A five axis 3D ultrasonic polishing machine, five axis two-dimensional ultrasound in existing from the rack, X moving mechanism, Y moving mechanism, Z moving mechanism, ultrasonic vibration polishing device, rotary table, polishing liquid ultrasonic atomizing liquid application device and the workpiece on-line detecting device of polisher bed the improvement of ultrasonic vibration polishing device by using ultrasonic vibration into the original one-dimensional two-dimensional ultrasonic vibration, ultrasonic vibration by mounted on a vertical rotary table, the polishing head base two ultrasonic device position adjusting hole can adjust its angle and horn and ultrasonic device connected to the polishing head is fixed on the base. On. The ultrasonic polishing machine is applied in two dimensional ultrasonic vibration polishing head, through two-dimensional ultrasonic coupling can not only improve the polishing power, and make the trajectory of the polishing head is evenly covered processing area to bypass curve reciprocating form, so that the polishing efficiency is improved obviously.
【技术实现步骤摘要】
一种五轴三维超声抛光机床
本技术涉及抛光机械,特别是一种用于复杂曲面抛光加工的五轴三维超声抛光机床。
技术介绍
随着工业技术的发展,硬脆材料在航空航天、汽车、模具、光学以及半导体等领域展现出广阔的应用前景。光学玻璃常被用来制作侦查卫星照相机镜头、隐形雷达探照镜、高速飞行器窗口、天文望远镜的大型反射镜以及激光发射装置中的光学透镜、棱镜等。硬脆材料光学元件常规切削加工非常困难,通常通过超精密研磨、抛光及超精密磨削加工获得,但该方式加工时间长,加工成本较高。为解决这一加工难题,20世纪初一种超声抛光加工方法开始应用于工业领域。超声抛光可减小切削力和切削温度,减小刀具磨损,提高加工质量,拓展可加工材料范围,特别适合加工玻璃、陶瓷、石英、金刚石以及硅等各种硬脆材料。为解决目前各种超声抛光机床存在的包括抛光头轴线方向与复杂曲面元件抛光点的法线方向不重合导致的因抛光头与工件表面接触应力不均匀影响工件表面抛光精度;抛光过程中抛光头在最大弹性压缩深度时对工件表面易产生损伤;工件浸泡在抛光液中使超声传递的能量被分散,传递给抛光液中磨粒的能量较少,加工效率较低;抛光过程中工件离线检测反复安装产生的定位误差对加工质量和效率的不利影响等诸多技术问题,本申请人曾在申请号为201611119653.7的中国专利申请说明书中披露了一种曲面加工用五轴二维超声抛光机床。该机床由机架、XYZ三维移动机构、旋转式超声振动抛光装置、旋转工作台、抛光液超声雾化施液装置和工件在线检测装置组成。用其抛光光学复杂曲面元件时,将元件的表面形状参数转化为抛光头的走刀文件,通过运动学反解获得机床的数控程序,通过 ...
【技术保护点】
一种五轴三维超声抛光机床,包括机架、X向移动机构、Y向移动机构、Z向移动机构、超声振动抛光装置、旋转工作台、抛光液超声雾化施液装置和工件在线检测装置;其中Z向移动机构位于机架的床身(1)上,X向移动机构和Y向移动机构位于机架的机座(17)上;所述机架包括机座(17)和垂直固定在机座上的床身(1);所述Z向移动机构包括固定安装在所述床身的前壁上、前部带有Z向导轨(26)的Z向导轨座(3),可沿Z向导轨做Z向移动的Z向移动台(25),驱动Z向移动台做Z向移动的Z向移动丝杠(4)和驱动Z向移动丝杠转动的Z向伺服电机(2);所述Y向移动机构包括固定安装在所述机座上、上部带有Y向导轨(16)的Y向导轨座(15),可沿Y向导轨做Y向移动的Y向移动台(12),驱动Y向移动台做Y向移动的Y向移动丝杠(14)和驱动Y向移动丝杠转动的Y向伺服电机(13),Y向移动台上有X向导轨(21);所述X向移动机构包括可沿所述Y向移动台面上的X向导轨(21)做X向移动的X向移动台(22),驱动X向移动台做X向移动的X向移动丝杠(20)和驱动X向移动丝杠转动的X向伺服电机(19);所述旋转工作台包括固定安装在所述X向移 ...
【技术特征摘要】
1.一种五轴三维超声抛光机床,包括机架、X向移动机构、Y向移动机构、Z向移动机构、超声振动抛光装置、旋转工作台、抛光液超声雾化施液装置和工件在线检测装置;其中Z向移动机构位于机架的床身(1)上,X向移动机构和Y向移动机构位于机架的机座(17)上;所述机架包括机座(17)和垂直固定在机座上的床身(1);所述Z向移动机构包括固定安装在所述床身的前壁上、前部带有Z向导轨(26)的Z向导轨座(3),可沿Z向导轨做Z向移动的Z向移动台(25),驱动Z向移动台做Z向移动的Z向移动丝杠(4)和驱动Z向移动丝杠转动的Z向伺服电机(2);所述Y向移动机构包括固定安装在所述机座上、上部带有Y向导轨(16)的Y向导轨座(15),可沿Y向导轨做Y向移动的Y向移动台(12),驱动Y向移动台做Y向移动的Y向移动丝杠(14)和驱动Y向移动丝杠转动的Y向伺服电机(13),Y向移动台上有X向导轨(21);所述X向移动机构包括可沿所述Y向移动台面上的X向导轨(21)做X向移动的X向移动台(22),驱动X向移动台做X向移动的X向移动丝杠(20)和驱动X向移动丝杠转动的X向伺服电机(19);所述旋转工作台包括固定安装在所述X向移动台(22)上的机壳(11),在机壳的上部有放置被加工工件(8)的卧式旋转台(9),在机壳的内部安装有驱动卧式旋转台做卧式旋转的卧式旋转蜗轮蜗杆传动机构(10),在机壳的侧部有驱动卧式旋转蜗轮蜗杆传动机构的伺服电机(23);所述抛光液超声雾化施液装置包括固定安装在所述机座一侧的五轴机械手(7),该五轴机械手的...
【专利技术属性】
技术研发人员:安久贺,张涛,卞希帅,杨晓喆,陈东奇,于天彪,赵继,
申请(专利权)人:东北大学,
类型:新型
国别省市:辽宁,21
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