The utility model discloses a silicone monomer separation device, which is characterized in that it comprises a water tank, and is arranged on the sink in the silicon separation device, a waste pipe is provided with a water tank above the silicon separation device including adsorption plate and limiting device, limit device is provided with the limiting plate and the adsorption plate and the limiting plate symmetry to set limits, device comprises a casing and outlet pipe, the side wall is located in the water tank and the outlet pipe equipped with side waste pipe region away from the silicone monomer separation device with voltage circuit, voltage circuit to make the adsorption plate as anode, the limit plate as the cathode; the utility model uses the electric field attraction the principle to the adsorption of organic silicon, can be efficiently waste liquid containing silicone to easily reuse state separated into silicone and water, especially suitable for semiconductor Processing field.
【技术实现步骤摘要】
一种有机硅单体分离装置
本技术涉及分离装置,具体涉及一种有机硅单体分离装置。
技术介绍
在硅器件的制造中,存在着将硅锭切断而形成硅晶片的工序、研磨硅晶片的工序、以及在硅晶片的表面在呈格子状地排列的大量区域中形成IC(IntegratedCircuit:集成电路)、LSI(largescaleintegration:大规模集成电路)等电路并将各区域沿预定的间隔道(切断线)切断而形成一个一个的硅芯片的工序等。在这些工序中,例如为了冷却切削刀具、加工点、研磨部分等、或者冲走硅屑而采用了水。近些年,出于水的再利用、硅的再利用的观点,希望有将含有硅屑的废液分离为硅屑和不含硅的水的技术。硅屑是细微的颗粒,以悬浊的状态包含在废液中。作为该种的现有技术,已知进行过滤和离心分离的物理方法、以及使用药品的化学方法。然而,在已知的物理方法中,存在着在过滤时发生网眼堵塞、或者硅颗粒穿过的问题。特别是在离心分离法中,存在着硅颗粒相对于水分的浓度过稀而使离心分离的效率差的情况。此外,在如上所述的化学方法中,由于使用药品,因此存在着难以将液体再利用的问题。
技术实现思路
本技术正是鉴于上述情况而做出的,其目的在于提供一种有机硅单体分离装置,其能够高效地将含有机硅的废液以容易再利用的状态分离为硅屑和水。本技术提供了一种有机硅单体分离装置,其特征在于,它包括一水槽1,和配置于所述水槽1中的硅分离装置2,所述水槽1的上方设置有废液管3,所述硅分离装置2包括一吸附板4,以及限制装置5,所述限制装置5内垂直设有一限制板6,所述吸附板4与该限制板6对称地配设,所述限制装置5包括一壳体7,以及一出口管道8, ...
【技术保护点】
一种有机硅单体分离装置,其特征在于,它包括一水槽(1),和配置于所述水槽(1)中的硅分离装置(2),所述水槽(1)的上方设置有废液管(3),所述硅分离装置(2)包括一吸附板(4),以及限制装置(5),所述限制装置(5)内垂直设有一限制板(6),所述吸附板(4)与该限制板(6)对称地配设,所述限制装置(5)包括一壳体(7),以及一出口管道(8),所述出口管道(8)配置在壳体(7)内,所述出口管道(8)位于水槽(1)与配置有废液管(3)的区域远离的一侧的侧壁,此外,所述有机硅单体分离装置具有电压施加电路(9),该电压施加电路(9)使所述吸附板(4)为阳极,使所述限制板(6)为阴极。
【技术特征摘要】
1.一种有机硅单体分离装置,其特征在于,它包括一水槽(1),和配置于所述水槽(1)中的硅分离装置(2),所述水槽(1)的上方设置有废液管(3),所述硅分离装置(2)包括一吸附板(4),以及限制装置(5),所述限制装置(5)内垂直设有一限制板(6),所述吸附板(4)与该限制板(6)对称地配设,所述限制装置(5)包括一壳体(7),以及一出口管道(8),所述出口管道(8)配置在壳体(7)内,所述出口管道(8)位于水槽(1)与配置有废液管(3)的区域远离的一侧的侧壁,此外,所述有机硅单体分离装置具有电压施加电路(9)...
【专利技术属性】
技术研发人员:张文凯,
申请(专利权)人:上海麦浦新材料科技有限公司,
类型:新型
国别省市:上海,31
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