彩色抗蚀剂或有机膜剥离液组合物制造技术

本发明专利技术涉及彩色抗蚀剂或有机膜剥离液组合物，其相对于组合物总重量，包含：季铵盐化合物1～15重量％、极性有机溶剂20～70重量％、亚烷基二醇烷基醚1～20重量％、选自下述化学式1～化学式3中的一种以上肼衍生物化合物0.1～5重量％、无机碱或其盐化合物0.01～2重量％、和水1～40重量％，从而具有优异的剥离力和经时稳定性，所述化学式1中，R1为C1～C6的羟基烷基，所述化学式2中，R2为C1～C8的烷基、苯基、氨基或‑NHNH2。

Color resist or organic film stripping liquid composition

The present invention relates to a color photoresist or organic film stripping liquid composition, relative to the total weight of the composition comprises: quaternary ammonium compounds 1 ~ 15 wt% of a polar organic solvent, 20 to 70 wt.%, alkylene glycol alkyl ether 1 to 20 wt.%, selected from the chemical formula 1 ~ 3 in a chemical formula more than 0.1 hydrazine derivative compounds to 5 wt.%, inorganic alkali or salt compounds 0.01 ~ 2 wt%, and water 1 to 40 wt.%, which has excellent peeling force and the stability of the chemical formula 1, R1 is C1 ~ C6 hydroxy alkyl, the chemical formula 2. R2 C1 ~ C8 alkyl, phenyl, amino or NHNH2.

