一种有机硅单体分离装置制造方法及图纸

技术编号:15779424 阅读:106 留言:0更新日期:2017-07-08 21:19
本实用新型专利技术公开了一种有机硅单体分离装置,其特征在于,它包括水槽,和配置于水槽中的硅分离装置,水槽的上方设有废液管,硅分离装置包括吸附板和限制装置,限制装置内垂直设有限制板,所述吸附板与限制板对称地配设,限制装置包括壳体和出口管道,出口管道位于水槽与配置有废液管的区域远离的一侧的侧壁,有机硅单体分离装置具有电压施加电路,电压施加电路使吸附板为阳极,使限制板为阴极;本实用新型专利技术利用电场中异性相吸原理对有机硅起到吸附作用,能够高效地将含有有机硅的废液以易于再利用的状态分离为有机硅和水,特别适用于半导体加工领域。

Organosilicon monomer separation device

The utility model discloses a silicone monomer separation device, which is characterized in that it comprises a water tank, and is arranged on the sink in the silicon separation device, a waste pipe is provided with a water tank above the silicon separation device including adsorption plate and limiting device, limit device is provided with the limiting plate and the adsorption plate and the limiting plate symmetry to set limits, device comprises a casing and outlet pipe, the side wall is located in the water tank and the outlet pipe equipped with side waste pipe region away from the silicone monomer separation device with voltage circuit, voltage circuit to make the adsorption plate as anode, the limit plate as the cathode; the utility model uses the electric field attraction the principle to the adsorption of organic silicon, can be efficiently waste liquid containing silicone to easily reuse state separated into silicone and water, especially suitable for semiconductor Processing field.

