光学检测装置制造方法及图纸

一种光学检测装置，包含分光镜、第一光源与第一影像撷取装置。分光镜具有相对的第一侧与第二侧。分光镜让第一光束穿透并反射第二光束，且第二光束的波长不同于第一光束的波长。第一光源置于分光镜的第一侧，用以提供第一光束以穿透分光镜。第一影像撷取装置置于分光镜的第二侧，用以侦测自分光镜反射的第二光束。光学检测装置可具有较低或甚至实质为零的能量损失。另外，待测物的影像不会有像差的问题。

【技术实现步骤摘要】
光学检测装置
本专利技术是有关于一种光学检测装置。
技术介绍
半导体芯片是在一半导体晶圆上形成集成电路而形成。半导体芯片最上层的表面通常会沉积一层保护层作为保护。保护层可防止半导体芯片受到非期望的水气与离子污染物的损害。晶圆可使用检测装置以检测保护层的厚度与均匀度。
技术实现思路
本专利技术的一方面提供一种光学检测装置，包含分光镜、第一光源与第一影像撷取装置。分光镜具有相对的第一侧与第二侧。分光镜让第一光束穿透并反射第二光束，且第二光束的波长不同于第一光束的波长。第一光源置于分光镜的第一侧，用以提供第一光束以穿透分光镜。第一影像撷取装置置于分光镜的第二侧，用以侦测自分光镜反射的第二光束。在一或多个实施方式中，第一光源与第一影像撷取装置为同轴设置。在一或多个实施方式中，分光镜为带通滤波元件或短通滤波元件。在一或多个实施方式中，第一光束的波长短于第二光束的波长。在一或多个实施方式中，第一光束为紫外光，且第二光束为可见光。在一或多个实施方式中，光学检测装置还包含滤波元件，置于分光镜与第一影像撷取装置之间，以阻挡第一光束并让第二光束通过。在一或多个实施方式中，第一光源提供第一光束至检测位置，且第一影像撷取装置侦测来自检测位置的第二光束，且光学检测装置还包含第二光源，用以提供第三光束沿着一路径至检测位置，该路径与分光镜相隔开。在一或多个实施方式中，第二光源为环形光源。在一或多个实施方式中，第二光源环绕由第一光源与分光镜形成的光轴。在一或多个实施方式中，第三光束为可见光。在一或多个实施方式中，第一光源提供第一光束至检测位置，且第一影像撷取装置侦测来自检测位置的第二光束，且光学检测装置还包含第二光源，用以提供第三光束沿着一路径至检测位置，分光镜置于该路径上。在一或多个实施方式中，第二光源为环形光源。在一或多个实施方式中，第二光源环绕第一影像撷取装置。在一或多个实施方式中，第三光束为可见光。在一或多个实施方式中，第一光源提供第一光束至检测位置，第一影像撷取装置侦测来自检测位置的第二光束，且光学检测装置还包含第二影像撷取装置，用以斜向撷取检测位置的影像。第二影像撷取装置具有一视野，该视野未覆盖至少部分的分光镜与至少部分的第一影像撷取装置。在一或多个实施方式中，第一影像撷取装置为彩色相机，且具有调制转换函数，于每毫米约50对黑白条纹线至每毫米约25对黑白条纹线时，调制转换函数的值的范围为约30％至约100％。在一或多个实施方式中，第一影像撷取装置为单色相机，且具有调制转换函数，于每毫米约20对黑白条纹线至每毫米约14.2对黑白条纹线时，调制转换函数的值的范围为约30％至约100％。本专利技术的另一方面提供一种光学检测装置，包含第一光源、分光镜、第一影像撷取装置与第二光源。第一光源提供第一光束至检测位置。第一光束与检测位置形成光轴。分光镜置于光轴上，且具有相对的第一侧与第二侧。第一光束自第一侧穿透分光镜至检测位置。第一影像撷取装置置于光轴外，用以侦测自分光镜的第二侧反射的第二光束。第二光束来自检测位置，且第二光束的波长不同于第一光束的波长。第一光源与第一影像撷取装置是同轴设置。第二光源用以提供第三光束至检测位置。第三光束的路径与分光镜相隔开。在一或多个实施方式中，光学检测装置还包含第三光源，用以提供第四光束至检测位置。第三光源环绕第一影像撷取装置设置。在一或多个实施方式中，光学检测装置还包含第二影像撷取装置，用以撷取检测位置的影像。第二影像撷取装置具有一视野，该视野未覆盖至少部分的分光镜、至少部分的第一影像撷取装置与至少部分的第二光源。因上述实施方式的光学检测装置利用分光镜以整列第一光束与第二光束的光路径，因此第一光束与第二光束可具有较低或甚至实质为零的能量损失。另外，因第一影像撷取装置侦测自分光镜反射的第二光束，因此待测物的影像不会有像差(chromaticaberration)的问题。因此，不需执行影像补偿程序即可直接分析影像。附图说明图1为本专利技术一实施方式的光学检测装置的示意图；图2为图1的分光镜在一些实施方式的穿透频谱图；图3为本专利技术另一实施方式的光学检测装置的示意图；图4为本专利技术再一实施方式的光学检测装置的示意图；图5为本专利技术又一实施方式的光学检测装置的示意图。具体实施方式以下将以附图揭露本专利技术的多个实施方式，为明确说明起见，许多实务上的细节将在以下叙述中一并说明。然而，应了解到，这些实务上的细节不应用以限制本专利技术。也就是说，在本专利技术部分实施方式中，这些实务上的细节是非必要的。此外，为简化附图起见，一些已知惯用的结构与元件在附图中将以简单示意的方式绘示。图1为本专利技术一实施方式的光学检测装置的示意图。光学检测装置包含分光镜110、第一光源120与第一影像撷取装置130。分光镜110具有相对的第一侧112与第二侧114。分光镜110让第一光束122穿透并反射第二光束912，且第二光束912的波长不同于第一光束122的波长。第一光源120置于分光镜110的第一侧112，用以提供第一光束122以穿透分光镜110。第一影像撷取装置130置于分光镜110的第二侧114，用以侦测自分光镜110反射的第二光束912。在一些实施方式中，光学检测装置可检测具有波长转换层(未绘示)的待测物910。波长转换层可将第一光束122转换成第二光束912。如此一来，在检测时，第一光源120射出第一光束122，其穿透分光镜110并打至待测物910上。待测物910的波长转换层将第一光束122转换成第二光束912，且第二光束912传播回分光镜110。分光镜110接着将第二光束912反射至第一影像撷取装置130，使得第一影像撷取装置130可接收到待测物910的影像。因本实施方式的光学检测装置利用分光镜110以整列第一光束122与第二光束912的光路径，因此第一光束122与第二光束912可具有较低或甚至实质为零的能量损失。换言之，第一光束122与第二光束912的能量可被有效地利用。另外，因第一影像撷取装置130侦测自分光镜110反射的第二光束912，因此待测物910的影像不会有像差(chromaticaberration)的问题，其中像差问题肇因于一光束穿透一介质时产生的光色散。因此，不需执行影像补偿程序即可直接分析影像。在一些实施方式中，分光镜110可为短通(short-pass)滤波元件或者为带通(band-pass)滤波元件，其可由一短通滤波元件与一长通(long-pass)滤波元件结合而成。短通滤波元件让一特定波长以下的光通过，且反射(或阻挡)该波长以上的光。长通滤波元件让一特定波长以上的光通过，且反射(或阻挡)该波长以下的光。带通滤波元件让一特定波长范围以内的光通过，且反射(或阻挡)该波长范围以外的光。图2为图1的分光镜110在一些实施方式的穿透频谱图。请一并参照图1与图2。在图2中，分光镜为一短通滤波元件，其让一波长λ0以下的光通过，并反射(或阻挡)该波长λ0以上的光。在一些实施方式中，第一光束122的波长可低于波长λ0，而第二光束912的波长可高于波长λ0。换言之，第一光束122的波长短于第二光束912的波长。如图2所示，低于波长λ0的光具有高穿透率，例如实质为100％，而高于波长λ0的光具有低穿透率，例如实质为0％。也就是说本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光学检测装置，其特征在于，包含：一分光镜，具有相对的一第一侧与一第二侧，其中该分光镜让一第一光束穿透并反射一第二光束，且该第二光束的波长不同于该第一光束的波长；一第一光源，置于该分光镜的该第一侧，用以提供该第一光束以穿透该分光镜；以及一第一影像撷取装置，置于该分光镜的该第二侧，用以侦测自该分光镜反射的该第二光束。

