基板处理装置以及基板处理方法制造方法及图纸

提供一种在搬运多张基板时的调度表生成中，能够生成时间效率高的调度表的技术。本发明专利技术的调度表生成装置，在通过处理部对多张基板进行处理并搬运时的调度表生成中，判断是否能够通过一并搬出流程使搬运比通过依次搬出流程早结束，然后根据判断结果选择性地采用一并搬出流程或依次搬出流程。其中，依次搬出流程是以能够开始进行搬运处理的时刻早的顺序将各基板搬运至规定的搬运目的地的流程，一并搬出流程时在后基板的搬运处理能够开始的时刻之前不搬运能够开始进行搬运处理的基板，而在变为在后基板的搬运处理能够开始的时刻时一并将多张基板搬运至搬运目的地的流程。

【技术实现步骤摘要】
基板处理装置以及基板处理方法本申请是申请号为201380049382.0、申请日为2013年7月25日、专利技术名称为“调度表生成装置以及方法、基板处理装置以及方法”的专利申请的分案申请。
本专利技术涉及对基板处理的流程进行计划的调度表生成装置、具有该调度表生成装置的基板处理装置、调度表生成方法以及基板处理方法。
技术介绍
具有多种对基板进行处理的基板处理装置。例如，专利文献1的基板处理装置，经由基板翻转单元以及基板载置部将对未处理基板以及已处理基板进行收集的分度器部、对基板进行清洗等处理的处理部连接。在分度器部以及处理部分别配置各部专用的搬运机械手。在专利文献1中公开了具有独立被驱动来前进或后退的两个臂部的分度器部用搬运机械手(主机械手)。另外，在该两个臂部各自的顶端设置有基板保持手部，该基板保持手部能够保持两张基板，因此共计能够搬运4张基板。现有技术文献专利文献专利文献1：JP特开2010-45214号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题但是，在该文献中，没有公开在一系列的基板处理中主机械手在哪个时刻应该访问哪个处理单元。因此，在一系列的基板处理中，不能够确切地根据状况设定各基板的搬运调度表。本专利技术是鉴于上述的问题而提出的，其目的在于提供一种在一系列的基板处理中，能够确切地根据状况设定各基板的搬运调度表，来提高基板处理装置的生产率的技术。用于解决问题的手段为了解决上述的问题，第1方式的调度表生成装置，用于生成基板处理装置的控制调度表，该控制调度表包括搬运处理的调度表，该搬运处理指，利用规定的搬运单元将被多个处理单元并行且在彼此独立的时刻处理过的多张基板向规定的搬运目的地搬运的处理，该调度表生成装置的特征在于，具有比较单元和选择性调度表生成单元，该比较单元针对在先基板和在后基板相互比较第1判定用时刻值和第2判定用时刻值，所述在先基板指，通过所述多个处理单元中的任意的一处理单元进行的处理先结束的基板，所述在后基板指，通过所述多个处理单元中的与所述一处理单元不同的处理单元进行的处理在所述在先基板的处理结束之后结束的基板，在将对所述在先基板进行处理的处理单元称为第1处理单元，将对所述在后基板进行处理的处理单元称为第2处理单元时，所述第1判定用时刻值为与依次搬出流程结束的时刻相对应的时刻值，所述依次搬出流程为，依次对所述在先基板和所述在后基板进行所述搬运处理的搬出时序，所述第2判定用时刻值为与一并搬出流程结束的时刻相对应的时刻值，所述一并搬出流程表为，使所述在先基板待机至通过所述第2处理单元对所述在后基板进行的处理结束为止，并在对所述在后基板的处理结束之后，对所述在先基板和所述在后基板一并进行所述搬运处理的搬出时序；在所述第1判定用时刻值比所述第2判定用时刻值早时，所述选择性调度表生成单元采用所述依次搬出流程来生成所述基板处理装置的调度表数据，在所述第2判定用时刻值比所述第1判定用时刻值早时，所述选择性调度表生成单元采用所述一并搬出流程来生成所述基板处理装置的调度表数据。第2方式的调度表生成装置，在第1方式的调度表生成装置中，其特征在于，所述比较单元代替所述第1判定用时刻值采用表示第一特定时刻的时刻值作为所述第1判定用时刻值，该第一特定时刻指，比通过处理部对所述在先基板进行的处理结束的时刻延迟包含往返所需时间的时间的时刻，所述比较单元代替所述第2判定用时刻值采用表示第二特定时刻的时刻值作为所述第2判定用时刻值，该第二特定时刻指，通过所述处理部对所述在后基板进行的处理结束的时刻。第3方式的调度表生成装置，在第2方式的调度表生成装置中，其特征在于，在通过所述多个处理单元进行的处理结束的基板被所述搬运单元保持为止的期间，存在需要规定的中间处理时间的中间处理，所述中间处理是不能对两张以上的基板同时执行，仅能够依次逐张地对基板执行的排他性处理，将通过所述第1处理单元对所述在先基板进行的处理结束的预计时刻作为第1处理结束预计时刻，将通过所述第2处理单元对所述在后基板进行的处理结束的预计时刻作为第2处理结束预计时刻，所述比较单元基于与所述第1处理结束预计时刻相比延迟包含所述中间处理时间和所述往返所需时间的时间的时刻，确定所述第1判定用时刻值，所述比较单元基于所述第2处理结束预计时刻，确定所述第2判定用时刻值。