【技术实现步骤摘要】
一种有机硅单体分离装置
本技术涉及分离装置,具体涉及一种有机硅单体分离装置。
技术介绍
在硅器件的制造中,存在着将硅锭切断而形成硅晶片的工序、研磨硅晶片的工序、以及在硅晶片的表面在呈格子状地排列的大量区域中形成IC(IntegratedCircuit:集成电路)、LSI(largescaleintegration:大规模集成电路)等电路并将各区域沿预定的间隔道(切断线)切断而形成一个一个的硅芯片的工序等。在这些工序中,例如为了冷却切削刀具、加工点、研磨部分等、或者冲走硅屑而采用了水。近些年,出于水的再利用、硅的再利用的观点,希望有将含有硅屑的废液分离为硅屑和不含硅的水的技术。硅屑是细微的颗粒,以悬浊的状态包含在废液中。作为该种的现有技术,已知进行过滤和离心分离的物理方法、以及使用药品的化学方法。然而,在已知的物理方法中,存在着在过滤时发生网眼堵塞、或者硅颗粒穿过的问题。特别是在离心分离法中,存在着硅颗粒相对于水分的浓度过稀而使离心分离的效率差的情况。此外,在如上所述的化学方法中,由于使用药品,因此存在着难以将液体再利用的问题。
技术实现思路
本技术正是鉴于上述情况而做出的,其目的在于提供一种有机硅单体分离装置,其能够高效地将含有机硅的废液以容易再利用的状态分离为硅屑和水。本技术提供了一种有机硅单体分离装置,其特征在于,它包括一水槽1,和配置于所述水槽1中的硅分离装置2,所述水槽1的上方设置有废液管3,所述硅分离装置2包括一吸附板4,以及限制装置5,所述限制装置5内垂直设有一限制板6,所述吸附板4与该限制板6对称地配设,所述限制装置5包括一壳体7,以及一出口管道8,所述出口管道8配置在壳体7内,所述出口管道8位于水槽1与配置有废液管3的区域远离的一侧的侧壁,此外,所述有机硅单体分离装置具有电压施加电路9,该电压施加电路9使所述吸附板4为阳极,使所述限制板6为阴极。进一步地,所述废液管3底部设有废液管嘴10。进一步地,吸附板4优选由铜形成。进一步地,所述限制板6设置在与吸附板4相距5mm的距离,所述限制板6与吸附板4平行。进一步地,所述限制板6为200根/厘米的网状物。本技术产生的有益效果:利用电场中异性相吸原理对有机硅起到吸附作用,能够高效地将含有有机硅的废液以易于再利用的状态分离为有机硅和水;该分离装置对于通过硅的切断、分离等产生的废液的再利用是有用的,特别适用于半导体加工领域。附图说明图1为本技术的整体结构示意图。各附图中的标号表示如下:1.水槽;2.硅分离装置;3.废液管;4.吸附板;5.限制装置;6.限制板;7.壳体;8.出口管道;9.电压施加电路;10废液管嘴。具体实施方式下面结合附图和实施例对本技术作进一步的描述。一种有机硅单体分离装置,包括水槽1,其贮留水中含有硅屑的废液;以及硅分离机构2,其配置在该水槽1内。水槽1是上部敞开的长方体形状的容器,在该水槽1的上方配置有废液管3的废液管嘴10,从该嘴供给废液。此外,在水槽1的、与配置有废液管嘴10的区域远离的一侧的侧壁,设有将除去了硅屑的水运出到外部的出口管道8。硅分离装置2设有一吸附板4,其配置在水槽1内并在废液中吸附硅屑;以及限制板6,其以与吸附板4对置的方式分离配置,仅容许废液中的水的穿过而限制硅屑的穿过。硅在水中带负电,由此,为了吸附带负电的硅屑而使吸附板4带正电,限制板6带负电,以便产生斥力使硅屑不与其靠近。在本实施方式中,设有作为电场形成构件的电压施加电路9,以使吸附板4为阳极,使限制板6为阴极,从而形成电场。吸附板4优选由电化学上的贵材料形成,可以列举出铜、银、铂、金等,吸附板4沿水槽1的一个侧壁的内壁进行配置。限制板6配置成与吸附板4相距例如5mm左右的距离地与吸附板4大致平行,由于距离变远则电场减弱,因此在确保吸附板4的硅吸附力的方面时应尽量接近。限制板6在水槽1内将穿过了该板的水分隔开来,收纳穿过了限制板6的水的分隔区域和出口管道8构成限制装置5。限制板6与上述的吸附板4优选由电化学上的贵材料即铜(Cu)、银(Ag)、铂(Pt)、金(Au)等形成,限制板6为网眼状的结构,限制板6为200根/厘米的网状物。在水槽内的吸附板4和限制板6之间,一边供给废液,一边由电压施加电路9向吸附板4和限制板6施加电压来形成电场。在硅分离装置2中,吸附板4吸附废液中的硅屑,限制板6利用斥力使废液中的硅屑不靠近。限制板6使废液中的硅屑无法穿过而仅使水穿过,通过过了限制板4的水贮留在由限制板4分隔出的区域中,并能够从出口管道8运出到外部来进行再利用,被吸附于吸附板4的硅屑能够在将吸附板4从水槽1中拉出并干燥,从吸附板4刮落来实现再利用。在本实施方式中,能够高效地将含有机硅的废液以容易再利用的状态分离为硅和水。以上内容是结合具体的优选实施方式对本技术所作的进一步详细说明,不能认定本技术具体实施只局限于上述这些说明。对于本技术所属
的普通技术人员来说,在不脱离本技术构思的前提下,还可以做出若干简单推演或替换,都应当视为属于本技术的保护范围。本文档来自技高网
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一种有机硅单体分离装置

【技术保护点】
一种有机硅单体分离装置,其特征在于,它包括一水槽(1),和配置于所述水槽(1)中的硅分离装置(2),所述水槽(1)的上方设置有废液管(3),所述硅分离装置(2)包括一吸附板(4),以及限制装置(5),所述限制装置(5)内垂直设有一限制板(6),所述吸附板(4)与该限制板(6)对称地配设,所述限制装置(5)包括一壳体(7),以及一出口管道(8),所述出口管道(8)配置在壳体(7)内,所述出口管道(8)位于水槽(1)与配置有废液管(3)的区域远离的一侧的侧壁,此外,所述有机硅单体分离装置具有电压施加电路(9),该电压施加电路(9)使所述吸附板(4)为阳极,使所述限制板(6)为阴极。

【技术特征摘要】
1.一种有机硅单体分离装置,其特征在于,它包括一水槽(1),和配置于所述水槽(1)中的硅分离装置(2),所述水槽(1)的上方设置有废液管(3),所述硅分离装置(2)包括一吸附板(4),以及限制装置(5),所述限制装置(5)内垂直设有一限制板(6),所述吸附板(4)与该限制板(6)对称地配设,所述限制装置(5)包括一壳体(7),以及一出口管道(8),所述出口管道(8)配置在壳体(7)内,所述出口管道(8)位于水槽(1)与配置有废液管(3)的区域远离的一侧的侧壁,此外,所述有机硅单体分离装置具有电压施加电路(9)...

【专利技术属性】
技术研发人员:张文凯
申请(专利权)人:上海麦浦新材料科技有限公司
类型:新型
国别省市:上海,31

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