The utility model discloses a verticality adjusting function of the crystal growth furnace comprises a furnace body and a furnace cover and a furnace seat, the lower end of the furnace body is arranged in the furnace seat, a furnace cover is arranged in the furnace seat, the furnace body and the furnace mouth plug end plug sealing type the with the furnace seat are arranged on the furnace body of the electrode holder, the adjustable structure, furnace body and furnace with adjustable supporting seat seat; the furnace seat by a balance adjusting mechanism is arranged in the base. The two level adjusting mechanism respectively with three point symmetrical adjustment device adjusts the furnace seat by constantly furnace condition, can achieve real-time adjustment, which makes the furnace body axis is arranged in the furnace body and the seat of the long axis of crystal rod always coincide, the two do not produce offset offset due to the furnace body. The whole furnace body and the furnace core is always to maintain a balance, ensure a long crystal furnace core rod in the surrounding uniform temperature field, the crystal growth is not affected, improve the quality of growth, prolong the service life of the crystal growth furnace.
【技术实现步骤摘要】
一种具有垂直度调整功能的晶体生长炉
本技术属于晶体加工设备
,具体涉及一种具有垂直度调整功能的晶体生长炉。
技术介绍
晶体生长炉在使用过程中会在外部和内部因素的影响下,造成炉体与水平面的的垂直度出现偏移,炉体出现歪斜则会导致晶体生长炉的炉芯不再与长晶杆保持同轴关系。二者不同轴,必然意味着晶体的生长质量受到严重影响。在此状态下生长出的晶体不仅质量差,而且可能导致长晶失败。另一方面在进行晶体生长时,长晶杆与晶体生长炉的炉芯也是必须保持同轴关系,以到达长晶杆周围的温场均匀的目的,但是炉芯内部温度在长晶时需要保持高温状态,通常晶体生长速度在0.01、1mm/h范围内,即长晶移动的速度极慢。传统炉芯是直接以炉芯底端为炉口塞,炉芯底端接触的炉座在长时间的高温烘烤下会出现变形,造成晶体生长炉的炉芯出现歪斜偏移,歪斜偏移直接导致炉芯的轴心线与长晶杆的轴心线之间出现了偏移,也就意味着处于炉芯内的长晶杆周围的温场不均匀,晶体生长环境受影响最终造成长晶质量低下,严重的直接使长晶失败,造成大量原料浪费;炉座的损坏间接使晶体生长炉的使用寿命降低。传统晶体生长炉一旦出现上述问题,其解决方法只能停炉更换整块炉座,不仅费时费力,也易使得长晶工作半途而废。因此,研制一种能调节炉体和炉芯平衡,确保长晶杆与炉芯同轴度是晶体生长炉质量控制的关键。
技术实现思路
本技术旨在提供一种结构简单,实施简便,有利于保证炉芯与长晶杆同轴度的垂直度调整装置。本技术的目的是这样实现的:包括炉体、炉罩和炉座,所述的炉体下端设置于炉体座上,所述的炉罩设置在炉座上,所述的炉体之炉口塞端与炉口塞热封式配合,所述的炉座上设 ...
【技术保护点】
一种具有垂直度调整功能的晶体生长炉,包括炉体(1)、炉罩(2)和炉座(4),所述的炉体(1)下端设置于炉体座(8)上,所述的炉罩(2)设置在炉座(4)上,所述的炉体(1)之炉口塞端与炉口塞(5)热封式配合,其特征在于:所述的炉体座(8)为可调式结构,炉体座(8)与炉座(4)之间可调式支撑配合;所述的炉座(4)通过平衡调整机构(7)设置于基座(6)上。
【技术特征摘要】
1.一种具有垂直度调整功能的晶体生长炉,包括炉体(1)、炉罩(2)和炉座(4),所述的炉体(1)下端设置于炉体座(8)上,所述的炉罩(2)设置在炉座(4)上,所述的炉体(1)之炉口塞端与炉口塞(5)热封式配合,其特征在于:所述的炉体座(8)为可调式结构,炉体座(8)与炉座(4)之间可调式支撑配合;所述的炉座(4)通过平衡调整机构(7)设置于基座(6)上。2.根据权利要求1所述的具有垂直度调整功能的晶体生长炉,其特征在于:所述的炉体座(8)为水平板式结构,其外圆周上均布设置与炉座(4)调节配合的炉体调节装置(10)。3.根据权利要求2所述的具有垂直度调整功能的晶体生长炉,其特征在于:所述的炉体调节装置(10)呈三角形分布,所述的炉体调节装置(10)包括支座(10b)和固定杆(10c),所述的支座(10b)通过固定杆(10c)设置于炉体座(8)上,支座(10b)下端与炉座(4)上的调节栓(10a)支撑配合。4.根据权利要求3所述的具有垂直度调整功能的晶体生长炉,其特征在于:所述的支座(10b)呈凹球形和对应其设置且呈凸球形的调节栓(10a)滑动支撑配合。5.根据权利要求2或3...
【专利技术属性】
技术研发人员:李照存,王洪刚,
申请(专利权)人:昆明沃特尔机电设备有限公司,
类型:新型
国别省市:云南,53
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。