本发明专利技术的目的是要抑制半导体装置中的空隙的形成。这些半导体装置(210、220)设置有半导体元件(211、221)、多个信号线(212、222)和保护层(240)。在半导体装置中，该半导体元件设置在衬底(250)上。半导体装置中的多个信号线连接到衬底上的半导体元件上。半导体装置的保护层设置在信号线之间的区域中，所述区域被衬底上的多个信号线中的两个相邻信号线的端部围绕。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】半导体装置、显示面板、显示装置、电子装置、以及制造半导体装置的方法
本技术涉及半导体装置、显示面板、显示装置、电子装置、以及半导体装置的制造方法。更特别的，本技术涉及通过光刻法制造的半导体装置、显示面板、显示装置、电子装置、以及半导体装置的制造方法。
技术介绍
在常规的半导体装置制造过程中，通常使用光刻法利用显影技术形成微小图案。在该光刻法中，通常通过依次执行以下过程来形成特定图案：以将感光树脂涂布到衬底上的过程；曝光过程，将通过发射紫外线等改变感光树脂的溶解度；和显影过程，用特定的溶剂移除感光树脂。根据提出的方法，例如，通过光刻法留下在半导体元件周围的感光树脂，并且在信号线连接到半导体元件之前用留下的感光树脂对半导体元件进行紧固(例如参见专利文献1)。引用文献列表专利文献专利文献1：日本公开专利申请特开第2011-233733号
技术实现思路
本专利技术要解决的问题但是，通过上述常规技术，在显影过程中用溶剂对半导体装置下的感光树脂的边缘进行侵蚀，并且在信号线连接到半导体元件时，在信号线和感光树脂之间形成有空间(下文中称为“侵蚀部分”)。此外，当在信号线连接后用涂覆剂涂覆时，留在半导体元件周围的感光树脂阻碍涂覆剂填充侵蚀部分。因此，在侵蚀部分中形成有空隙，并且在半导体元件的温度变高时，半导体元件由于空隙的热膨胀而遭受损坏。而且，在后来的部件安装过程中进行回流时，空隙中的水分可能会膨胀，半导体元件可能会遭受损坏。此外，由于金属离子经由空隙移动，可能会发生离子迁移，导致信号线之间的绝缘失效。鉴于那些方面而开发出本技术，本技术是要阻止在半导体装置中的空隙的形成。问题的解决方案已经开发出本技术来解决上述问题。本技术的第一方面为一种一种半导体装置，包括：安装在衬底上的半导体元件；在所述衬底上连接到所述半导体元件的信号线；和形成于线间区域中的保护层，所述线间区域布置在所述衬底上的所述信号线中的两个相邻的信号线的两个边缘之间。在该配置下，保护层设置在线间区域中。此外，在第一方面中，所述感光树脂可以设置在除了所述线间区域中的至少一个之外的线间区域中。这样，所述感光树脂在除了所述线间区域中的至少一个之外的线间区域中。此外，在第一方面中，所述感光树脂优选可以设置于在具有小电势差的信号线之间的区域中，所述区域为所述线间区域。这样，感光树脂优选设置在线间区域中具有小电势差的信号线之间的区域中。此外，在第一方面中，所述感光树脂可以设置于在基本具有相同电势的信号线之间的区域中，所述区域为所述线间区域。这样，感光树脂设置在线间区域中基本具有相同电势的信号线之间的区域中。此外，在第一方面中，可以在所述半导体元件的每侧设置至少一块感光树脂。这样，在所述半导体元件的每侧设置至少一块感光树脂。此外，在第一方面中，所述感光树脂可以不没有设置在具有比预定水平高的电势差的端子之间。这样，所述感光树脂没有设置在具有比预定水平大的电势差的端子之间。此外，在第一方面中，所述信号线可以传输指示预定颜色的色阶的色阶信号，所述色阶信号要被供给给发光元件，并且所述感光树脂设置在传输所述色阶信号的信号线之间的线间区域中。这样，感光树脂设置在传输色阶信号的信号线之间的线间区域中。此外，在第一方面中，所述信号线可以包括传输第一色阶信号的信号线和传输第二色阶信号的信号线，所述第一色阶信号指示第一颜色的色阶，所述第二色阶信号指示第二颜色的色阶。这样，感光树脂设置在包括传输第一色阶信号的信号线和传输第二色阶信号的信号线的信号线之间的线间区域中。此外，在第一方面中，所述色阶信号可以是脉冲宽度与所述发光元件的发光周期对应的脉冲信号。这样，发光元件根据脉冲宽度与所述发光元件的发光周期对应的脉冲信号发光。此外，在第一方面中，所述信号线可以包括不传输信号的非传输线和传输信号的传输线，并且所述感光树脂可以设置在所述非传输线和所述传输线之间。这样，所述感光树脂设置在所述非传输线和所述传输线之间。此外，在第一方面中，所述信号线可以包括将输入信号传输给所述半导体装置的输入线，并且所述感光树脂设置在传输所述输入线之间的线间区域中。这样，所述感光树脂设置在传输所述输入线之间的线间区域中。此外，在第一方面中，所述信号线可以包括传输来自所述半导体装置的输出信号的输出线，并且所述感光树脂可以设置在所述输出线之间的线间区域中。这样，所述感光树脂设置在所述输出线之间的线间区域中。此外，在第一方面中，可以用透明树脂形成所述保护层。这样，用透明树脂形成所述保护层。此外，本技术的第二方面是一种显示面板，包括：发光的发光元件；半导体元件，在衬底上驱动发光元件；在所述衬底上连接到半导体元件的信号线；和形成于线间区域中的保护层，所述线间区域布置在所述衬底上的信号线中的两个相邻的信号线的两个边缘之间。