【技术特征摘要】
2015.12.29 US 14/983,4701.一种光学检测装置，其特征在于，包含：一分光镜，具有相对的一第一侧与一第二侧，其中该分光镜让一第一光束穿透并反射一第二光束，且该第二光束的波长不同于该第一光束的波长；一第一光源，置于该分光镜的该第一侧，用以提供该第一光束以穿透该分光镜；以及一第一影像撷取装置，置于该分光镜的该第二侧，用以侦测自该分光镜反射的该第二光束。2.根据权利要求1所述的光学检测装置，其特征在于，该第一光源与该第一影像撷取装置为同轴设置。3.根据权利要求1所述的光学检测装置，其特征在于，该分光镜为一带通滤波元件或一短通滤波元件。4.根据权利要求1所述的光学检测装置，其特征在于，该第一光束的该波长短于该第二光束的该波长。5.根据权利要求1所述的光学检测装置，其特征在于，该第一光束为紫外光，且该第二光束为可见光。6.根据权利要求1所述的光学检测装置，其特征在于，还包含一滤波元件，置于该分光镜与该第一影像撷取装置之间，以阻挡该第一光束并让该第二光束通过。7.根据权利要求1所述的光学检测装置，其特征在于，该第一光源提供该第一光束至一检测位置，且该第一影像撷取装置侦测来自该检测位置的该第二光束，且该光学检测装置还包含：一第二光源，用以提供一第三光束沿着一路径至该检测位置，该路径与该分光镜相隔开。8.根据权利要求7所述的光学检测装置，其特征在于，该第二光源为一环形光源。9.根据权利要求8所述的光学检测装置，其特征在于，该第二光源环绕由该第一光源与该分光镜形成的一光轴。10.根据权利要求7所述的光学检测装置，其特征在于，该第三光束为可见光。11.根据权利要求1所述的光学检测装置，其特征在于，该第一光源提供该第一光束至一检测位置，且该第一影像撷取装置侦测来自该检测位置的该第二光束，且该光学检测装置还包含：一第二光源，用以提供一第三光束沿着一路径至该检测位置，该分光镜置于该路径上。12.根据权利要求11所述的光学检测装置，其特征在于，该第二光源为一环形光源。13.根据权利要求12...

【专利技术属性】
技术研发人员：王涌锋，
申请(专利权)人：德律科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71