、另外的周边屏蔽元件和另外的次级屏蔽元件设置在孔口的所述一侧或孔口的所述另一侧中的另一个上。在一个构型中，另外的主屏蔽元件、另外的周边屏蔽元件和另外的次级屏蔽元件分别配置为主屏蔽元件、周边屏蔽元件和次级屏蔽元件。在一个构型中，次级屏蔽元件具有孔口且安装元件延伸穿过次级屏蔽元件的孔口。在一个构型中，次级屏蔽元件具有孔口且安装元件的设备支承表面设置在次级屏蔽元件的孔口的主屏蔽元件侧处。根据本专利技术的第二方面，提供一种用于X射线装置的支承装置，罩壳包括：基部部分；支承部分，其用于支承X射线装置的构件；承载件，其具有设置到基部部分的第一承载元件和设置到支承部分的第二承载元件，以用于允许在第一承载元件与第二承载元件接触的情况下支承部分相对于基部部分从第一位置移位到第二位置；升降器，其设置到基部部分且设置成将支承部分从第二位置移位到第三位置，由此将第一承载元件和第二承载元件相对分开。在一个构型中，承载件是滑动承载件，且第一和第二承载元件是平行且互相靠近地设置的平坦承载表面。在一个构型中，承载件是辊承载件，第一承载元件是辊和承载表面之一，辊设置成抵靠承载表面滚动，且第二承载元件是辊和承载表面中的另一个。在一个构型中，减振元件设置成当样品支承部分处于第三位置时抑制样品支承部分和基部部分之间的振动传输。在一个构型中，减振元件设置在升降器和支承部分之间。在一个构型中，其中，减振元件设置在升降器和基部部分之间。在一个构型中，减振元件设置为升降器。在一个构型中，减振元件包括气动活塞。在一个构型中，防护件设置到第一承载元件，以防止当样品支承部分不处于第二位置时第一承载元件和第二承载元件分开。在一个构型中，第一位置是比第二位置相对更接近X射线装置的罩壳的进出孔口的位置，且第三位置是用于X射线照射的位置。根据本专利技术的第三方面，提供一种用于X射线装置的操纵器载物台(stage)，所述载物台包括：用于保持样品经历X射线曝光的样品载物台；第一支承结构，其设置成将样品载物台支承在第一支承结构上的第一位置处；第二支承结构，其设置成将第一支承结构支承在样品支承结构的从第一位置沿水平方向移动的第二位置处，且配置成使得第一支承结构可在竖直方向上移位同时维持由第二支承结构支承；第三支承结构，其设置成将第一支承结构支承在样品支承结构的从第一位置沿水平方向移位的第三位置处，以使得第一位置在水平方向上位于第二位置和第三位置之间，其中，第三支承结构包括用于在竖直方向上移位第一支承结构的驱动机构。在一个构型中，操纵器载物台还包括参照部件，第二和第三支承结构设置到参照部件，且第一支承结构能够通过驱动机构相对于参照部件移位。在一个构型中，样品载物台包括旋转载物台，以用于调整样品相对于第一支承结构的位置。在一个构型中，驱动机构是包括移位元件和旋转元件的螺杆驱动件，第一支承结构连接到螺杆驱动件的移位元件。在一个构型中，驱动机构是带驱动件，第一支承结构连接到带驱动件的带。在一个构型中，第二和第三位置分别在第一支承结构的每端处。在一个构型中，第一位置居中地定位在第二和第三位置之间。在一个构型中，第二支承结构包括轨道，所述轨道配置成保持设置成支承第一支承结构的第三位置的从动件。在一个构型中，轨道包括线性凹槽且从动件包括保持在凹槽内的滑动件，或轨道包括条杆且从动件包括围绕条杆保持的托架。在一个构型中，其中，第一支承结构是水平梁。根据本专利技术的第四方面，提供一种具有X射线源、操纵器载物台和X射线检测器的X射线装置，所述X射线装置包括设置成支承操纵器载物台的根据第一方面的设备安装件。根据本专利技术的第四方面，提供一种具有X射线源、操纵器载物台和X射线检测器的X射线装置，所述X射线装置具有设置成支承X射线源，操纵器载物台和X射线检测器之一的根据第二方面的支承结构。根据本专利技术的第五方面，X射线装置具有X射线源、操纵器载物台和X射线检测器，操纵器载物台是根据第三方面的操纵器载物台。附图说明为了更好地理解本专利技术且为了示出本专利技术如何实践，将仅通过示例参照附图，其中：图1是依据本专利技术的一实施方式的X射线装置的剖视图；图2是示出安装元件和附属屏蔽元件的图1的放大细节图；图3示出描绘X射线装置的罩壳方面的图1的细节图；图4示出描绘作为本专利技术的一实施方式的操纵器载物台的图1的细节图。