第4方式的调度表生成装置，在第3方式的调度表生成装置中，其特征在于，所述搬运单元具有多个基板保持单元，所述多个基板保持单元能够分别从所述多个处理单元一次取出一张基板，所述中间处理是从所述多个基板保持单元所对应的处理单元取出基板的处理。第5方式调度表生成装置，在第1方式的调度表生成装置中，其特征在于，预先将所述调度表中的针对各基板的各单位工序的时间长度规定为时间区段，所述选择性调度表生成单元具有：确定候补确定单元，从基本调度表中以开始预计时刻早的顺序选择各区段作为确定候补区段，该基本调度表是，连续排列与针对所述在先基板和所述在后基板进行的一系列工序相对应的时间区段而生成的时序，确定单元，基于所述在先基板和所述在后基板各自的时间区段相互间的规定的配置条件，确定所述确定候补区段的配置时间段；所述确定单元基于所述第1判定用时刻值与所述第2判定用时刻值的比较结果，确定所述确定候补区段的配置时间段。第6方式的调度表生成装置，在第1方式的调度表生成装置中，其特征在于，所述搬运单元能够同时保持搬运最大保持数(Nmax)的基板，该最大保持数(Nmax)为3个以上的值，并且，所述选择性调度表生成单元，一边从应该搬运的多张基板中依次成对地选择所述在先基板和所述在后基板，一边针对所选择的所述在先基板和所述在后基板比较所述第1判定用时刻值和所述第2判定用时刻值，由此选择依次搬运流程、部分一并搬运流程和全部一并搬运流程中的一个流程，来生成所述基板处理装置的调度表数据，其中，所述依次搬运流程为依次搬运各基板的时序，所述部分一并搬运流程为一并搬运最大保持数(Nmax)的基板中的一部分基板的时序，所述全部一并搬运流程为一并搬运最大保持数(Nmax)的基板的时序。第7方式的调度表生成装置，在第1方式的调度表生成装置中，其特征在于，所述多个处理单元各自进行的处理是，在该处理结束的基板从各处理单元被所述搬运单元搬出的时间点，基板变为干燥状态且非高温状态的处理。第8方式的调度表生成装置，在第1方式的调度表生成装置中，其特征在于，在所述第1判定用时刻值和所述第2判定用时刻值为同一时刻时，所述选择性调度表生成单元采用所述依次搬出流程来生成所述基板处理装置的调度表数据。第9方式的调度表生成装置，在第1方式的调度表生成装置中，其特征在于，在所述第1判定用时刻值和所述第2判定用时刻值为同一时刻时，所述选择性调度表生成单元采用所述一并搬出流程来生成所述基板处理装置的调度表数据。第10方式的调度表生成装置，在第1方式的调度表生成装置中，其特征在于，所述规定的搬运目的地包括在铅垂方向上隔开规定距离设置的4个基板载置部，所述搬运单元具有对应于所述4个基板载置部在铅垂方向上隔开规定距离设置的4个基板保持单元，能够在水平方向上分别单独地驱动所述4个基板保持单元，由此能够使所述4个基板保持单元彼此单独地与所述4个基板保持单元分别对应的所述4个基板载置部交接基板。第11方式的调度表本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板处理装置，具有：多个处理单元，用于处理基板；搬运单元，能够将被所述多个处理单元并行且在彼此独立的时刻处理过的多张基板向规定的搬运目的地搬运；以及控制单元，控制所述多个处理单元以及所述搬运单元，该基板处理装置的特征在于，所述控制单元执行针对在先基板和在后基板相互比较第1判定用时刻值和第2判定用时刻值的比较工序，所述在先基板指，通过所述多个处理单元中的任意的一处理单元进行的处理先结束的基板，所述在后基板指，通过所述多个处理单元中的与所述一处理单元不同的处理单元进行的处理在所述在先基板的处理结束之后结束的基板，将对所述在先基板进行处理的处理单元称为第1处理单元，将对所述在后基板进行处理的处理单元称为第2处理单元，所述第1判定用时刻值为与依次搬出流程结束的时刻相对应的时刻值，所述依次搬出流程为，依次对所述在先基板和所述在后基板进行所述搬运处理的搬出时序，所述第2判定用时刻值为与一并搬出流程结束的时刻相对应的时刻值，所述一并搬出流程表为，使所述在先基板待机至通过所述第2处理单元对所述在后基板进行的处理结束为止，并在对所述在后基板的处理结束之后，对所述在先基板和所述在后基板一并进行所述搬运处理的搬出时序；在所述第1判定用时刻值比所述第2判定用时刻值早时，所述控制单元控制所述搬运单元，使得采用所述依次搬出流程搬运所述在先基板和所述在后基板，在所述第2判定用时刻值比所述第1判定用时刻值早时，所述控制单元控制所述搬运单元，使得采用所述一并搬出流程来搬运所述在先基板和所述在后基板。...

