The invention belongs to the field of light mechanical and electrical integration application device, in particular to a white light interference 3D reproduction device, including computer, driving device, followed by the establishment of CCD image sensor, eyepiece, microscope, optical compensation plate, plate and workbench, driving device for driving table offset displacement of linear motion, optical compensation the upper surface of the plate and plate are combined with a transflective film, computer output end is connected to the input end of the driving device, the input end of the output of CCD image sensor is connected to the computer, computer used by reproducing the object toward the light of the 3D surface. The invention has the advantages that can be pre eyepiece and manually adjust the micro lens position can realize the reflected light and the optical compensation plate from the measured surface reflected on the light near the optical path, zero optical path difference, realize the white light interference, convenient adjustment; simple operation, low production cost, considerable economic value.
【技术实现步骤摘要】
一种白光干涉三维形貌再现装置
本专利技术属于光机电一体化的应用装置领域,具体涉及一种白光干涉三维形貌再现装置。
技术介绍
获取物体表面形貌常常是通过接触物体表面,然后再现三维形貌,其缺点是会在物体表面留下划痕。采用光学干涉的方法也称为非接触方式,但是要实现白光干涉是相当困难的,常用的迈克尔孙干涉仪采用He-Ne激光器发出的632.8nm的红色激光可以测量微小距离的变化,由迈克尔孙干涉仪变化得到多种三维形貌仪已经面世。但是要观察较高质量的白光的干涉条纹,须调节迈克尔孙干涉仪的干涉臂至基本完全对称,才能实现两相干光的光程差要非常小,而调节过程中需十分细心,操作十分困难。
技术实现思路
本专利技术的目的是克服现有技术存在的缺陷,提供一种可预先人工调节显微镜的目镜和物镜的位置,以实现从待测物体表面反射的光与光学补偿板上反射的光接近等光程,达到零光程差,实现白光干涉,调节方便的白光干涉三维形貌再现装置。本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是:一种白光干涉三维形貌再现装置,其包括计算机、驱动装置、沿光线传播方向依次设置的CCD图像传感器、显微目镜、显微物镜、光学补偿板、分光板和用于放置待测物体的工作台,驱动装置用于驱动工作台在光线传播方向上作等距位移的直线运动,光学补偿板和分光板朝向显微物镜的上表面均复合有半透半反膜,计算机的输出端连接至驱动装置的信号输入端,CCD图像传感器的信号输出端连接至计算机的输入端,计算机用于通过三维形貌分析软件,再现待测物体朝向分光板的表面的三维形貌。本专利技术可预先选用两块厚度相等的上表面都涂有半透半反膜的玻璃板,一块涂有半透半反膜的玻璃 ...
【技术保护点】
一种白光干涉三维形貌再现装置,其特征在于:包括计算机(11)、驱动装置(10)、沿光线传播方向依次设置的CCD图像传感器(1)、显微目镜(2)、显微物镜(3)、光学补偿板(4)、分光板(5)和用于放置待测物体(7)的工作台(8),所述驱动装置(10)用于驱动工作台(8)在光线传播方向上作等距位移的直线运动,所述光学补偿板(4)和分光板(5)朝向显微物镜(3)的上表面均复合有半透半反膜(12),所述计算机(11)的输出端连接至驱动装置(10)的信号输入端,所述CCD图像传感器(1)的信号输出端连接至计算机(11)的输入端,所述计算机(11)用于通过三维形貌分析软件,再现待测物体(7)朝向分光板(5)的表面的三维形貌。
【技术特征摘要】
1.一种白光干涉三维形貌再现装置,其特征在于:包括计算机(11)、驱动装置(10)、沿光线传播方向依次设置的CCD图像传感器(1)、显微目镜(2)、显微物镜(3)、光学补偿板(4)、分光板(5)和用于放置待测物体(7)的工作台(8),所述驱动装置(10)用于驱动工作台(8)在光线传播方向上作等距位移的直线运动,所述光学补偿板(4)和分光板(5)朝向显微物镜(3)的上表面均复合有半透半反膜(12),所述计算机(11)的输出端连接至驱动装置(10)的信号输入端,所述CCD图像传感器(1)的信号输出端连接至计算机(11)的输入端,所述计算机(11)用于通过三维形貌分析软件,再现待测物体(7)朝向分光板(5)的表面的三维形貌。2.根据权利要求1所述的一种白光干涉三维形貌再现装置,其特征在于:所述白光干涉三维形貌再现装置还包括限位块(6),所述驱动装置(10)为步进电机,所述限位块(6)以及驱动装置(10)的机座均在安装位置上固定不动;所述工作台(8)上螺纹连接有丝杠(82),所述丝杠(82)和显微物镜(3)的中心轴线平行设置,所述丝杠(82)同轴固定于驱动装置(1...
【专利技术属性】
技术研发人员:何祖明,唐斌,江兴方,黄正逸,伊聪,王鑫竺,
申请(专利权)人:常州大学怀德学院,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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