在该配置下，在线间区域中设置保护层。此外，本技术的第三方面是一种显示装置，包括：发光的发光元件；在衬底上的半导体元件，根据控制信号来驱动发光元件；控制单元，配置为产生所述控制信号；在所述衬底上连接到半导体元件的信号线；和形成于线间区域中的保护层，所述线间区域布置在所述衬底上的信号线中的两个相邻的信号线的两个边缘之间。在该配置下，使线间区域覆盖有保护层。此外，本技术的第四方面是一种电子装置，包括：在衬底上的半导体元件，根据控制信号进行操作；控制单元，产生所述控制信号；在所述衬底上连接到半导体元件的信号线；和形成于线间区域中的保护层，所述线间区域布置在所述衬底上的信号线中的两个相邻的信号线的两个边缘之间。在该配置下，使线间区域覆盖有保护层。此外，本技术的第五方面是一种半导体装置制造方法，包括：移除步骤，从在感光树脂所涂布到的衬底上的布线路径中的两个相邻布线路径的两个边缘之间的至少一个线间区域移除感光树脂；布线步骤，将信号线布置在各自布线路径中，并且将所述信号线连接到半导体元件；和涂覆步骤，用保护层涂覆所述线间区域。利用该方法，使线间区域覆盖有保护层。此外，在第五方面，所述移除步骤包括：曝光步骤，对除了所述线间区域中的至少一个之外的线间区域中的感光树脂进行曝光；和显影步骤，用特定的溶剂从所述线间区域中的至少一个移除所述感光树脂。利用该方法，将感光树脂曝光在除了线间区域中的至少一个之外的区域中并且用特定的溶剂从所述线间区域中的至少一个移除感光树脂。本专利技术的有益效果根据本技术，可以实现用以阻止半导体装置中的空隙的形成的有益效果。注意，本技术的效果不限于本文中描述的效果，并且可以包括本公开中描述的任何效果。附图说明图1是示出了根据一个实施例的显示装置的示例性配置的框图。图2是根据一个实施例的显示单元的横截面视图的示例。图3是根据一个实施例的半导体装置的俯视图的示例。图4是示出了根据一个实施例的半导体装置的制造过程的流程图的示例。图5是根据一个实施例的用于解释感光树脂涂布过程和半导体芯片安装过程的图。图6是用于解释根据一个实施例的曝光过程的图。图7是根据一个实施例的光掩膜的俯视图的示例。图8是用于解释根据一个实施例的显影过程的图。图9是用于解释根据一个实施例的布线过程的图。图10是根据一个比较例的半导体装置的俯视图和横截面视图的示例。图11是根据一个变形例的光掩膜的俯视图的示例。图12是用于解释根据一个变形例的曝光过程的图。图本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种半导体装置，包括：半导体元件，安装在衬底上；多个信号线，在所述衬底上连接到所述半导体元件；和保护层，形成于线间区域中，所述线间区域布置在所述衬底上的所述信号线中的两个相邻的信号线的两个边缘之间。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.03.26 JP 2014-0628871.一种半导体装置，包括：半导体元件，安装在衬底上；多个信号线，在所述衬底上连接到所述半导体元件；和保护层，形成于线间区域中，所述线间区域布置在所述衬底上的所述信号线中的两个相邻的信号线的两个边缘之间。2.根据权利要求1所述的半导体装置，其中在除了所述线间区域中的至少一个之外的线间区域中设置感光树脂。3.根据权利要求2所述的半导体装置，其中所述感光树脂优选设置于在具有小电势差的信号线之间的区域中，所述区域为所述线间区域。4.根据权利要求2或3所述的半导体装置，其中所述感光树脂设置于在基本具有相同电势的信号线之间的区域中，所述区域为所述线间区域。5.根据权利要求2至4中任一项所述的半导体装置，其中在所述半导体元件的每侧设置至少一块所述感光树脂。6.根据权利要求2至5中任一项所述的半导体装置，其中所述感光树脂没有设置在具有比预定水平高的电势差的端子之间。7.根据权利要求2至6中任一项所述的半导体装置，其中所述信号线传输指示预定颜色的色阶的色阶信号，所述色阶信号要被供给给发光元件，和所述感光树脂设置在传输所述色阶信号的信号线之间的所述线间区域中。8.根据权利要求7所述的半导体装置，其中所述信号线包括配置为传输第一色阶信号的信号线和配置为传输第二色阶信号的信号线，所述第一色阶信号指示第一颜色的色阶，所述第二色阶信号指示第二颜色的色阶。9.根据权利要求7或8所述的半导体装置，其中所述色阶信号是脉冲宽度与所述发光元件的发光周期对应的脉冲信号。10.根据权利要求2至9中任一项所述的半导体装置，其中所述信号线包括配置为不传输信号的非传输线和配置为传输信号的传输线，和所述感光树脂设置在所述非传输线和所述传输线之间。11.根据权利要求2至10中任一项所述的半导体装置，其中所述信号线包括配置为将输入信号传输给...
【专利技术属性】
技术研发人员：铃木淳，
申请(专利权)人：索尼公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP
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