过滤环组件及现场废气处理装置制造方法及图纸

技术编号:15801284 阅读:343 留言:0更新日期:2017-07-11 19:43
本实用新型专利技术提供一种过滤环组件及现场废气处理装置,过滤环组件包括:过滤环,内部设有沿其长度方向贯通的第一通孔,过滤环为高分子细密网状结构;膈膜环,一端与过滤环的一端固定连接,膈膜环的内部设有沿其长度方向贯通的第二通孔,且膈膜环的内表面及外表面均为光滑表面。通过增设内外表面均为光滑表面的膈膜环,废气与水的反应产物不会在过滤环处形成,不会附着于过滤环的表面,从而防止了过滤环的堵塞;又由于膈膜环的表面为光滑表面,废气与水的反应产物不易在膈膜环的表面附着,或附着于膈膜环的表面后很容易被冲刷掉,从而防止了膈膜环的堵塞;进而延长了过滤环组件的使用周期,减少保养次数,增加安全可靠度。

Filter ring assembly and on-site waste gas treatment device

The utility model provides a filtering ring assembly and field of exhaust gas treatment device, the filter ring assembly includes a filter ring, inside is provided with a first through hole along the length direction of the filter ring polymer fine mesh structure; diaphragm ring, end end and the filter ring is fixedly connected with the inner ring of the diaphragm, a perforated along its length the direction of the second hole, and the inner surface and the outer surface of the diaphragm ring were smooth surface. By adding the outer surface for the diaphragm ring smooth surface, exhaust gas and water reaction products will not form in the filtering ring. The surface will not be attached to the filter ring, thereby preventing the clogging of the filter ring; and because the surface of diaphragm ring is a smooth surface, the reaction product of waste gas and water is not easy to be attached on the surface of the diaphragm ring, or attached to the surface of diaphragm ring can easily be washed away, thereby preventing blockage of the diaphragm ring; prolong filtration ring assembly cycle, reduce maintenance times, increase safety and reliability.

