一种堆叠治具制造技术

本发明专利技术公开了一种堆叠治具，包括框体，所述框体内具有一容置空间，所述框体的两侧设置有相对的凹槽，所述框体顶部设置有顶部压条，所述顶部压条下端设置有若干弹性部件，各个所述弹簧长度相同。本发明专利技术的堆叠治具使用时，通过将需要溅镀的产品和长度或宽度相差±30um的陶瓷条交互堆叠在一起，放置在该容纳空间内，然后通过顶部压条压紧，能够有效达到防止溅镀渗入的目的。

Stacking tool

The invention discloses a stacking fixture, which comprises a frame body, wherein the box body is provided with an accommodating space, the frame are provided with corresponding grooves, the box body is arranged on the top of the top layer, the top layer is arranged at the lower end of a plurality of elastic components, each of the same length of the spring. Stacking jig of the invention when used by sputtering will need products and the length or width difference + 30um ceramic interaction are stacked together, placed in the containing space, and then through the top layering pressure, can effectively prevent the sputtering to penetrate to.

【技术实现步骤摘要】
一种堆叠治具
本专利技术涉及溅渡工业领域，具体而言，涉及一种堆叠治具。
技术介绍
溅镀技术在半导体产业中的应用非常广泛，主要是使用在薄膜的制镀，或是用来修正或产生晶圆集成电路上的电气特性。溅渡技术是薄膜工艺中应用层面相当广泛的一项重要技术，因此近年来已经逐渐取代喷导电漆或电解电镀等方式，大量地应用在光电、通信、半导体等产业，成为相当重要的表面处理技术。溅镀，通常指的是磁控溅镀，属于高速低温溅镀法.该工艺要求真空度在1×10-3Torr左右，即1.3×10-3Pa的真空状态充入惰性气体氩气(Ar)，并在基材(阳极)和金属靶材(阴极)之间加上高压直流电，由于辉光放电(glowdischarge)产生的电子激发惰性气体，产生等离子体，等离子体将金属靶材的原子轰出，沉积在基材上。由于氩气将金属原子轰出靶材的角度不同，以及磁控有限，被轰出的金属原子做无规则运动，不能完全按照需求溅镀到产品面，对不需要溅镀的部分也溅镀上了。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术提供的一种堆叠治具，更好的克服了上述现有技术存在的问题和缺陷，通过使用该堆叠治具，将需要溅镀的产品和长度或宽度相差±30um的陶瓷条交互堆叠在一起，然后压紧，达到防止溅镀渗入。一种堆叠治具，包括框体，所述框体内具有一容置空间，所述框体的两侧设置有相对的凹槽，所述框体顶部设置有顶部压条，所述顶部压条下端设置有若干弹性部件，各个所述弹簧长度相同。进一步地，所述弹性部件为弹簧。进一步地，所述弹性部件的一端通过螺钉固定在所述顶部压条上。进一步地，所述顶部压条的一端与所述框体顶部的一端活动连接。进一步地，所述框体顶部的另一端设置有连接部件，所述顶部压条的另一端设置有与所述连接部件可拆卸连接的固定部。进一步地，所述连接部件为卡扣，所述固定部为与所述卡扣相配合的卡钩。进一步地，所述框体内设置有可沿两侧所述凹槽上下滑动的支撑板。进一步地，所述框体底部设置有用于防止所述支撑板滑落的隔挡部件。进一步地，所述隔挡部件为对应设置在两侧所述凹槽内的凸柱。进一步地，每个所述凹槽内的所述凸柱的数量至少为1个。与现有技术相比，本专利技术的堆叠治具的有益效果是：(1)、本专利技术的堆叠治具，包括框体，所述框体内具有一容置空间，通过将需要溅镀的产品和长度或宽度相差±30um的陶瓷条(简称白条)交互堆叠在一起，放置在该容纳空间内，然后通过顶部压条压紧，能够有效达到防止溅镀渗入的目的；另外，本专利技术的堆叠治具整体结构简单、结构设计合理，稳定性好，成本较低，制作工艺简单，适于批量生产。(2)、进一步地，本专利技术的堆叠治具通过将顶部压条的一端与框体顶部的一端活动连接，通过将顶部压条的另一端与框体顶部的另一端设置为可拆卸地连接，使用时将顶部压条另一端的固定部与框体顶部的另一端的连接部件打开即可交互放置放置待溅渡的产品和陶瓷条，然后将顶部压条另一端的固定部与框体顶部的另一端的连接部件扣合即可实现压紧，使堆叠治具使用时操作更方便快捷。