The utility model discloses an improved light resistance to the oven pre moving pin, translational motion circle back and forth to support the glass substrate, can prevent the residual scratches on the glass substrate, glass substrate in order to reduce the failure rate. It is composed of a cavity, hot plate, driving device and mobile pin, the cavity is a groove shape, is arranged in the hot plate and the driving device, the driving device is provided with a movable pin movable, moving pin rail ditch hot plate and extends through the hot plate, can be utilized in the driving device driver control the moving pin plane movement, and also support the glass substrate, the glass substrate is baked, the mobile will continue to contact pin glass substrate on the same point, produce pin mark to prevent and improve the quality of the glass substrate.
【技术实现步骤摘要】
改进的光阻预烤炉移动销
本技术涉及一种改进的光阻预烤炉移动销,其通过驱动装置控制移动销进行圆周往复平移,能达到支撑玻璃基板的作用,并防止残留销痕。
技术介绍
玻璃基板是液晶显示设备(TFT-LCD)的主要制造原料,即俗称的母玻璃或素玻璃,其是一种高精密透明的电子零件,玻璃基板在液晶显示设备产业中扮演的角色类似于半导体产业中的晶圆,因此液晶显示设备产业对玻璃基板表面精度的要求相当高。其次,液晶显示设备的制造过程是分别利用两块无碱玻璃基板,于无碱玻璃基板表面构装彩色滤色片与IC电路,并将玻璃基板表面经过干式蚀刻,将红、蓝、绿三原色与黑色以微细的结构建置于玻璃表面,成为彩色滤色片,IC驱动电路则利用半导体制造过程,再将CMOS电路建置于玻璃表面,玻璃基板的功能为做为彩色滤色片与IC驱动电路的承载材料,液晶显示设备的制造过程需要真空蒸镀与蚀刻,所以玻璃基板必须要能耐受强酸强碱的腐蚀、高温环境,并且必须具备非常精密的表面平整度与平面起伏度。因此,玻璃基板在制造过程中的每个流程都非常精密,其中,当涂抹光阻液后,需经过烘烤将感光剂及光阻液等化学物质挥发,此时,如图1所示,该基板1进行烘烤时,先将基板1放在热板11上,再通过热板11的热度使基板1表面的化学物质挥发,在此过程中,该固定销12由热板11下方向上凸伸出来,以支撑基板1,并对基板1进行烘烤。然而,于烘烤过程中,该固定销12持续定位在基板1的下表面,因而造成基板1下表面产生销痕,从而影响液晶显示设备的质量。有鉴于此,本案专利技术人特别针对支撑玻璃基板的固定销进行改进,从而设计出一种平移式圆周往返运动的移动销,其不仅 ...
【技术保护点】
一种改进的光阻预烤炉移动销,其由腔体、热板、驱动装置及移动销组成,该腔体为一容槽状,该腔体内设有热板及驱动装置,驱动装置上设有固定销及多个移动销,其特征在于:该移动销贯穿热板并置放在轨道沟内,且移动销链接有驱动装置,驱动装置中的驱动器控制移动销进行平移式圆周往返运动。
【技术特征摘要】
1.一种改进的光阻预烤炉移动销,其由腔体、热板、驱动装置及移动销组成,该腔体为一容槽状,该腔体内设有热板及驱动装置,驱动装置上设有固定销...
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