一种真空计在线校准装置及使用方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种真空计在线校准装置及使用方法，应用于电阻真空计、热传导真空计等各种真空计及其配套使用的真空表的组合校准。标准真空计通过第二KF法兰和第一阀门的上端连接，阀门的下端和三通上端的一侧连接，三通的下端通过第一KF法兰和真空炉连接，标准真空计通过第一连接线同标准真空表连接；三通上端的另一侧经过第二阀门后，用第三KF法兰和工作真空计连接；工作真空计通过第二连接线同工作真空表连接。真空计在线校准装置结合真空设备定期进行的压升率、泄漏率测试进行，减少设备的停机时间。真空计在线校准装置适用于计量器具的期间核查。阀门可随时关闭，阀门关闭后可安装、拆除标准真空计及标准真空表，不影响设备的正常运行。

On line calibration device for vacuum meter and its using method

The invention provides a vacuum gauge on-line calibration device and a method of use, which is applied to the combination calibration of various vacuum gauges, such as a resistance vacuum gauge, a heat transfer vacuum gauge, and a vacuum meter to be used together with the vacuum meter. The top second KF gauge connected by a flange and the first valve standard vacuum valve at the lower end of one side and three through the upper end of the connection, the lower end of the three pass through the first connecting flange and the KF vacuum furnace, vacuum meter connected with the standard table by first connecting line standard vacuum; three at the upper end of the other side after second valve, connected with third KF flange and working vacuum gauge; vacuum gauge meter connected with the work through the second connection line of vacuum. The vacuum gauge on-line calibration device combines the pressure rise rate and leak rate test carried out by the vacuum equipment regularly to reduce the downtime of the equipment. The on-line calibration device for vacuum gauges is suitable for the Period Verification of measuring instruments. The valve can be closed at any time. After the valve is closed, the standard vacuum gauge and the standard vacuum meter can be installed and removed, and the normal operation of the equipment will not be affected.