(3)、进一步地，本专利技术的堆叠治具中通过在框体内设置有可沿两侧所述凹槽上下滑动的支撑板，该支撑板的数量可为两个，使用时，两个支撑板将交互堆叠在一起的待溅渡的产品和陶瓷条固定在中间，确保交互堆叠在一起的待溅渡的产品和陶瓷条被压紧时，上下受力均匀，使待溅渡的产品和陶瓷条堆叠放置更紧凑平整；并且便于后续取出，只需对支撑板底部施加一个向上的作用力，即可将待溅渡的产品推出框体顶部取出；另外，在框体底部设置隔挡部件，用于防止支撑板从框体底部开口滑落。为使本专利技术的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本专利技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。图1为本专利技术的堆叠治具的第一种结构示意图；图2为本专利技术的堆叠治具的第二种结构示意图；图3为本专利技术的堆叠治具的仰视图；图4为本专利技术的堆叠治具的顶部压条的主视图；图5为本专利技术的堆叠治具的俯视图。主要元件符号说明：1-堆叠治具；100-框体；110-容置空间；120-凹槽；130-连接部件；200-顶部压条；210-弹性部件；220-固定部；230-螺钉；300-支撑板；400-隔挡部件。具体实施方式为了便于理解本专利技术，下面将参照相关附图对堆叠治具进行更全面的描述。附图中给出了堆叠治具的首选实施例。但是，堆叠治具可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对堆叠治具的公开内容更加透彻全面。在下文中，可在本专利技术的各种实施例中使用的术语“包括”或“可包括”指示所公开的功能、操作或元件的存在，并且不限制一个或更多个功能、操作或元件的增加。此外，如在本专利技术的各种实施例中所使用，术语“包括”、“具有”及其同源词仅意在表示特定特征、数字、步骤、操作、元件、组件或前述项的组合，并且不应被理解为首先排除一个或更多个其它特征、数字、步骤、操作、元件、组件或前述项的组合的存在或增加一个或更多个特征、数字、步骤、操作、元件、组件或前述项的组合的可能性。在本专利技术的各种实施例中，表述“或”或“A或/和B中的至少一个”包括同时列出的文字的任何组合或所有组合。例如，表述“A或B”或“A或/和B中的至少一个”可包括A、可包括B或可包括A和B二者。在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本专利技术的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。在本专利技术的描述中，除非另有规定和限定，需要说明的是，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是机械连接或电连接，也可以是两个元件内部的连通，可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。除非另有限定，否则在这里使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)具有与本专利技术的各种实施例所属领域普通技术人员通常理解的含义相同的含义。所述术语(诸如在一般使用的词典中限定的术语)将被解释为具有与在相关
中的语境含义相同的含义并且将不被解释为具有理想化的含义或过于正式的含义，除非在本专利技术的各种实施例中被清楚地限定。实施例参阅图1、图2和图3，本专利技术提供了一种堆叠治具1，包括框体100，所述框体100内本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种堆叠治具，其特征在于：包括框体，所述框体内具有一容置空间，所述框体的两侧设置有相对的凹槽，所述框体顶部设置有顶部压条，所述顶部压条下端设置有若干弹性部件，各个所述弹性部件长度相同。

【技术特征摘要】
1.一种堆叠治具，其特征在于：包括框体，所述框体内具有一容置空间，所述框体的两侧设置有相对的凹槽，所述框体顶部设置有顶部压条，所述顶部压条下端设置有若干弹性部件，各个所述弹性部件长度相同。2.根据权利要求1所述的堆叠治具，其特征在于：所述弹性部件为弹簧。3.根据权利要求1所述的堆叠治具，其特征在于：所述弹性部件的一端通过螺钉固定在所述顶部压条上。4.根据权利要求1所述的堆叠治具，其特征在于：所述顶部压条的一端与所述框体顶部的一端活动连接。5.根据权利要求4所述的堆叠治具，其特征在于：所述框体顶部的另一端设置有连接部件，所述顶...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄强，吴学文，刘翔，
申请(专利权)人：江门市钧崴电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44