【技术实现步骤摘要】
彩色抗蚀剂或有机膜剥离液组合物
本专利技术涉及一种剥离液组合物，更详细而言，涉及能够将固化的彩色抗蚀剂或有机膜有效去除的彩色抗蚀剂或有机膜剥离液组合物。
技术介绍
滤色器(colorfilter)可通过安装于互补金属氧化物半导体(complementarymetaloxidesemiconductor，CMOS)或电荷耦合元件(chargecoupleddevice，CCD)等图像传感器的彩色摄影装置内来用于实际获得彩色图像。而且，除此之外，广泛用于摄影元件、等离子体显示器面板(PDP)、液晶显示装置(LCD)、场发射显示器(FED)和发光显示器(LED)等中，其应用范围正在迅速扩大。特别是，近年来，液晶显示装置(LCD)的用途进一步扩大，因此认为在再现液晶显示装置(LCD)的色彩方面滤色器是最重要的构件之一。滤色器基板由红色(R)、绿色(G)、蓝色(B)图案和起到用于阻断各像素之间的漏光并提高对比的作用的黑矩阵、以及对液晶盒施加电压的共用电极构成。在这样的滤色器制造工序中，会不可避免地发生彩色抗蚀剂图案的不良。然而，构成彩色抗蚀剂的树脂一旦固化，仅通过将错误的部分去除而进行修理是几乎不可能的，并且由于几乎没有能够将彩色抗蚀剂去除的溶剂，因此对于产生了不良的滤色器，无法进行修理等重加工，大部分会被废弃处理，因而存在生产性降低的问题。此外，使用了用于弥补由滤色器的层叠过程造成的高低差的外覆层，在滤色器的RGB发生涂布不良或发生有机膜的涂布不良时，如果经由去除涂布不良面的工序而不是废弃滤色器，则会具有提高工序的收率和削减成本的效果。因此，为了滤色器的再利用，需要能够将RGB彩色抗蚀剂或有机膜去除的剥离液组合物。韩国注册专利10-1043397号公开了包含无机碱氢氧化物或烷基氢氧化铵、二甲亚砜、水溶性胺化合物、N-甲基吡咯烷酮、二亚烷基二醇醚、无机碱乙酸盐和余量的水的彩色抗蚀剂去除用剥离液组合物，但不仅存在高温工序时由于挥发而在长期使用时发生去除性降低的问题，而且存在无法表现快速去除彩色抗蚀剂和有机膜的效果的问题。现有技术文献专利文献专利文献1：韩国注册专利10-1043397号
技术实现思路
所要解决的课题本专利技术是为了解决上述以往技术问题而提出的，其目的在于，提供一种在剥离固化的彩色抗蚀剂或有机膜时不引起下部配线的腐蚀，并且具有优异的剥离力的剥离液组合物。此外，其目的在于，通过提供高温或经时稳定性优异而抗蚀剂剥离力优异的彩色抗蚀剂或有机膜剥离液组合物，从而在滤色器涂布前能够使下部基材再利用。解决课题的方法为了实现上述目的，本专利技术提供一种彩色抗蚀剂或有机膜剥离液组合物，其特征在于，相对于组合物总重量，包含：季铵盐化合物1～15重量％、极性有机溶剂20～70重量％、亚烷基二醇烷基醚1～20重量％、选自下述化学式1～化学式3中的一种以上肼衍生物化合物0.1～5重量％、无机碱或其盐化合物0.01～2重量％、和水1～40重量％。<化学式1>上述化学式1中，R1为C1～C6的羟基烷基。<化学式2>上述化学式2中，R2为C1～C8的烷基、苯基、氨基或-NHNH2。<化学式3>专利技术效果本专利技术的剥离液组合物不引起配线的腐蚀，并且具有优异的剥离力，从而在固化的彩色抗蚀剂图案发生不良时能够将其有效去除。此外，本专利技术的剥离液组合物由经时或高温引起的挥发性低，即使长时间使用时也没有剥离力、洗涤性降低，性能保持时间长而提高工序的效率，可提供经济效果。具体实施方式一般而言，滤色器通过在形成有由透明的玻璃或金属配线构成的阵列且涂布有用于保护阵列的保护膜的基材涂布抗蚀剂、利用光刻工序形成彩色抗蚀剂图案而制造，此时，如果彩色抗蚀剂图案发生不良，则实施将其去除而再次获得下部基材而进行再利用的重加工(rework)。这样的重加工工序中所使用的物质是抗蚀剂剥离液组合物，以往的抗蚀剂剥离液组合物存在随处理张数增加导致的剥离力降低，因高温工序、经时所引起的挥发而导致经时稳定性、洗涤性降低的问题。本专利技术的剥离液组合物包含季铵盐化合物、极性有机溶剂、亚烷基二醇烷基醚、特定结构的肼衍生物化合物、无机碱或其盐化合物、和水，从而提供与高温或经时有关的稳定性和剥离力优异的效果。本专利技术提供一种剥离液组合物，其特征在于，相对于组合物总重量，包含：季铵盐化合物1～15重量％、极性有机溶剂20～70重量％、亚烷基二醇烷基醚1～20重量％、选自下述化学式1～化学式3中的一种以上肼衍生物化合物0.1～5重量％、无机碱或其盐化合物0.01～2重量％、和水1～40重量％。以下，对各成分具体进行说明。季铵盐化合物本专利技术的剥离液组合物所包含的季铵盐化合物优选可以为烷基季铵氢氧化物，其起到释放氢氧离子(OH-)且渗透至彩色高分子抗蚀剂内而促进高分子抗蚀剂的溶解的作用。上述季铵盐化合物没有特别限制，作为具体例，可举出四甲基氢氧化铵(tetramethylammoniumhydroxide，TMAH)、四乙基氢氧化铵(tetraethylammoniumhydroxide，TEAH)、四丙基氢氧化铵(tetrapropylammoniumhydroxide，TPAH)和四丁基氢氧化铵(tetrabutylammoniumhydroxide，TBAH)等，可以使用选自其中的一种以上。上述季铵盐化合物相对于本专利技术的剥离液组合物总重量，以1～15重量％包含，更优选以7～15重量％包含。如果上述季铵盐化合物的含量低于1重量％，则氢氧离子向构成彩色抗蚀剂的高分子成分的渗透能力降低，抗蚀剂去除性降低，超过15重量％的情况下，对于高分子树脂的溶解力减小。极性有机溶剂本专利技术的剥离液组合物所包含的极性有机溶剂对于彩色抗蚀剂的渗透力和溶解力优异，起到渗透至彩色抗蚀剂的高分子之间而使其发生溶胀现象且使其溶解的作用。上述极性有机溶剂更优选为极性非质子性有机溶剂，但不限于此。作为上述极性有机溶剂的具体例，可以使用选自二甲亚砜(dimethylsulfoxide)、二乙亚砜(diethylsulfoxide)、二丙亚砜(dipropylsulfoxide)、环丁砜(sulfolane)、N-甲基吡咯烷酮(N-Methylpyrrolidone)、吡咯烷酮(pyrrolidone)和N-乙基吡咯烷酮(n-ethylpyrrolidone)等中的一种以上。优选可以使用二甲亚砜或环丁砜。上述极性有机溶剂相对于本专利技术的剥离液组合物总重量，以20～70重量％包含，更优选以40～60重量％包含。如果上述极性有机溶剂的含量低于20重量％，则对于抗蚀剂的渗透和溶胀特性不足，难以完全去除彩色抗蚀剂，工序时间变长。另一方面，超过70重量％的情况下，上述季铵盐化合物的活性降低，去除性反而降低。亚烷基二醇烷基醚本专利技术的剥离液组合物所包含的亚烷基二醇烷基醚起到渗透于高分子链而将链解开的作用，以及发挥渗透于下部膜质与固化的高分子的界面而使抗蚀剂容易剥离，而且溶解上述剥离的抗蚀剂等的功能。作为上述亚烷基二醇烷基醚的具体例，可举出乙二醇二甲醚、二乙二醇二甲醚、二丙二醇二甲醚、三乙二醇二甲醚、乙二醇二乙醚、二乙二醇二乙醚和二乙二醇甲乙醚等，但不限于此，可以使用选自其中的一种以上。上述亚烷基二醇烷基醚相对于本本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种彩色抗蚀剂或有机膜剥离液组合物，其特征在于，相对于组合物总重量，包含：季铵盐化合物1～15重量％、极性有机溶剂20～70重量％、亚烷基二醇烷基醚1～20重量％、选自下述化学式1～化学式3中的一种以上肼衍生物化合物0.1～5重量％、无机碱或其盐化合物0.01～2重量％、和水1～40重量％，<化学式1>

【技术特征摘要】
2016.01.19 KR 10-2016-00066531.一种彩色抗蚀剂或有机膜剥离液组合物，其特征在于，相对于组合物总重量，包含：季铵盐化合物1～15重量％、极性有机溶剂20～70重量％、亚烷基二醇烷基醚1～20重量％、选自下述化学式1～化学式3中的一种以上肼衍生物化合物0.1～5重量％、无机碱或其盐化合物0.01～2重量％、和水1～40重量％，<化学式1>所述化学式1中，R1为C1～C6的羟基烷基，<化学式2>所述化学式2中，R2为C1～C8的烷基、苯基、氨基或-NHNH2，<化学式3>2.根据权利要求1所述的彩色抗蚀剂或有机膜剥离液组合物，其特征在于，所述季铵盐化合物为烷基季铵氢氧化物。3.根据权利要求1所述的彩色抗蚀剂或有机膜剥离液组合物，其特征在于，所述极性有机溶剂包含选自二甲亚砜、二乙亚砜、二丙亚砜、环丁砜、N-甲基吡咯烷酮、吡咯...

【专利技术属性】
技术研发人员：房淳洪，崔庆默，崔汉永，
申请(专利权)人：东友精细化工有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国,KR