The invention provides a chip testing classification robot, including multi track vibration feeder assembly (1), (2), screening components under the pressure component (3), (4) long rotating component and a receiving component (5); under the pressure component (3) is connected with the lower part of the rotating assembly long (4) multi head; the rotating assembly (4) includes a dividing disc (41), a plurality of nozzle assembly (42) and (43), vacuum plate vacuum indexing plate (43) arranged on the dividing disc (41) axis, a plurality of nozzle assembly (42) according to the equal interval setting the disc in the dividing (41) on. The chip test classification of robot through the vibration plate collocation of high speed DDR motor drive and a plurality of test station to single test, test, test and Shun diverse testing method, which can improve the work efficiency and reduce labor and material costs, reduce labor intensity and optimize the production line and the excellent effect.
【技术实现步骤摘要】
芯片测试分类机器人
本专利技术涉及机械自动化领域,更为具体地,涉及一种芯片全自动测试装置。
技术介绍
目前对合格芯片的筛查多是采用晶圆测试探针台来完成。晶圆测试探针坦是由显微镜、探针座、工作台、承片台、电工系统及界面显示组成的,它搭配测试仪后完成对晶圆的电参数测试及功能测试。这种晶圆测试探针台因为其探针及打点机构的限制,电参数只能设置为两档(合格品与不合格品,不合格品打红点),电参数低于设置指标的只能作为不合格品归为废料,实际部分不合格品可以归为下一档(良品或中上品),检测设备的不合理造成了产品的浪费及成本增加。其次,在工作速度上因为需要手动换晶圆并校准以及晶圆平面移动需要X、Y轴同动等方面限制,导致其每小时工作效率并不高。再次,晶圆测试完后需切割成芯片,切割过程中有可能会造成芯片的损伤,切割后需再次筛选一遍,导致成本增加和效率降低。目前虽然也有多轨道进料检测设备,能够实现同时取料,同时检测和收纳功能,大大提高了工作效率,但这类设备一次取料只能检测一种参数,无法对待测产品性能做全面测试,也制约了其使用范围。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种芯片测试分类机器人及其测试方法,改变传统的芯片制造工序。通过振动盘搭配高速DDR马达传动以及多个测试工位,达到单测、顺测、并测等多样化测试方式,从而实现提高工作效率、降低人工及材料成本、降低劳动强度、优化生产线等优异效果。一种芯片测试分类机器人,包括多轨振动上料组件1,筛选组件2,下压组件3,多头旋转组件4和收料组件5;下压组件3下方连接有多头旋转组件4;所述多头旋转组件4包括工作分度圆盘41、多个吸嘴组件42和真 ...
【技术保护点】
一种芯片测试分类机器人,其特征在于,包括多轨振动上料组件(1),筛选组件(2),下压组件(3),多头旋转组件(4)和收料组件(5);下压组件(3)下方连接有多头旋转组件(4);所述多头旋转组件(4)包括工作分度圆盘(41)、多个吸嘴组件(42)和真空分度盘(43),真空分度盘(43)设置在工作分度圆盘(41)的轴心位置上,多个吸嘴组件(42)按照等分的间距设置在工作分度圆盘(41)上;多轨振动上料组件(1),筛选组件(2)和收料组件(5)依次相邻设置在多头旋转组件(4)的下方,且与吸嘴组件(42)的吸嘴(425)相对设置。
【技术特征摘要】
1.一种芯片测试分类机器人,其特征在于,包括多轨振动上料组件(1),筛选组件(2),下压组件(3),多头旋转组件(4)和收料组件(5);下压组件(3)下方连接有多头旋转组件(4);所述多头旋转组件(4)包括工作分度圆盘(41)、多个吸嘴组件(42)和真空分度盘(43),真空分度盘(43)设置在工作分度圆盘(41)的轴心位置上,多个吸嘴组件(42)按照等分的间距设置在工作分度圆盘(41)上;多轨振动上料组件(1),筛选组件(2)和收料组件(5)依次相邻设置在多头旋转组件(4)的下方,且与吸嘴组件(42)的吸嘴(425)相对设置。2.根据权利要求1所述的一种芯片测试分类机器人,其特征在于,多轨振动上料组件(1)包括圆轨上料震动组件(11),圆轨上料震动组件(11)的上料出口端邻接第一直轨上料振动组件(12),第一直轨上料振动组件(12)的上料出口端邻接第二直轨上料振动组件(13),第二直轨上料振动组件(13)的上料出口端邻接第三直轨上料振动组件(15),第三直轨上料振动组件(15)的侧下方设有直轨回料振动组件(14),直轨回料振动组件(14)的上料出口端邻接圆轨上料震动组件(11)的上料入口端。3.根据权利要求1所述的一种芯片测试分类机器人,其特征在于,筛选组件(2)包括一个筛选底板(23),筛选底板(23)上具有一个内凹平台,内凹平台内依次相邻设置多个测试组件(22),每个测试组件(22)旁边对应设置一个氮气输送组件(21),筛选底板(23)的底部连接有高低调节组件(24)。4.根据权利要求1所述的一种芯片测试分类机器人,其特征在于,下压组件(3)包括下压曲杆(32),下压曲杆(32)的一端连接有下压杆(31),下压曲杆(32)上还设有多个下压气缸(33),每个下压气缸(33)的底部连接有下压胶头。5.根据权利要求1所述的一种芯片测试分类机器人,其特征在于,吸嘴组件(42)包括止转杆(426),止转杆(426)固定在工作分度圆盘(41)上,止转杆(426)上连接有止转块(421),止转块(421)固定连接吸嘴导杆(422),吸嘴导杆(422)穿过工作分度圆盘(41),其下部通过直线轴承(427)连接吸嘴座(424),吸嘴座(424)上设有吸嘴(425),处于止转块(421)和工作分度圆盘(41)之间的吸嘴导杆(422)外部套装有弹簧(423)。6.根据权利要求1所述的一种芯片测试分类机器人,其特征在于,真空分度盘(43)包括固定分度盘(431)和旋转分...
【专利技术属性】
技术研发人员:陆军,王毅,陈尔军,吉俊,郝雪闯,
申请(专利权)人:扬州爱迪秀自动化科技有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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