The utility model discloses a LED evaporation source component plating machine, comprising a bearing platform and are uniformly arranged on the bearing platform of evaporation crucible, the bearing platform above the two driven by a hydraulic rod of the telescopic rod is fixedly connected with a dredge mechanism, the dredge mechanism comprises a mounting plate arranged on the telescopic rod two the top of the mounting plate is arranged at the bottom of the vertical rod and the vertical rod is arranged on the bottom of the horizontal plate, there are a number of probes installed under the uniform surface of horizontal plate. The utility model can solve the problem that the air hole is blocked when the cavity is not opened, and the utility model does not need to stop, and the production efficiency is guaranteed.
【技术实现步骤摘要】
一种LED蒸镀机的蒸发源组件
本技术涉及一种LED蒸镀机的蒸发源组件,属于LED加工设备零部件
技术介绍
蒸镀是LED加工过程中的一个重要环节,即在真空腔体内加热有机小分子材料,使其升华或者熔融气化成材料蒸汽,透过金属光罩的开孔沉积在基板上。但是蒸发源由于坩埚、温度、材料等原因,有机材料蒸汽在出气口冷凝,逐渐堵住出气孔,导致速率逐渐减低,直至完全堵住,由于长时间镀膜,挡板上沉积的有机材料会逐渐变厚,有时会成片剥落,刚好落在出气孔上,会直接挡住有机材料蒸汽,影响蒸镀的效果,现有的蒸镀机在这种情况下只能将材料降至室温,再打开蒸镀机腔体,处理完堵塞后再合上腔体继续蒸镀,耗时非常长,影响生产效率。为此,我们提出一种LED蒸镀机的蒸发源组件。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种LED蒸镀机的蒸发源组件,可以在不打开腔体的情况下处理出气孔堵塞的问题,不需要停机,保证生产效率,可以有效解决
技术介绍
中的问题。为实现上述目的,本技术采取的技术方案为:一种LED蒸镀机的蒸发源组件,包括承载平台和均匀设在承载平台上的若干蒸镀坩埚,所述承载平台上方通过两个由液压杆驱动的伸缩杆固接有疏通机构,所述疏通机构包括设于两个伸缩杆顶端的安装板,所述安装板的底部设有竖直连杆,所述竖直连杆的底部设有横板,所述横板的下表面均匀安装有若干探针。进一步的,所述竖直连杆的顶端连接有由电机驱动的限位滑块,所述限位滑块处于安装板上表面。进一步的,所述安装板上开有一条与竖直连杆相配合的长条形通孔。进一步的,每两个所述探针间的距离与每两个蒸镀坩埚上的出气孔间的距离相等。进一步的,所述液压杆置于伸缩杆 ...
【技术保护点】
一种LED蒸镀机的蒸发源组件,包括承载平台和均匀设在承载平台上的若干蒸镀坩埚,其特征在于:所述承载平台上方通过两个由液压驱动的伸缩杆固接有疏通机构,所述疏通机构包括设于两个伸缩杆顶端的安装板,所述安装板的底部设有竖直连杆,所述竖直连杆的底部设有横板,所述横板的下表面均匀安装有若干探针。
【技术特征摘要】
1.一种LED蒸镀机的蒸发源组件,包括承载平台和均匀设在承载平台上的若干蒸镀坩埚,其特征在于:所述承载平台上方通过两个由液压驱动的伸缩杆固接有疏通机构,所述疏通机构包括设于两个伸缩杆顶端的安装板,所述安装板的底部设有竖直连杆,所述竖直连杆的底部设有横板,所述横板的下表面均匀安装有若干探针。2.根据权利要求1所述的一种LED蒸镀机的蒸发源组件,其特征在于:所述竖直连杆的顶端连接有由电机驱动的限位滑块,所述限位滑块处于安装板上表面...
【专利技术属性】
技术研发人员:尤业明,马光辉,杨先勇,解曙光,刘圣豪,彭昌余,余晓梅,马杰,
申请(专利权)人:安徽一路明光电科技有限公司,
类型:新型
国别省市:安徽,34
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