【技术实现步骤摘要】
一种真空计在线校准装置及使用方法
本专利技术涉及一种真空计在线校准装置及使用方法，可以应用于各种电阻真空计、热传导真空计等各种真空计及其配套使用的真空表的组合校准。
技术介绍
为了提高了金属零件的热处理质量，各热处理企业普遍使用了真空炉，各种真空炉都需要对炉内的真空度进行控制。其控制方式为采用一支真空计连接一块真空控制器(真空表)，对炉内的气氛含量进行控制。这种控制方式，对真空计的准确性要求很高，如果控制不准确，将影响产品质量。正因为这个原因，在国标、航标、国军标中都要求对真空计定期进行检测或校准。由于多数企业都没有真空校准装置，其真空计的校准都委托计量部门进行校准，校准时必须将真空计送到计量部门，中期较长，影响设备的使用。校准的真空计在使用过程中极易污染，造成测量结果失真，影响产品质量。而工作现场又由于缺少必要的期间核查装置而无法判定真空计的准确性。
技术实现思路
本专利技术针对现有技术的不足，提供一种真空计在线校准装置及使用方法。本专利技术的技术方案：一种真空计在线校准装置，包括KF法兰2、三通3、阀门4、标准真空计5、连接线7和标准真空表8；标准真空计5通过第二KF法兰2-1和第一阀门4的上端连接，阀门4的下端和三通3上端的一侧连接，三通3的下端通过第一KF法兰2和真空炉1连接，标准真空计5通过第一连接线7同标准真空表8连接；所述的三通3上端的另一侧经过第二阀门4-1后，用第三KF法兰2-2和工作真空计6连接；所述的工作真空计6通过第二连接线7-1同工作真空表9连接；当真空炉1抽真空时，工作真空表9的示值为工作真空计6的测量值；标准真空表8的示值为标准真空计5的测量值；分别读取工作真空表9和标准真空表8的示值，使用比较法求取差值，并进行修正后即可求出工作真空计6同工作真空表9组成的测量系统的累积误差值，实现在线校准。本专利技术的有益效果：(1)真空计在线校准装置及使用方法可以结合真空设备定期进行的压升率、泄漏率测试进行，减少设备的停机时间。(2)真空计在线校准装置及使用方法也适用于计量器具的期间核查。(3)阀门可以随时关闭，阀门关闭后可以安装、拆除标准真空计及标准真空表，不影响设备的正常运行。附图说明图1是真空计在线校准装置系统图。图中：1真空炉；2第一KF法兰；2-1第二KF法兰；2-2第三KF法兰；3三通；4第一阀门；4-1第二阀门；5标准真空计；6工作真空计；7第一连接线；7-1第二连接线；8标准真空表；9工作真空表。具体实施方式以下结合附图和技术方案，进一步说明本专利技术的具体实施方式。实施例标准真空计5、标准真空表8使用前需要校准，标准真空计5应该选用精度等级比较高的电容薄膜真空计，其不确定度/误差≤±0.15％为宜；标准真空表8的不确定度/误差≤±0.05％为宜。所述的KF法兰和阀门等连接处需要使用检漏仪检查气密性。一种真空计在线校准装置，包括KF法兰2、三通3、阀门4、标准真空计5、连接线7和标准真空表8；标准真空计5通过第二KF法兰2-1和第一阀门4的上端连接，阀门4的下端和三通3上端的一侧连接，三通3的下端通过第一KF法兰2和真空炉1连接，标准真空计5通过第一连接线7同标准真空表8连接；所述的三通3上端的另一侧经过第二阀门4-1后，用第三KF法兰2-2和工作真空计6连接；所述的工作真空计6通过第二连接线7-1同工作真空表9连接；当真空炉1抽真空时，工作真空表9的示值为工作真空计6的测量值；标准真空表8的示值为标准真空计5的测量值；分别读取工作真空表9和标准真空表8的示值，使用比较法求取差值，并进行修正后即可求出工作真空计6同工作真空表9组成的测量系统的累积误差值，实现在线校准。一种真空计在线校准装置的使用方法，步骤如下：第一步，使用前校准标准真空计5和标准真空表8，三通3上端的一侧经过第二阀门4-1后，用第三KF法兰2-2和工作真空计6连接，工作真空计6通过第二连接线7-1同工作真空表9连接，并在真空炉正常工作和真空计校准时均保持连接状态；在真空炉正常工作不进行真空计校准时三通3上端的另一侧的第一阀门4关闭。第二步，在工作真空计6、工作真空表9校准周期内，并且在真空炉进行定期的压升率或泄漏率测试时，在第一阀门4关闭状态下通过第二KF法兰2-1连接好标准真空计5，并用第一连接线7将标准真空计5和标准真空表8连接；第三步，打开第一阀门4，给标准真空表8上电；第四步，启动真空炉抽真空，按照工作范围设置不同的检测点。到达规定的检查点，且系统稳定后分别读取并记录工作真空表9和标准真空表8的数值。第五步，使用标准真空计5和标准真空表8的校准证书中的误差及不确定度进行计算，得到工作真空表9和标准真空表8的累积误差/不确定度，完成在线校准。当需要对已经校准的工作真空计6、工作真空表9进行期间核查，以确定其累积误差/不确定度是否发生变化时，重复上述工作步骤，完成相应的工作。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空计在线校准装置，其特征在于，所述的真空计在线校准装置包括KF法兰(2)、三通(3)、阀门(4)、标准真空计(5)、连接线(7)和标准真空表(8)；标准真空计(5)通过第二KF法兰(2‑1)和第一阀门(4)的上端连接，第一阀门(4)的下端和三通(3)上端的一侧连接，三通(3)的下端通过第一KF法兰(2)和真空炉(1)连接，标准真空计(5)通过第一连接线(7)同标准真空表(8)连接；所述的三通(3)上端的另一侧经过第二阀门(4‑1)后，用第三KF法兰(2‑2)和工作真空计(6)连接；所述的工作真空计(6)通过第二连接线(7‑1)同工作真空表(9)连接；当真空炉(1)抽真空时，工作真空表(9)的示值为工作真空计(6)的测量值；标准真空表(8)的示值为标准真空计(5)的测量值；分别读取工作真空表(9)和标准真空表(8)的示值，使用比较法求取差值，并进行修正后，即求出工作真空计(6)同工作真空表(9)组成的测量系统的累积误差值，实现在线校准。

【技术特征摘要】
1.一种真空计在线校准装置，其特征在于，所述的真空计在线校准装置包括KF法兰(2)、三通(3)、阀门(4)、标准真空计(5)、连接线(7)和标准真空表(8)；标准真空计(5)通过第二KF法兰(2-1)和第一阀门(4)的上端连接，第一阀门(4)的下端和三通(3)上端的一侧连接，三通(3)的下端通过第一KF法兰(2)和真空炉(1)连接，标准真空计(5)通过第一连接线(7)同标准真空表(8)连接；所述的三通(3)上端的另一侧经过第二阀门(4-1)后，用第三KF法兰(2-2)和工作真空计(6)连接；所述的工作真空计(6)通过第二连接线(7-1)同工作真空表(9)连接；当真空炉(1)抽真空时，工作真空表(9)的示值为工作真空计(6)的测量值；标准真空表(8)的示值为标准真空计(5)的测量值；分别读取工作真空表(9)和标准真空表(8)的示值，使用比较法求取差值，并进行修正后，即求出工作真空计(6)同工作真空表(9)组成的测量系统的累积误差值，实现在线校准。2.一种真空计在线校准装置的使用方法，其特征在于，步骤如下：第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：高福，邱东旭，孙士祥，朱旭，
申请(专利权)人：沈阳飞机工业集团有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁,21