【技术实现步骤摘要】
过滤环组件及现场废气处理装置
本技术属于废气处理设备
,特别是涉及一种过滤环组件及现场废气处理装置。
技术介绍
在EPI(Epitaxy,外延)工艺中会对大量使用H2和TCS(Trichlorosilane,三氯硅烷),但这两种气体与空气接触有爆炸的风险,因此在EPI的工艺尾气处理装置中会有特殊设计的装置来避免爆炸的发生,过滤环即是避免爆炸发生的特殊设计装置之一。如图1所示,过滤环11的内部设有沿所述过滤环1的长度方向贯通的通孔111;所述过滤环11的材质是一种高分子材料,内部为细密网状结构,具有良好的气体通过性。现场废气处理装置(LocalScrubber)正是利用了过滤环材质的特性让N2均匀的通过过滤环与H2及TCS均匀的混合,以避免爆炸的发生。但由于在尾气的处理过程中,会在过滤环的尾部喷洒水以吸附尾气中的TCS,TCS遇水水解的方程式如下:SiHCl3+3H2O=H2SiO3+3HCl+H2硅酸遇热分解的方程式如下:H2SiO3=SiO2+H2O在TCS水解的产物硅酸遇热后会分解形成SiO2,SiO2会附着在过滤环的表面,从而导致过滤环的堵塞。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点,本技术的目的在于提供一种过滤环组件及现场废气处理装置,用于解决现有技术中由于TCS与水反应的产物会附着在过滤环的表面,从而导致过滤环堵塞的问题。为实现上述目的及其他相关目的,本技术提供一种过滤环组件,所述过滤环组件包括:过滤环,内部设有沿其长度方向贯通的第一通孔,所述过滤环为高分子细密网状结构;膈膜环,一端与所述过滤环的一端固定连接,所述膈膜环的内部设有沿其长度方向贯通的第二通孔,且所述膈膜环的内表面及外表面均为光滑表面。作为本技术的过滤环组件的一种优选方案,所述过滤环的轴向中心线、所述第一通孔的轴向中心线、所述膈膜环的轴向中心线及所述第二通孔的轴向中心线均相重合。作为本技术的过滤环组件的一种优选方案,所述第二通孔的横向尺寸大于或等于所述第一通孔的横向尺寸。作为本技术的过滤环组件的一种优选方案,所述膈膜环的横向尺寸大于或等于所述过滤环的横向尺寸。作为本技术的过滤环组件的一种优选方案,所述膈膜环的长度小于所述过滤环的长度。作为本技术的过滤环组件的一种优选方案,所述膈膜环的长度为所述过滤环的长度的1/9~1/8。作为本技术的过滤环组件的一种优选方案,所述膈膜环为透明结构。本技术还提供一种现场废气处理装置,适于对外延工艺的尾气进行处理,所述现场废气处理装置包括如上述任一方案中所述的过滤环组件。作为本技术的现场废气处理装置的一种优选方案,所述现场废气处理装置还包括:排气装置,一端与外延工艺腔室相连接,另一端与所述过滤环远离所述膈膜环的一端相连接,适于将外延工艺的尾气排至所述过滤环;稀释气体供给装置,位于所述过滤环的外侧,适于提供稀释气体以将排至所述过滤环内的尾气进行稀释;喷淋装置,位于所述膈膜环远离所述过滤环的一端,适于向所述膈膜环的所述第二通孔内喷淋水以回收部分与水反应的废气。如上所述,本技术的过滤环组件及现场废气处理装置,本技术的有益效果为:通过增设内外表面均为光滑表面的膈膜环,用于回收废气中与水反应的废气的喷淋装置会被移至膈膜环的底部,废气与水的反应产物不会在过滤环处形成,不会附着于过滤环的表面,从而防止了过滤环的堵塞;又由于膈膜环的表面为光滑表面,废气与水的反应产物不易在膈膜环的表面附着,或附着于膈膜环的表面后很容易被冲刷掉,从而防止了膈膜环的堵塞;进而延长了所述过滤环组件的使用周期,减少保养次数,增加安全可靠度。附图说明图1为现有技术中的过滤环的结构示意图。图2显示为本技术实施例一中提供的过滤环组件的结构示意图。元件标号说明11过滤环111通孔21过滤环211第一通孔22膈膜环221第二通孔具体实施方式以下通过特定的具体实例说明本技术的实施方式,本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点与功效。本技术还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用,本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用,在没有背离本技术的精神下进行各种修饰或改变。请参阅图2。需要说明的是,本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本技术的基本构想,虽图示中仅显示与本技术中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制,其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变,且其组件布局型态也可能更为复杂。实施例一请参阅图2,本专利技术提供一种过滤环组件,所述过滤环组件包括:过滤环21,所述过滤环21内部设有沿所述过滤环21的长度方向贯通的第一通孔211,所述过滤环21为高分子细密网状结构;膈膜环22,所述膈膜环22一端与所述过滤环21的一端固定连接,所述膈膜环22的内部设有沿所述膈膜环22的长度方向贯通的第二通孔221,且所述膈膜环22的内表面及外表面均为光滑表面。通过增设内外表面均为光滑表面的所述膈膜环22,可以在所述过滤环组件应用于废气处理装置时将用于回收废气中与水反应的废气的喷淋装置移至所述膈膜环22的底部,废气与水的反应产物不会在所述过滤环21处形成,不会附着于所述过滤环21的表面,从而防止了所述过滤环21的堵塞;又由于所述膈膜环22的表面为光滑表面,废气与水的反应产物不易在所述膈膜环22的表面附着,即使废气与水的反应物附着于所述膈膜环22的表面,也很容易被冲刷掉,从而防止了所述膈膜环22的堵塞;进而延长了所述过滤环组件的使用周期,减少保养次数,增加安全可靠度。作为示例,所述过滤环21及膈膜环22的形状可以根据实际需要设置为圆环柱形、方环柱形等等,优选地,本实施例中,所述过滤环21及所述膈膜环22的形状均为圆环柱形;所述第一通孔211及所述第二通孔221的形状可以根据实际需要设置为圆形、方形、三角形、六边形等等,优选地,本实施例中,所述第一通孔211及所述第二通孔221的形状均为圆形。作为示例,所述过滤环21的轴向中心线、所述第一通孔211的轴向中心线、所述膈膜环22的轴向中心线及所述第二通孔221的轴向中心线均相重合。作为示例,所述第二通孔221及所述第一通孔211的直径可以根据实际需要进行设定,所述第二通孔221的直径可以与所述第一通孔211的直径相同,也可以小于所述第一通孔211的直径,还可以大于所述第一通孔211的直径;优选地,本实施例中,所述第二通孔221的直径大于或等于所述第一通孔211的直径。作为示例,所述膈膜环22及所述过滤环21的尺寸可以根据实际需要进行设定,所述膈膜环22的直径可以大于所述过滤环21的直径,也可以小于或等于所述过滤环21的直径;优选地,本实施例中,所述膈膜环22的直径大于或等于所述过滤环21的直径。作为示例,所述膈膜环22的长度小于所述过滤环21的长度;当然,在其他示例中,所述膈膜环22的长度与可以大于或等于所述过滤环21的长度。需要说明的是,所述膈膜环22的长度及所述过滤环21的长度均为其轴向方向的尺寸,亦即为垂直于其端面方向的尺寸。作为示例,所述膈膜环22的长度为所述过滤环21的长度的1/9~1/8。作为示例,所述膈膜环22可以为透明结构。具体的,所述膈膜环22可以为透明本文档来自技高网...
过滤环组件及现场废气处理装置

【技术保护点】
一种过滤环组件,其特征在于,所述过滤环组件包括:过滤环,内部设有沿其长度方向贯通的第一通孔,所述过滤环为高分子细密网状结构;膈膜环,一端与所述过滤环的一端固定连接,所述膈膜环的内部设有沿其长度方向贯通的第二通孔,且所述膈膜环的内表面及外表面均为光滑表面。

【技术特征摘要】
1.一种过滤环组件,其特征在于,所述过滤环组件包括:过滤环,内部设有沿其长度方向贯通的第一通孔,所述过滤环为高分子细密网状结构;膈膜环,一端与所述过滤环的一端固定连接,所述膈膜环的内部设有沿其长度方向贯通的第二通孔,且所述膈膜环的内表面及外表面均为光滑表面。2.根据权利要求1所述的过滤环组件,其特征在于:所述过滤环的轴向中心线、所述第一通孔的轴向中心线、所述膈膜环的轴向中心线及所述第二通孔的轴向中心线均相重合。3.根据权利要求2所述的过滤环组件,其特征在于:所述第二通孔的横向尺寸大于或等于所述第一通孔的横向尺寸。4.根据权利要求1所述的过滤环组件,其特征在于:所述膈膜环的横向尺寸大于或等于所述过滤环的横向尺寸。5.根据权利要求1所述的过滤环组件,其特征在于:所述膈膜环的长度小于所述过滤环的长度。...

【专利技术属性】
技术研发人员:范小超熊颖斌文科
申请(专利权)人:中航重庆微电子有限公司
类型:新型
国别省市:重庆,50

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1