具体实施方式图1示本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于X射线装置的设备安装件，所述安装件包括：主屏蔽元件，其具有从该屏蔽元件的一侧至该屏蔽元件的另一侧地穿过该屏蔽元件的至少一个孔口；安装元件，其设置成延伸穿过主屏蔽元件的孔口，且具有在所述孔口的一侧上的设备支承表面以及具有在所述孔口的另一侧上的基部表面；周边屏蔽元件，其从主屏蔽元件的围绕孔口的区域延伸以至少部分地围绕安装元件的至少一部分；以及次级屏蔽元件，其设置在安装元件的基部表面和设备支承表面其中之一处，且朝向主屏蔽元件延伸以至少部分地围绕周边屏蔽元件的至少一部分的外周边。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.08.13 GB 1414395.21.一种用于X射线装置的设备安装件，所述安装件包括：主屏蔽元件，其具有从该屏蔽元件的一侧至该屏蔽元件的另一侧地穿过该屏蔽元件的至少一个孔口；安装元件，其设置成延伸穿过主屏蔽元件的孔口，且具有在所述孔口的一侧上的设备支承表面以及具有在所述孔口的另一侧上的基部表面；周边屏蔽元件，其从主屏蔽元件的围绕孔口的区域延伸以至少部分地围绕安装元件的至少一部分；以及次级屏蔽元件，其设置在安装元件的基部表面和设备支承表面其中之一处，且朝向主屏蔽元件延伸以至少部分地围绕周边屏蔽元件的至少一部分的外周边。2.根据任一前述权利要求所述的设备安装件，其中所述孔口限定与其垂直的轴线，且主屏蔽元件、周边屏蔽元件和次级屏蔽元件一起配置且设置成使得从至少一个方向关于所述轴线以大于45度、优选大于30度、更优选大于15度、最优选大于5度的角度入射的X射线辐射将对板屏蔽元件、次级屏蔽元件和周边屏蔽元件中的至少一个冲击，以及优选来自所述至少一个方向的45度内的所有方向、更优选来自所述至少一个方向的180度内的所有方向、最优选来自所述至少一个方向的360度内的所有方向的X射线辐射将对板屏蔽元件、次级屏蔽元件和周边屏蔽元件中的至少一个冲击。3.根据任一前述权利要求所述的设备安装件，其中所述主屏蔽元件是板。4.根据任一前述权利要求所述的设备安装件，其中所述周边屏蔽元件基本是中空筒体或中空锥体的一部分，优选基本是整个中空筒体或锥体。5.根据任一前述权利要求所述的设备安装件，其中所述次级屏蔽元件包括次级屏蔽板和从次级屏蔽板朝向主屏蔽元件延伸的周边次级屏蔽壁。6.根据权利要求5所述的设备安装件，其中所述周边次级屏蔽壁基本是中空筒体或中空锥体的一部分，优选基本是整个中空筒体或锥体。7.根据任一前述权利要求所述的设备安装件，其中所述安装元件包括在设备支承表面和基部表面之间延伸的杆部分。8.根据任一前述权利要求所述的设备安装件，其中主屏蔽元件、周边屏蔽元件和次级屏蔽元件设置在孔口的所述一侧或孔口的所述另一侧之一上，且另外的主屏蔽元件、另外的周边屏蔽元件以及另外的次级屏蔽元件设置在孔口的所述一侧或孔口的所述另一侧的另一个上。9.根据权利要求8所述的设备安装件，其中另外的主屏蔽元件、另外的周边屏蔽元件以及另外的次级屏蔽元件分别配置为主屏蔽元件、周边屏蔽元件以及次级屏蔽元件。10.根据任一前述权利要求所述的设备安装件，其中所述次级屏蔽元件具有孔口且安装元件延伸穿过次级屏蔽元件的孔口。11.根据权利要求1至8中任一所述的设备安装件，其中所述次级屏蔽元件具有孔口且安装元件的设备支承表面设置在次级屏蔽元件的孔口的主屏蔽元件侧处。12.一种用于X射线装置的支承装置，所述支承装置包括：基部部分；支承部分，其用于支承X射线系统的构件；承载件，其具有设置到基部部分的第一承载元件和设置到样品支承部分的第二承载元件，以用于允许在第一承载元件与第二承载元件接触的情况下样品支承部分相对于基部部分从第一位置移位到第二位置；升降器，其设置到基部部分且设置成将样品支承部分从第二位置移位到第三位置，由此将第一承载元件和第二承载元件相对分开。13.根据权利要求12所述的支承装置，其中所述承载件是滑动承载件，且第一承载元件和第二承载元件是平行且互相靠近地设置的平坦承载表面。14.根据权利要求12所述的支承装置，其中所述承载件是辊承载件，第一承载元件是辊和承载表面之一，辊设置成抵靠承载表面滚动，且第二承载元件是辊和承载表面...

【专利技术属性】
技术研发人员：B·普里斯，M·比奇，J·史密斯，
申请(专利权)人：尼康计量公众有限公司，
类型：发明
国别省市：比利时,BE