【技术特征摘要】
2012.09.21 JP 2012-208333;2013.03.14 JP 2013-051511.一种基板处理装置，具有：多个处理单元，用于处理基板；搬运单元，能够将被所述多个处理单元并行且在彼此独立的时刻处理过的多张基板向规定的搬运目的地搬运；以及控制单元，控制所述多个处理单元以及所述搬运单元，该基板处理装置的特征在于，所述控制单元执行针对在先基板和在后基板相互比较第1判定用时刻值和第2判定用时刻值的比较工序，所述在先基板指，通过所述多个处理单元中的任意的一处理单元进行的处理先结束的基板，所述在后基板指，通过所述多个处理单元中的与所述一处理单元不同的处理单元进行的处理在所述在先基板的处理结束之后结束的基板，将对所述在先基板进行处理的处理单元称为第1处理单元，将对所述在后基板进行处理的处理单元称为第2处理单元，所述第1判定用时刻值为与依次搬出流程结束的时刻相对应的时刻值，所述依次搬出流程为，依次对所述在先基板和所述在后基板进行所述搬运处理的搬出时序，所述第2判定用时刻值为与一并搬出流程结束的时刻相对应的时刻值，所述一并搬出流程表为，使所述在先基板待机至通过所述第2处理单元对所述在后基板进行的处理结束为止，并在对所述在后基板的处理结束之后，对所述在先基板和所述在后基板一并进行所述搬运处理的搬出时序；在所述第1判定用时刻值比所述第2判定用时刻值早时，所述控制单元控制所述搬运单元，使得采用所述依次搬出流程搬运所述在先基板和所述在后基板，在所述第2判定用时刻值比所述第1判定用时刻值早时，所述控制单元控制所述搬运单元，使得采用所述一并搬出流程来搬运所述在先基板和所述在后基板。2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，所述控制单元，在所述比较工序中，代替所述第1判定用时刻值采用表示第一特定时刻的时刻值作为所述第1判定用时刻值，该第一特定时刻指，比通过所述处理单元对所述在先基板进行的处理结束的时刻延迟包含往返所需时间的时间的时刻，并且，代替所述第2判定用时刻值采用表示第二特定时刻的时刻值作为所述第2判定用时刻值，该第二特定时刻指，通过所述处理单元对所述在后基板进行的处理结束的时刻。3.根据权利要求2所述的基板处理装置，其特征在于，该基板处理装置还具有用于进行中间处理的中间处理单元，该中间处理在通过所述多个处理单元进行的处理结束的基板被所述搬运单元保持为止的期间，需要规定的中间处理时间，所述中间处理是不能对两张以上的基板同时执行，仅能够依次逐张地对基板执行的排他性处理，将通过所述第1处理单元对所述在先基板进行的处理结束的预计时刻作为第1处理结束预计时刻，将通过所述第2处理单元对所述在后基板进行的处理结束的预计时刻作为第2处理结束预计时刻，所述控制单元，在所述比较工序中，基于与所述第1处理结束预计时刻相比延迟包含所述中间处理时间和所述往返所需时间的时间的时刻，确定所述第1判定用时刻值，并且，基于所述第2处理结束预计时刻，确定所述第2判定用时刻值。4.根据权利要求3所述的基板处理装置，其特征在于，所述搬运单元具有多个基板保持单元，所述多个基板保持单元能够分别从所述多个处理单元一次取出一张基板，所述中间处理是从所述多个基板保持单元所对应的处理单元取出基板的处理。5.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，所述搬运单元能够同时保持搬运最大保持数Nmax的基板，该最大保持数Nmax为3个以上的值，并且，所述控制单元，一边从应该搬运的多张基板中依次成对地选择所述在先基板和所述在后基板，一边针对所选择的所述在先基板和所述在后基板比较所述第1判定用时刻值和所述第2判定用时刻值，由此选择依次搬运流程、部分一并搬运流程和全部一并搬运流程中的一个流程，来控制所述搬运单元，其中，所述依次搬运流程为依次搬运各基板的时序，所述部分一并搬运流程为一并搬运最大保持数Nmax的基板中的一部分基板的时序，所述全部一并搬运流程为一并搬运最大...

【专利技术属性】
技术研发人员：平藤裕司，
申请(专利权)人：斯克林集团公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP